奈米科技教學改進計畫數位化網路自我學習練習題「微電薄膜之生長及分析實驗」單元第一單元 : 真空技術與實務操作逢甲大學材料科學與工程學系編製

奈米科技教學改進計畫 數位化網路自我學習練習題「微電薄膜之生長及分析實驗」單元第一單元:真空技術與實務操作逢甲大學材料科學與工程學系編製

( ) • 何謂真空的定義？ (A) ㄧ容器內的壓力低於一大氣壓(B)ㄧ容器中沒有任何的氣體(C) ㄧ容器中氣體密度小於2.5×10-19 mol/cm3.

( A ) • 何謂真空的定義？ (A) ㄧ容器內的壓力低於一大氣壓(B)ㄧ容器中沒有任何的氣體(C) ㄧ容器中氣體密度小於2.5×10-19 mol/cm3.

( ) • 真空可以真空度來區分為(何者為非)：(A) 粗略真空(1×105 Pa ~1× 10-1 Pa) (B) 高度真空(1×10-6 Pa~ 1× 10-9 Pa) (C) 超高真空(1×10-4 Pa ~1×10-6 Pa)

( B ) • 真空可以真空度來區分為(何者為非)：(A) 粗略真空(1×105 Pa ~1× 10-1 Pa) (B) 高度真空(1×10-6 Pa~ 1× 10-9 Pa) (C) 超高真空(1×10-4 Pa ~1×10-6 Pa)

( ) • 下列敘述何者為非？ (A) 真空室是完全一個密閉的空間 (B) 真空計是用來偵測真空度 (C) 派藍尼真空計常被使用在偵測超高真空

( B ) • 下列敘述何者為非？ (A) 真空室是完全一個密閉的空間 (B) 真空計是用來偵測真空度 (C) 派藍尼真空計常被使用在偵測超高真空

( ) • 真空計的分類可用以下哪幾種方式區分？ (A) 量測範圍 (B) 量測方法 (C) 以上皆是 (D) 以上皆非

( C ) • 真空計的分類可用以下哪幾種方式區分？ (A) 量測範圍 (B) 量測方法 (C) 以上皆是 (D) 以上皆非

( ) • 如何選擇真空計：(A)依照當日天氣 (B) 依照系統所需真空度 (C) 依照個人喜好選擇

( B ) • 如何選擇真空計：(A)依照當日天氣 (B) 依照系統所需真空度 (C) 依照個人喜好選擇

( ) • 以下何者為非： (A) 粗略真空1×10-6 Pa~ 1× 10-9 Pa (B) 中度真空 1×10-4 Pa ~1×10-6 Pa (C) 高度真空1×10 Pa-1 ~ 1×10-4 Pa (D) 超高真空1×105 Pa ~1× 10-1 Pa

( D ) • 以下何者為非： (A) 粗略真空1×10-6 Pa~ 1× 10-9 Pa (B) 中度真空 1×10-4 Pa ~1×10-6 Pa (C) 高度真空1×10-1Pa ~ 1×10-4 Pa (D) 超高真空1×105 Pa ~1× 10-1 Pa

( ) • 目前最常用的真空單位：(A) Pascal (B) Torr (C) mbar (D) atm

( A ) • 目前最常用的真空單位：(A) Pascal (B) Torr (C) mbar (D) atm

( ) • 下列何者非等值換算單位 (A) 1 atm (B) 760 torr (C) 750 mbar

( C ) • 下列何者非等值換算單位 (A) 1 atm (B) 760 torr (C) 750mbar

( ) • 下列何者非真空計(A) 派藍尼真空計 (B) 熱陰極真空計 (C) T－A真空計

( C ) • 下列何者非真空計？(A) 派藍尼真空計 (B) 熱陰極真空計 (C) T－A真空計

( ) • 以下何者為是：(A) 真空系統是指幫浦的串連 (B) 真空系統是一完善系統不需要加裝真空計辨識真空度 (C) 真空計在真空系統中是辨識真空度的重要指標

( C ) • 以下何者為是：(A) 真空系統是指幫浦的串連 (B) 真空系統是一完善系統不需要加裝真空計辨識真空度 (C) 真空計在真空系統中是辨識真空度的重要指標

( ) • 真空系統如何選用幫浦(下列何者為是)? (A)所能達到之最高壓力(high Pressure ) (B)有效之工作壓力範圍(Pressure Range) (C)抽氣速率大小(Pumping Speed)

( A ) • 真空系統如何選用幫浦(下列何者為是)? (A)所能達到之最高壓力(high Pressure ) (B)有效之工作壓力範圍(Pressure Range) (C)抽氣速率大小(Pumping Speed)

( ) • 下列何者不是真空系統選用幫浦所需考慮的準則？ (A)抽氣速率大小(Pumping Speed) (B)排氣口壓力(Exhaust Pressure) (C)無效之壓力範圍(Pressure Range)

( C ) • 下列何者不是真空系統選用幫浦所需考慮的準則？ (A)抽氣速率大小(Pumping Speed) (B)排氣口壓力(Exhaust Pressure) (C)無效之壓力範圍(Pressure Range).

