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半導體與光電廠務設施

半導體與光電廠務設施. 設施真空系統概說. 設施工程所採用之真空系統. 製程真空 ~ 不作為直接對製程機台提供真空環境，作為製程機台真空設備之末端抽氣或產生粗略真空 ( 如供真空吸筆用 ) 潔淨集塵系統 ~ 屬於負壓型的集塵系統，真空度僅為粗略真空，操作壓力介於排氣系統與製程真空間. 真空等級. 粗略真空 : 1 atm ~10 2 Pa 中度真空 : 10 2 ~ 10 -1 Pa 高真空 : 10 -1 ~ 10 -5 Pa 超高真空 : 10 -5 ~ 10 -8 Pa 極高真空 : <10 -8 Pa. 氣流壓力範圍劃分. 氣流壓力範圍運用.

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半導體與光電廠務設施

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Presentation Transcript

  1. 半導體與光電廠務設施 設施真空系統概說

  2. 設施工程所採用之真空系統 • 製程真空~不作為直接對製程機台提供真空環境，作為製程機台真空設備之末端抽氣或產生粗略真空(如供真空吸筆用) • 潔淨集塵系統~屬於負壓型的集塵系統，真空度僅為粗略真空，操作壓力介於排氣系統與製程真空間

  3. 真空等級 • 粗略真空 : 1 atm ~102 Pa • 中度真空 : 102 ~10-1Pa • 高真空 : 10-1 ~10-5Pa • 超高真空 : 10-5 ~10-8Pa • 極高真空 : <10-8Pa

  4. 氣流壓力範圍劃分

  5. 氣流壓力範圍運用

  6. 真空泵選用範圍

  7. 水封式真空泵 • 保養容易：僅一轉動葉輪，無金屬摩擦面,故內部不須潤滑。 • 排氣量大：氣體吸入後被封液冷卻，因此其排氣量較一般容積式泵浦大。 • 出口溫度低：壓縮熱被封液吸住，故排氣溫度低。 • 振動小：不須昂貴之基礎裝置。 • 近似絕熱壓縮：對易爆氣體排氣安全性特高。 • 適用任何氣體：以水或其它液體作封液，葉輪採不銹鋼,適用於含水份﹑蒸氣﹑微粒固體及腐蝕性氣體之真空排氣。 • 無脈動及噪音：真空度穩定，出口加裝消音器，噪音可完全消除。 • 修護容易：使用超過年限時，葉輪與風座之間隙若磨損過大，在正常狀況下，只須將迫緊換薄，重新調整其間隙。

  8. 水封式真空泵

  9. 油封式真空泵

  10. 油封式真空泵性能曲線

  11. 製程真空系統

  12. 設施工程真空管路的尺寸選擇 • 利用氣導方式計算 : 可不必考慮氣體壓縮密度變化之效應，但計算複雜管路系統(如設施工程)不便利，多半運用於製程機台側的管路設計 • 利用質量流率守恒法 : 需考慮氣體壓縮密度變化之效應(可運用一般流體力學上計算壓降的方式處理問題) • 壓降限制法 : 以不超過系統所設定真空度的30%為原則，一般多用在只針對單點抽氣之系統

  13. 氣導方式

  14. 質量流率守恒

  15. 潔淨集塵系統

  16. 管路的選用

  17. 濾袋之分類

  18. 震盪式濾袋

  19. 逆洗式濾袋

  20. 脈衝式濾袋

  21. 濾袋之清除

  22. 選用濾材考慮的因素 • 溫度 • 耐酸鹼性 • 纖微的型式及種類 • 織造方法 • 濾材結構 • 濾材表面處理 • 耐磨損性 • 透氣率 • 撓曲應力 • 補集效率

  23. 選用濾布之要點 • 廢氣溫度 • 廢氣化學性質 • 露點 • 酸露點 • 粉塵粒徑 • 粉塵形狀 • 粉塵濃度 • 粉塵逆洗方式 • 集塵系統配置 • 集塵系統尺寸

  24. 氣/布比(Air-Cloth Ratio, A/C) • 定義: 總廢氣量 / 濾布面積 (m / min) • AC過低會造成降低集塵效率，降低濾布壽命 • 機械振盪式 AC<1 • 逆洗式 AC < 1，可耐高溫 • 脈衝式 AC=1.5~3

  25. 濾袋壓損

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