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奈米定位與量測技術 - 雷射干涉儀之應用

南台科技大學 101 學年度第 1 學期. 奈米定位與量測技術 - 雷射干涉儀之應用. 指導老師： 朱志良 教授 學生姓名： 洪敏庭 學生學號： MA11V102. 中華民國 12 月 25 日. 前言. 在工業應用上，高精密定位技術是非常重要的基礎，高精度的位置量測更是重要關鍵技術之一，近幾年來，定位能力已進入微奈米等級，更顯奈米定位量測精度的重要。

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奈米定位與量測技術 - 雷射干涉儀之應用

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  1. 南台科技大學101學年度第1學期 奈米定位與量測技術-雷射干涉儀之應用 指導老師：朱志良 教授 學生姓名：洪敏庭 學生學號：MA11V102 中華民國 12月 25日

  2. 前言 • 在工業應用上，高精密定位技術是非常重要的基礎，高精度的位置量測更是重要關鍵技術之一，近幾年來，定位能力已進入微奈米等級，更顯奈米定位量測精度的重要。 • 一般微奈米量測應用之感測元件有光學尺、應變規、線性變化差動變壓器、電容式位移感測器及雷射干涉儀等，但其中可達到長行程以及高精度要求的，以光學尺與雷射干涉儀最佳，光學尺與雷射干涉儀皆為光學儀器應用，只是光學尺是一般光源，而雷射干涉儀是單色光源。 • 雷射干涉儀是目前長度量測領域最精密量測儀器之一，在經過了許多年的改善與發展，其技術與精準度已有相當的進步，許多廠家紛紛推出各具特色之干涉儀，但其基本仍是依照邁克森干涉原理。

  3. 雷射干涉儀基本原理 • 雷射干涉儀是目前長度量測領域最精密量測儀器之一，最早的干涉儀原係由Albert A.Michelson所發明的，亦即現在所通稱的Michelson干涉儀，其基本原理如圖所示。

  4. 結論 • 隨著高科技時代的來臨與半導體產業及顯示器產業的進步，高精密檢測與高速精密定位的需求愈來愈多，而雷射干涉儀可達到長行程以及高精度要求。 • 在選擇雷射干涉儀重要要務之一，便是光學鏡組的選擇，由於使用之鏡組與附件不同，其所能達到之量測功能亦不盡相同。 • 一般雷射干涉儀所使用的鏡組大致上有位移、角度、直角度、直線度量測和平面干涉等幾種鏡組，可用於量測線性位移、速度、角度、直角度、直線度、平行度、平面度等參數。 • 若對於量測精準度要求特別嚴謹時，則尚需考量雷射波長之準確度、短期穩定性、長期穩定性、線性度等，則應添購環境感測器及其補償裝置。

  5. 引用圖片與文字的參考資料來源 http://me.csu.edu.tw/swl/SCAL/2/2.pdf http://202.194.26.42/optics/optics200702/Optics/ShowArticle.asp?ArticleID=978 http://www.baike.com/wiki/%E6%BF%80%E5%85%89%E5%B9%B2%E6%B6%89%E4%BB%AA 沖床滑塊運動曲線量測-雷射干涉儀的應用 作者：葉丁維 金豐機器工業股份有限公司 雷射及其量測PPT 作者：梁家豪 雷射干涉儀原理與應用(工具機校正用)PDF 作者：捷胤工業有限公司 馬達電子報─雷射干涉儀之奈米量測 作者 林高輝 雷射干涉儀 作者：陳泓錡、林泓緯 精密量測-范光照、張郭益-高立圖書

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