1 / 9

八吋晶圓金屬鎢化學氣相沉積系統技術資料

八吋晶圓金屬鎢化學氣相沉積系統技術資料. 目錄. 一、沉積速率： >3000A/min. 4982A. 測試結果：大於 5000A/min. 二、 Rs ： <210mOhm/SQ (<W film 5000A). 4982A. 測試結果： 209.5 mohm/SQ 測試厚度：小於 5000A. 三、 U ％： <5%. 測試結果： 2.42% 備註：利用 Rs 的差異來說明 U ％. 四、 Ncu ： <3%. 測試結果： 1.5% 備註：利用 Rs 的差異來說明 U%. 五、 Stress ： <1.8e10 dyne/cm2.

cairbre-troy
Download Presentation

八吋晶圓金屬鎢化學氣相沉積系統技術資料

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. 八吋晶圓金屬鎢化學氣相沉積系統技術資料

  2. 目錄

  3. 一、沉積速率：>3000A/min 4982A 測試結果：大於5000A/min

  4. 二、Rs：<210mOhm/SQ (<W film 5000A) 4982A 測試結果：209.5mohm/SQ 測試厚度：小於5000A

  5. 三、U％：<5% 測試結果：2.42% 備註：利用Rs的差異來說明U％

  6. 四、Ncu：<3% 測試結果：1.5% 備註：利用Rs的差異來說明U%

  7. 五、Stress：<1.8e10 dyne/cm2 測試結果：7.6e9 dyna/cm2

  8. 六、Step Cover：>90% 填滿90% 以上寬0.32um 深1.056um的溝槽 991.1nm 測試結果： 可以填滿90%以上 297.3nm

  9. 七、填洞能力：完整的填入寬0.32um 深1.056um(A/R 3.3：1) 286.6nm 1027.2nm 測試結果： 可以完整填入 優於(3.3:1)

More Related