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第 三 章

第 三 章. 场 效 应 管. 场效应管有 :. 金属 - 氧化物 - 半导体型场效应管 MOSFET. 结型场效应管 JFET. 3.1 MOS 场效应管. MOS 场效应管分:. 增强型 EMOS ,又分 N 管和 P 管. 耗尽型 DMOS ,又分 N 管和 P 管. 电路符号:. N 沟道增强型. P 沟道增强型. N 沟道耗尽型. P 沟道耗尽型. 3.1.1 EMOS 场效应管结构.

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第 三 章

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  1. 第 三 章 场 效 应 管

  2. 场效应管有: • 金属-氧化物-半导体型场效应管MOSFET • 结型场效应管JFET 3.1 MOS场效应管 MOS场效应管分: 增强型EMOS ,又分N管和P管 耗尽型DMOS,又分N管和P管 电路符号: N 沟道增强型 P 沟道增强型 N沟道耗尽型 P 沟道耗尽型

  3. 3.1.1 EMOS场效应管结构 N沟道增强型MOSFET基本上是一种左右对称的拓扑结构,它是在P型半导体上生成一层SiO2薄膜绝缘层,然后用光刻工艺扩散两个高掺杂的N型区,从N型区引出电极,一个是漏极D,一个是源极S。在源极和漏极之间的绝缘层上覆盖一层金属铝作为栅极G(目前多采用多晶硅)。P型半导体称为衬底,用符号B表示。

  4. 3.1.2 EMOS场效应管工作原理(N沟道) 通常情况下,源极一般都与衬底极相连;正常工作时,作为源、漏区的两个N+区与衬底之间的PN结必须外加反偏电压。 一、截止区与沟道形成 VGS(th):开启电压,是开始形成反型层所需的vGS值。SiO2绝缘层越薄,两个N+区的掺杂浓度越高,衬底掺杂浓度越低,VGS(th)越小。

  5. 二、vGS>VGS(th),0<vDS<vGS-VGS(th) 栅极和沟道的压差在近源端最大,在近漏端最小,vGD=vGS-vDS,因此沟道呈锥形分布,电流同时受vGS和vDS控制。 三、vGS>VGS(th),vDS>vGS-VGS(th) 当 vDS=vGS-VGS(th)时,近漏端沟道夹断。夹断后,沟道长度几乎不变,且vGA=VGS(th),vAS=vGS-VGS(th),沟道电流iD不再随vDS的变化而变化,只受vGS控制。但若考虑沟道长度调制效应(夹断点A会随着vDS的增加而向源极移动),当vGS一定时,iD会随着vDS的增加而略微增加。

  6. 工作原理总结 通过上面讨论可以看到(ENMOS): VGS(th)是沟道刚形成时所需的VGS,与N+和衬底的搀杂浓度,Gate下SiO2的厚度,温度等因素有关; VGS控制MOS管的导电沟道深度, VGS越大,沟道越深,导电能力越强, VGS对沟道电流的控制是MOS管的主要受控作用,也是实现放大器的基础; VGS一定,满足VGS> VGS(th),在VDS<VGSVGS(th)时, 随着VDS的增加,由于沟道没有夹断,沟道电阻变化不大,沟道电流呈线性增加,当VDS>VGS VGS(th)时,夹断点到S的电压不变,沟道长度和形状几乎不变,沟道电流也几乎不变,但考虑沟道长度调制效应,则电流会有略微的上升; NMOS管是依靠多子电子一种载流子导电的,而晶体三极管中有多子和少子两种载流子参与导电; MOS管是对称器件, 源漏极可以互换。

  7. 3.1.3 EMOS场效应特性 一、伏安特性 转移特性曲线 输出特性曲线 非饱和区:vGS>VGS(th) 0<vDS<vGS-VGS(th) 饱和区: vGS>VGS(th) vDS>vGS-VGS(th) 截止区: iD=0 击穿区: vDS过大引起雪崩击穿和穿通击穿,vGS过大引发栅极击穿

  8. 亚阈区:vGSVGS(th)时,iD不会突变到零,但其值很小(A量级)。通常将VGS(th)附近的很小区域(VGS(th)100mV)称为亚阀区或弱反型层区。亚阈区:vGSVGS(th)时,iD不会突变到零,但其值很小(A量级)。通常将VGS(th)附近的很小区域(VGS(th)100mV)称为亚阀区或弱反型层区。 静电保护: 当带电物体或人靠近金属栅极时,瞬间产生过大的栅源电压vGS,引发SiO2绝缘层击穿,从而造成器件永久性损坏。为防止这种损坏,MOS集成电路的输入级器件常常在其栅源极间接入两只背靠背的稳压二极管,利用稳压管的击穿特性,限制由感生电荷产生的vGS值。

  9. 二、衬底效应 某些MOS管的源极不能处在电路的最低电位上,则其源极与衬底不能相连,其间就会作用着负值的电压vBS,P型硅衬底中的空间电荷区将向衬底底部扩展,VGS(th)相应增大。因而,在vGS一定时,iD就减小。可见,vBS和vGS一样,也具有对iD的控制作用,故又称衬底电极为背栅极,不过它的控制作用远比vGS小。

