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引用自南台科技大學碩士論文

引用自南台科技大學碩士論文. 低維度奈米結構氧化鋅之製備與特性量 測 研究生：邱晉 億 指導 教授：林克默. 班級：奈米四甲 姓名：張仝 學 號： 49914047. 目錄. 摘要 研究動機 實驗 方法 實驗 結果 結論. 摘要. 本文探討利用氣 - 液 - 固法在矽晶圓上合成出氧化鋅低維度奈米結構之實驗結果。 藉由改變氣體流量、成長時間及成長溫度等因素，來探討這些變因對氧化鋅奈米柱成長及特向的影響。 本文是利用 FE-SEM 、 TEM 、 SEM 等儀器分析顯示結果。. 研究動機.

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  1. 引用自南台科技大學碩士論文 • 低維度奈米結構氧化鋅之製備與特性量測 • 研究生：邱晉億 • 指導教授：林克默 班級：奈米四甲 姓名：張仝 學號：49914047

  2. 目錄 • 摘要 • 研究動機 • 實驗方法 • 實驗結果 • 結論

  3. 摘要 • 本文探討利用氣-液-固法在矽晶圓上合成出氧化鋅低維度奈米結構之實驗結果。 • 藉由改變氣體流量、成長時間及成長溫度等因素，來探討這些變因對氧化鋅奈米柱成長及特向的影響。 • 本文是利用FE-SEM、TEM、SEM等儀器分析顯示結果。

  4. 研究動機 • 本研究主要是因為場發射顯示器(FED)內部的電子發射元件 - 奈米碳管合成不易，成本過高，無法被廣泛使用。 • 而價格便宜之氧化鋅有類似於奈米碳管的表面，再加上製程也比奈米碳管簡單，因此許多產學單位紛紛投入研究。

  5. 實驗方法 • 氣-液-固法(VLS)是近年常用來成長奈米線與奈米柱的方法。

  6. VLS法成長機制

  7. 實驗結果 SEM分析

  8. TEM分析

  9. XRD分析

  10. 結論 • 使用VLS法成功合成出氧化鋅奈米結構 • 實驗結果發現，使用金催化劑產生的最好條件為，氣流量20sccm，成長溫度900度，成長30分鐘 • 使用銅催化劑最佳的電場條件為氣流量20sccm，溫度925度，時間10分鐘，最大電流密度則為氣流量20sccm，溫度950度，時間10分鐘

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