1 / 15

Digit á lis elektronika

Digit á lis elektronika. IC gyártás I. IC gyártás. Si egykristály rúd készítése Szeletelés, polírozás (cca. 0.5 mm vastag), a felületen oxidréteg létrehozása Layout kialakítása * A k tív ablaknyitás * lonimplantáció * Vékonyoxid növesztés (Gate elektródához)

basil-sandoval
Download Presentation

Digit á lis elektronika

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Digitális elektronika IC gyártás I.

  2. IC gyártás • Si egykristály rúd készítése • Szeletelés, polírozás (cca. 0.5 mm vastag), a felületen oxidréteg létrehozása • Layout kialakítása • * Aktív ablaknyitás • * lonimplantáció • * Vékonyoxid növesztés (Gate elektródához) • * Ablaknyitás bújtatott kontaktushoz • * Polikristályos Si növesztés (Gate elektróda) • * Polikristályos Si maratás (Gate elektróda) • * Szennyezés (Source, Drain kialakítása) (önbeállitó maszkolás) • * Védőbevonat kialakitása • * Ablaknyitás kontaktushoz • * Al réteg létrehozása • * Fémmaratás • Tesztelés • Tördelés (chip) • Tokozás

  3. Aktív ablaknyitás

  4. Ionimplantálás és vékonyoxid növesztés

  5. Bújtatott kontaktus-ablaknyitás és poliszilícium leválasztás

  6. Poliszilícium és vékonyoxid marás, foszfor diffúzió és PSG üveg leválasztás

  7. Kontaktus-ablaknyitás és alumínium leválasztás

  8. Fémmaratás

  9. A kész inverter

More Related