دانشگاه آزاد اسلامي واحد كرج

1. دانشگاه آزاد اسلامي واحد كرج

3. پایان نامه های 1

4. گروه : علوم پايه

5. رشته تحصيلي : اتمي حالت جامد

6. اثر کاشت يون دي اکسيد کربن روي تيتانيوم نيترايد ( TiN )

7. نام و نام خانوادگي دانشجو : شهرام ترابي ، شماره دانشجويي : 83324012436

8. به راهنمايي :عليرضا هژبري • چكيده: • نمونه تيتانيوم را با دوزهاي1018×3،1017×8، 1017×3 يون بر سانتي متر مربع ، بوسيله نيتروژن با انرژي kev ?? کاشت مي کنيم و سپس آنها را توسط يون CO2 با همان انرژي و با دوزهاي ????×?، ????×?،????×? يون بر سانتي متر مربع مورد کاشت قرار مي دهيم . براي بررسي توپوگرافي و زمختي در نمونه ها بوسيله ميکروسکوپ نيروي اتمي (AFM) از آنها تصوير گرفته شد.همچنين ساختار نمونه و فازهاي تشکيل شده توسط پراش پرتو x (XRD) بررسي گرديد . همچنين سختي نمونه بوسيله سختي سنجي ويکرز (VHN) اندازه گيري شد . نتايج نشان مي دهد که با افزايش دوز نيتروژن ميزان تراکم اتم ها در نمونه بيشتر ، سطح زمخت تر، اندازه دانه ها بزرگتر مي شود و ميزان سختي نيز تا حدي افزايش و سپس کاهش مي يابد . بعد از کاشت CO2 افزايش دوز سبب شده که ميزان زمختي سطح افزوده، اندازه دانه ها درشت تر و ميزان سختي زياد مي گردد ، که اين افزايش سختي به دليل فاز هاي تشکيل شده در نمونه خواهد بود