1 / 9

薄膜在 DRAM 元件的應用

薄膜在 DRAM 元件的應用. 指導 老師：吳文端 學生： MA230106 劉期政 MA230123 吳智捷. Outline. DRAM 介紹 DRAM 結構與 組成 薄膜之特性與說明. DRAM 介紹. DRAM 稱為 動態隨機存取記憶體 。 記憶體主要分為 RAM 和 ROM 。 RAM 可以更改寫入的資料但是當電源移除資料 便會 消失。 ROM 寫入資料後無法修改，不過當電源移除時資料也 不會消失 RAM 又分為 DRAM 與 SRAM 。 兩者的差別是 DRAM 需要不斷的充電以保持資料，而 SRAM 則不用，此外 ，. DRAM 結構與組成.

chesmu
Download Presentation

薄膜在 DRAM 元件的應用

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. 薄膜在DRAM元件的應用 指導老師：吳文端 學生：MA230106劉期政MA230123吳智捷

  2. Outline DRAM介紹 DRAM結構與組成 薄膜之特性與說明

  3. DRAM介紹 • DRAM稱為動態隨機存取記憶體。 • 記憶體主要分為RAM和ROM。 • RAM可以更改寫入的資料但是當電源移除資料便會消失。 • ROM寫入資料後無法修改，不過當電源移除時資料也不會消失 • RAM又分為DRAM與SRAM。 • 兩者的差別是DRAM 需要不斷的充電以保持資料，而 SRAM 則不用，此外，

  4. DRAM結構與組成

  5. 薄膜之特性與說明 x P-well N-well 2x P-sub • 緩衝氧化層： 減低應力對矽晶片造成的缺陷。 • N-well與P-well層： 使用磷離子(P31)與硼離子(B11)進行離子佈植，且P- well深度約是 N-well的兩倍。

  6. 薄膜之特性與說明 空乏區域 APT N-well N-well N-well N-well P-sub P-sub • 場氧化層APT佈植： 為了避免空乏區過大造成源極與汲極類似短路現象，所以會將源極與汲極基體的濃度增濃。

  7. 薄膜之特性與說明 • 複晶矽沉積： 以LPCVD沉積，用來作為閘極。 • 源極與汲極製作： nMOS使用As75離子佈植作源極與汲極，pMOS以BF2 離子佈植作源極與汲極。 • 金屬層Ⅰ沉積： 濺鍍金屬層，金屬結構為Ti/TiN/鋁矽銅合金/TiN，後者TiN為用來當作該層的抗反射層。

  8. 薄膜之特性與說明 • ILD製程： ILD為一層三明治結構，分別沉積PECVDOxide/SOG/ PECVD Oxide。 • 金屬層Ⅱ沉積： 該金屬層沉積Ti，該層因為沒直接與矽接觸所以無須沉積TiN。 • 鈍化層沉積： 使用PECVD沉積SiO2，該層為用來保護鋁矽銅合金與緩衝層。

  9. 參考文獻 • 圖解RAM結構與原理，系統記憶體的Channel、Chip與Bank - 第 1 頁。http://www.techbang.com/posts/18381-from-the-channel-to-address-computer-main-memory-structures-to-understand?page=1 • bm.nsysu.edu.tw/tutorial/cmfong/reports/%B2%A3%B7~%A4%C0%AAR/DRAM%B2%A3%B7~.pdf • 南臺科技大學，MY數位學習，蔣富成，積體電路製程，上課教材CH3~CH5。http://my.stust.edu.tw/course.php?courseID=27724&f=doclist

More Related