1 / 22

Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

26 октября 2005 года. Растровая электронная микроскопия и элементный анализ. Батурин А.С. Процессы на границе раздела среда-вакуум. Термоэлектронная эмиссия Автоэлектронная и автоионная эмиссия Фотоэлектронная эмиссия Вторичная эмиссии (под действием )

colby-james
Download Presentation

Растровая электронная микроскопия и элементный анализ

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. 26 октября 2005 года Растровая электронная микроскопия и элементный анализ Батурин А.С.

  2. Процессы на границе раздела среда-вакуум • Термоэлектронная эмиссия • Автоэлектронная и автоионная эмиссия • Фотоэлектронная эмиссия • Вторичная эмиссии (под действием ) • Вторичные электроны, упруго-отраженные электроны и оже-электроны • Вторично-ионная эмиссия • Рассеяние частиц

  3. Устройство растрового микроскопа JEOL JSM-840

  4. Электронная пушка i =100мкА, f= 5мм, Va= 20 кВ, Tk=2700К, dc=2050 мкм

  5. Электронно-оптическая система a = 200 мм,b= 300 мм, f1= 25 мм,f2= 20 мм уменьшение D= 88 Диаметр электронного зонда около 0.5 мкм Сs — коэффициент сферической аберрации линзы, обычно равный 2–3 фокусным расстояниям Диафрагмирование пучка

  6. Спектр вторичных электронов

  7. Электронная лавина в твердом теле

  8. Упруго-отраженные электроны(элементный контраст) Образец Cu-Cr Элементный контраст

  9. Упруго-отраженные электроны(топографический контраст)

  10. Схема детектора упруго-отраженных электронов

  11. Истинно вторичные электроны Cu-Cr Углеродные нанотрубки

  12. Стереопары

  13. Способы получения изображения в РЭМ • Вторичные электроны • Упруго-отраженные электроны • Элементный контраст • Топографический контраст • Катодолюминесценция • Наведенный ток

  14. Спектр вторичных электронов

  15. Оже-спектроскопия

  16. Характеристический рентген

  17. Способы детектирования характеристического рентгеновского излучения • Волновой спектрометр • Энерго-дисперсионный спектрометр

  18. Волновой спектрометр

  19. Операционный усилитель

  20. Глаз мухи

  21. Яичная скорлупа и крыло бабочки

  22. Спасибо за внимание!

More Related