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無塵室節能式全外氣空調箱

無塵室節能式全外氣空調箱. 莊人聿 力晶半導體 12AB 廠務部 ( 空調技師 ) E-mail ： jenyu @psc.com.tw (03)579500 ext.6723 06.30.2006. 簡報綱要. 前言 全外氣空調箱原理簡介 改善前 / 後差異說明 節能效益說明. 1. 前言. 1.1 依據半導體廠的耗能比例調查，廠務系統 的耗能佔了整廠耗能的 56.6﹪ ，而 空調系 統約佔了全部耗能的 40﹪ 是最大的部分 。. 1.2 節能式全外氣空調箱因增加 熱交換盤管 ， 利用空調箱內部熱能回收的作用， 節省冰

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無塵室節能式全外氣空調箱

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  1. 無塵室節能式全外氣空調箱 莊人聿 力晶半導體 12AB廠務部 (空調技師) E-mail：jenyu@psc.com.tw (03)579500 ext.6723 06.30.2006

  2. 簡報綱要 前言 全外氣空調箱原理簡介 改善前/後差異說明 節能效益說明

  3. 1.前言 1.1依據半導體廠的耗能比例調查，廠務系統 的耗能佔了整廠耗能的56.6﹪，而空調系 統約佔了全部耗能的40﹪是最大的部分。

  4. 1.2節能式全外氣空調箱因增加熱交換盤管， 利用空調箱內部熱能回收的作用，節省冰 水及溫水供應量，進而達到節省冰水主機 之耗電量與鍋爐產生熱水之瓦斯消耗量。

  5. 2.全外氣空調箱原理簡介 2.1無塵室空調系統簡介 • 無塵室內因有大量製程排氣，又為避免受到外界環境污染， • 因此必須隨時補充足夠外氣。 • 此外如無塵室內人的呼吸、污染物質濃度的稀釋、濕度控制 等都依賴外氣來對無塵室作一微調功能，因此無塵室空調系 統對無塵室之功能就類似人類對呼吸需求一樣重要。

  6. 全外氣空調箱 2.2無塵室空調系統圖示 ＥｘｈａｕｓｔＦａｎ Ｔ 監測 Ｔ INV Ｔ INV P ＭＡＵ Ｔ P Ｔ H P 監測 監測 監測 無塵室 監測 P

  7. 2.3全外氣空調箱簡介 • 溫度控制 • 濕度控制 • 外氣清淨度控制 • 無塵室與外氣正壓控制 Pre-heating Coil Cooling Coil-1 Air Washer Cooling Coil-2 Re-heating Coil HEPA Filter 預 熱 控 制 降 溫 控 制 加 濕 控 制 除 濕 控 制 回 溫 控 制

  8. Pre-heating Coil Cooling Coil-1 Air Washer Cooling Coil-2 Re-heating Coil HEPA Filter 空氣品質之控制 -夏季 Outside Air in Summer (35℃, 80%) Cooling Coil-1 Cooling Coil-2 Re-heating Coil Cleanroom Specification (23 ±1℃, 43 ±5%)

  9. Pre-heating Coil Cooling Coil-1 Air Washer Cooling Coil-2 Re-heating Coil HEPA Filter 空氣品質之控制 -冬季 Re-heating Coil Cleanroom Specification (23 ±1℃, 43 ±5%) Outside Air in Winter (5℃, 50%) Per-heating Coil

  10. 浪費能源 浪費能源 浪費能源 3.改善前/後差異說明 3.1節能改善前狀況 • 既設之全外氣空調箱全部利用冰水將外氣從35℃降 溫除濕至9.5℃， • 再利用溫水加熱到16℃。

  11. 改善前之設計

  12. Re-heater Cooling coil-1 Pre-heater Cooling coil-2 既設空調箱

  13. 3.2節能改善說明 採用節能式全外氣空調箱，增加兩道熱交換盤管，利用內部熱能回收，節省冰水及溫水供應量。

  14. 3.3節能改善方案 • 利用外氣進入之高溫空氣作交換，使循環水溫度升 高，上升後循環水送到第二道省能盤管。 • 以高溫之循環水將除濕後低溫空氣昇溫至16℃，熱 交換後循環水溫度降低，再送回第一道盤管做預冷。

  15. Heat recover Coil-1 Cooling Coil-1 Heat recover Coil-1 Cooling Coil-2 HEPA Filter Air Washer Heat recover Coil-2 空氣品質之控制 -夏季 Heat recover Coil-1 Outside Air in Summer (35℃, 80%) Cooling Coil-1 Cooling Coil-2 Cleanroom Specification (23 ±1℃, 43 ±5%) Heat recover Coil-2

  16. 改善後之設計 第一道 省能盤管 第二道 省能盤管

  17. 第一道省能盤管 第二道省能盤管 修改後空調箱

  18. 4.節能效益說明 4.1節能說明-冰水耗電量 1.改善後冰水節省能量為每年2,552,994 (KW-Hr) 2.依本廠冰機每KW冰水需求電力為0.16KW 3.每年節省電力為2,552,994*0.16 =408,479 (KW-Hr) 每年節省電費為 408,479 (KW-Hr)*1.8(元/KW-Hr)=735,262元

  19. 4.2節能說明-溫水瓦斯量 1.改善後，熱回收故溫水省能與冰水相同2,552,994 (KW-Hr) 2.天然氣=9.71元/M3，熱值=10.347 KW 3.故每年節省天然氣2,552,994 ÷ 10.347 =246,737 M3 每年節省瓦斯費用 246,737(M3)*9.71(元/M3)=2,395,816元

  20. 4.3投資效益說明 1.改善後，每年可節省電費為735,262元 改善後，每年可節省瓦斯費用為2,395,816元 每年節省費用總共3,131,078元 2.裝設熱回收盤管工程所需費用為2,000,000元 3.回收年限: 2,000,000(元)/ 3,131,078(元/年)= 0.64年

  21. 報告結束,謝謝各位參與

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