( ) • 下列何者為真空系統所需俱備的必要項目？(A) 幫浦 (B) 真空計 (C) 腔體(D)以上皆是

( D ) • 下列何者為真空系統所需俱備的必要項目？(A) 幫浦 (B) 真空計 (C) 腔體(D)以上皆是

( ) • 下列何者為儲氣式幫浦？ (A) 活塞式幫浦 (B) 渦輪分子幫浦 (C) 冷凍幫浦

( C ) • 下列何者為儲氣式幫浦？ (A) 活塞式幫浦 (B) 渦輪分子幫浦 (C) 冷凍幫浦

( ) • 真空幫浦在真空系統中的主要作用為： (A) 抽氣 (B) 排氣 (C) 打氣 (D) 儲氣

( A ) • 真空幫浦在真空系統中的主要作用為： (A) 抽氣 (B) 排氣 (C) 打氣 (D) 儲氣

( ) • 下列何者為排氣式幫浦？(A) 吸附幫浦 (B) 結拖幫浦 (C) 擴散幫浦

( B ) • 下列何者為排氣式幫浦？(A) 吸附幫浦 (B) 結拖幫浦 (C) 擴散幫浦

( ) • 下列何者非ㄧ大氣壓可啟動的幫浦？ (A) 擴散幫浦 (B) 渦輪分子幫浦 (C) 以上皆是 (D) 以上皆非

( C ) • 下列何者非ㄧ大氣壓可啟動的幫浦？ (A) 擴散幫浦 (B) 渦輪分子幫浦 (C) 以上皆是 (D) 以上皆非

( ) • 真空系統可能因什麼因素而受到汙染？(A) 氣體在腔體中燃燒 (B)幫浦的油氣回流造成污染 (C) 氣體管路帶來的不明氣體導致氣體生成物 • (B) The hydrogen (氫) atom at ground state (A) can, (B) cannot, absorb a photon with 9.0 eV.

( B ) • 真空系統可能因什麼因素而受到汙染？(A) 氣體在腔體中燃燒 (B)幫浦的油氣回流造成污染 (C) 氣體管路帶來的不明氣體導致氣體生成物

( ) • 想從一大氣壓將系統降至粗略真空範圍需要選用什麼樣的幫浦？ (A) 擴散幫浦 (B) 魯式幫浦 (C) 冷凍幫浦

( B ) • 想從一大氣壓將系統降至粗略真空範圍需要選用什麼樣的幫浦？ (A) 擴散幫浦 (B) 魯式幫浦 (C) 冷凍幫浦

( ) • 何為RCA 清洗(何者為非)？(A) 屬於半導體製程的一部份 (B)可去除晶圓上的油污、附著物及表面氧化物 (C)處理矽晶圓的主要清理流程

( C ) • 何為RCA 清洗(何者為非)？(A) 屬於半導體製程的一部份 (B)可去除晶圓上的油污、附著物及表面氧化物 (C)處理矽晶圓的主要清理流程

( ) • 下列何者非RCA清洗所需藥品？ (A)氰氟酸 (HF) (B) 氨水 (NH4OH) (C) 鹽酸 (HCl)

( C ) • 下列何者非RCA清洗所需藥品？ (A)氰氟酸 (HF) (B) 氨水 (NH4OH) (C) 鹽酸 (HCl)

( ) • RCA清洗的步驟中哪個動作是不需要的？ (A) 加熱 (B) 以去離子水清洗 (C) 活化/敏化

( C ) • RCA清洗的步驟中哪個動作是不需要的？ (A) 加熱 (B) 以去離子水清洗 (C) 活化/敏化

( ) • 選用下列何種幫浦組合可以達到中度真空？(A) 魯式幫浦+擴散幫浦 (B) 擴散幫浦+冷凍幫浦 (C) 冷凍幫浦+渦輪分子幫浦

( A ) • 選用下列何種幫浦組合可以達到中度真空？(A) 魯式幫浦+擴散幫浦 (B) 擴散幫浦+冷凍幫浦 (C) 冷凍幫浦+渦輪分子幫浦

( ) • 以下哪一種方式不能達到高度真空？(A) 乾式幫浦+渦輪分子幫浦 (B) 乾式幫浦+冷凍幫浦 (C) 以上皆可

( C ) • 以下哪一種方式不能達到高度真空？(A) 乾式幫浦+渦輪分子幫浦 (B) 乾式幫浦+冷凍幫浦 (C) 以上皆可

( ) • 高真空使用的幫浦跟低真空使用的幫浦有什麼差異？ (A) 轉速不同 (B) 低真空幫浦可以從ㄧ大氣壓啟動，高真空幫浦無法從ㄧ大氣壓下啟動 (C) 高真空幫浦可以從ㄧ大氣壓抽到高真空，低真空幫浦只能從一大氣壓抽到低真空

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