  10. 3.1.4 DMOS场效应管 一、结构 耗尽型MOS管在衬底表面扩散一薄层与衬底导电类型相反的掺杂区,作为漏、源区之间的导电沟道,vGS=0时导电 沟道已形成。 二、伏安特性(NDMOS) N沟道DMOS的VGS(th) <0。P沟道DMOS的VGS(th) >0。二者伏安特性相似,仅是电压极性和电流方向相 反。

  11. 3.1.5 场效应管等效电路 一、大信号模型 非饱和区: vDS很小,忽略二次项 vDS=vGSvGS(th) 饱和区: 计及沟道长度调制效应 MOS管看作电压控制电流源 :沟道长度调制系数

  12. 在下图所示N沟道EMOS管电路中,已知RG1=1.2 M,RG2=0.8 M,RS=4 k,RD=10 k,VDD=20 V,管子参数为CoxW/(2l)=0.25mA/V2,VGS(th)=2 V,试求ID。 解 设MOS管工作在饱和区 ,舍去

  13. 二、小信号模型 1.饱和区小信号模型 MOS管: 三极管: 直流工作点电流改变相同量时,三极管的跨导变化比 MOS管更快。 在数值上,直流工作点电流相同时,三极管的跨导变化比 MOS管大。

  14. 计及沟道长度调制效应 与     得到的结果一致

  15. 表示为电压控制电压源: 考虑衬底效应: gmb为衬底跨导,也称背栅跨导

  16. 分别是漏区与衬底和源区与衬底之间PN结的势垒电容。分别是漏区与衬底和源区与衬底之间PN结的势垒电容。 为栅极与衬底之间电容。 高频小信号模型: LOV是根据经验值推导得到的栅极与源极或漏极交叠长度。 源极和衬底相连 当源极和衬底相连时,MOS管高频小信号模型可以简化为: MOS管截止频率:

  17. 2.非饱和区小信号模型 工作于非饱和区的MOS场效应管的低频小信号模型等效为一个电阻 高频小信号模型:

  18. 3.1.7 器件小结 • N沟道:衬底接最低电位, iD为电子电流, vDS>0,vGS正向增加,iD增加; • P沟道:衬底接最高电位,iD为空穴电流, vDS<0,vGS负向增加,iD增加。 • 二者的大信号和小信号等效模型相同; • 目前,MOS器件一般采用BSIM3V3模型描述,适用于计算机仿真,该模型已成为一种工业标准。

  19. 四种MOS管比较

  20. 3.2 结型场效应管 P沟道JFET N沟道JFET

  21. 3.2.1工作原理 N沟道JFET:正常工作时,P+N结反偏,阻挡层主要向低搀杂的N区扩展,在vDS的 作用下形成电流iD。 N搀杂浓度越低,VGS(off)越大(绝对值越小)。 随着vDS的增加,近漏端被夹端时, JFET沟道的导电能力受vGS和vDS的控制与MOS相似。 沟道形成 沟道未形成 非饱和区 饱和区

  22. 3.2.2伏安特性曲线 输出特性曲线: 一、非饱和区

  23. 二、饱和区 计及沟道长度调制效应 JFET看作压控电流源 转移特性曲线 三、截止区 vGS<VGS(off) ,iD=0 四、击穿区 随着vDS增加,近漏端PN结发生雪崩击穿,vGS越负,V(BR)DS越小

  24. 3.3 场效应管应用原理 3.3.1 有源电阻 N沟道EMOS管构成有源电阻: 伏安特性: N沟道DMOS管构成有源电阻: 注意区分有源电阻的直流电阻和交流电阻。

  25. 用有源电阻接成的分压器: 若两管工艺参数相同,则

  26. 3.3.2 MOS开关 NMOS导通电阻 NMOS管工作在非饱和区,导通电阻: 由于vGSvG-vI,vGS随着vI的增大而减小,使Ron增大,当vGS接近VGS(th)时,Ron迅速增大。同理,若采用PMOS开关,Ron随着vI的减小而增加。 CMOS开关导通电阻

  27. MOS开关应用举例:开关电容电路 S1和S2轮流导通,在一个时钟周期内从输入端到输出端的平均电流为 该开关电容电路可等效为一个电阻

  28. 3.3.3 逻辑门电路 一、CMOS反相器 逻辑符号 电路 二、CMOS或非门 逻辑符号 电路

  29. 三、CMOS与非门 逻辑符号 电路 四、CMOS传输门 逻辑符号 电路

  30. 五、锁存器 结构图 电路图

  31. 器件部分小结 半导体物理基础知识 了解:本征半导体 杂质半导体 本征激发 掺杂 漂移、扩散 本征热平衡载流子浓度 质量作用定律 电中性方程

  32. 二极管 了解:PN结的形成二极管特点单向导电性 掌握:PN结的特性 V-I 击穿电容温度 开关 二极管模型

  33. 三极管 了解:三极管结构 载流子传输 直流电流传输方程 掌握:三电流间的近似关系 三极管特点 正向受控作用 三极管模型 特性及其主要参数 应用及分析方法 基区宽度调制效应及影响

  34. 场效应管 了解:结构工作原理 掌握:特性夹断预夹断概念 场效应管等效电路 与双极型晶体管的区别: 1)单极型导电受外界影响小 2)栅流为零高Ri 压控器件 3)小电流低电压为可控电阻 4)放大必须工作在饱和区

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