何をしている？

工学部電子情報コース・大学院情報科学研究科情報エレクトロニクス専攻集積システム講座　集積電子デバイス学研究室工学部電子情報コース・大学院情報科学研究科情報エレクトロニクス専攻集積システム講座　集積電子デバイス学研究室量子集積エレクトロニクス研究センター　量子集積一貫プロセス研究分野 (協力分野) 教授　　　　：福井孝志　　　准教授　　：葛西誠也特任教授　　：比留間健之　　客員教授　：山口浩司 (NTT基礎研) JST研究員：冨岡克広　　　事務補助員：竹内聡子外国人研究員：２名　　　　　企業研究員：３名学生　　　　：博士２名, 修士８名, ４年３名半導体とナノを鍵として､未来のユビキタス・環境社会を支える新たな材料・デバイスを創り出す目的は何？結晶成長による半導体ナノワイヤを中心としたナノ構造の創製、物性探索と制御、デバイス回路応用何をしている？ "ものづくり"で実感できるおもしろさ　　自らつくった構造やデバイスが目で見え､機能する誰も手にしたことがない新技術への挑戦おもしろい？

研究教育の概要 最小加工寸法 (μm) チップ当りのトランジスタ数日本科学技術基本計画・ライフサイエンス・情報通信・環境・ナノテクノロジー戦略重点科学技術(ナノ) 10-20年後目標・ナノエレクトロニクス　戦略的基盤の構築・革新的先端物質・　材料技術半導体ナノを基礎に将来の社会に資する研究と人材育成

ナノワイヤの研究動向 化合物半導体とナノワイヤは将来有望な材料です

集積電子デバイス学研究室の特長 １.　半導体"ナノワイヤ"を中心にした"ものづくり"の研究２.　最先端のナノテクノロジ研究設備と世界をリードする研究量子集積センターのスーパークリーンルーム等論文件数、国際会議での招待講演等多数大型研究プロジェクトの推進、研究者招聘３.　国際的な研究環境　国際会議発表・外国出張により国際性を養う４.　卒業生の活躍　　大手電気メーカー･研究機関への就職５.　夏ゼミ等の研究室恒例行事量子集積センターと合同

卒業生の進路(平成3年〜平成20年) 松下電子工業 1名日立製作所 2名旭化成 1名オムロン 1名パイオニア 1名大日本印刷 2名トヨタ自動車 3名本田技研 1名中部電力 1名北海道電力 1名川崎マイクロ 2名郵政省 1名宇宙開発事業団 1名公務員 1名 NTT 4名ソニー 4名信越半導体 1名富士通研究所 1名 NEC 1名東芝 4名沖電気工業 1名シャープ 1名三菱電機 1名三菱重工　　　　 1名松下電器産業 1名静岡大学 1名北陸先端科技大 1名マレーシア工科大 1名

選択成長法を用いた半導体ナノワイヤの作製 文科省・特別推進研究「半導体ナノワイヤエレクトロニクスの創成」作製したナノワイヤの電子顕微鏡写真半導体ナノワイヤのデバイス応用本研究室の半導体ナノワイヤは、物理学専門誌でも注目されています・極微細高集積トランジスタ・太陽電池・極微細ナノレーザー･LED ・バイオケミカルセンサ …様々なナノデバイスの実現

1次元半導体ナノワイヤトランジスタの実現 電子ビームリソグラフィ半導体結晶成長横方向接合縦方向接合非晶質マスク原料供給半導体ウェハ横型ナノワイヤトランジスタ縦型ナノワイヤトランジスタ

1次元半導体ナノワイヤ太陽電池 透明電極ナノワイヤ透明樹脂基板電極 "変換効率３.３８％"

新しい機能ナノデバイス•集積回路 雑音によって応答を向上させる生体様ナノデバイス雑音無し雑音有り ∆Vin = 0.05V 応答無し

ナノワイヤネットワークを使った新しい集積回路ナノワイヤネットワークを使った新しい集積回路プログラムで回路自体を書き換える動的再構成回路ネットワーク構造を利用した集積論理回路（2-bit ALU）

卒業論文テーマの例 ●ナノワイヤの電子・光の新物性探索 ● 太陽電池などナノワイヤデバイスの試作評価 ● ナノワイヤ電荷転送デバイス(CCD) ● ナノワイヤデバイス集積回路 "ナノ"の世界を自らの手で実現

研究室の詳しい情報は ■ Website 集積電子デバイス学研究室　 http://www.rciqe.hokudai.ac.jp/ied/index.html 情報科学研究科ネットジャーナル　 http://www.ist.hokudai.ac.jp/journal/index.html ■その他、お問合わせは...　　福井・葛西へどうぞ fukui@rciqe.hokudai.ac.jp, 内線6870 kasai@rciqe.hokudai.ac.jp, 内線6509

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