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XPS 功能 XPS 應用與用途 XPS 儀器地點. XPS 功能. 元素定性、定量分析 : 探測物質內部電子各種能級束縛能 探測化學位移 : 原子間結合狀態分析價態 價帶結構 : 電荷分佈等電子狀態 缺點 : X-ray 難聚焦,所以橫向分辨率低 ( 20um~1mm ). 表面異常之分析: , XPS 具有化學鍵结分析的能力,能針對表面的異常分析得知其成份與鍵結訊息,如針對表面缺陷或金屬腐蝕進行分析。 薄膜成份及縱深分析: 可由 XPS 得知薄膜的成分及比例,同時可搭配氬離子蝕刻作縱深分析。
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XPS功能 XPS應用與用途 XPS儀器地點
XPS功能 元素定性、定量分析:探測物質內部電子各種能級束縛能 探測化學位移:原子間結合狀態分析價態 價帶結構:電荷分佈等電子狀態 缺點:X-ray難聚焦,所以橫向分辨率低(20um~1mm)
表面異常之分析:, XPS具有化學鍵结分析的能力,能針對表面的異常分析得知其成份與鍵結訊息,如針對表面缺陷或金屬腐蝕進行分析。 薄膜成份及縱深分析:可由XPS得知薄膜的成分及比例,同時可搭配氬離子蝕刻作縱深分析。 金屬表面氧化程度及氧化層厚度判定:可得知金屬之表面比例、氧化程度, 表面氧化層厚度可透過縱深分析估計。
XPS的應用與用途 鑑定材料表面上的各種元素的化學型態 XPS用途: 高分子碳鍵結的鑑定 陶瓷材料分析 半導體材料成分分析 各種材料的斷裂面成分分析
XPS儀器租借地點(1) • 儀器室地點:清華大學化學館 • 139室 • 儀器管理員:謝瑞蘭 小姐 • 連絡電話: (03)5715131轉33432 • 收費標準 : 操作費用每小時3000元(包括操作員的樣品處理時 間 間等),影印圖譜每張10元。 • 預期回件時間:依申請順序決定,約在1.5月左右。
XPS儀器租借地點(2) 儀器室地點:台科大化工系 T2-105 室 儀器管理員:鍾瑞嬰 小姐 連絡電話: (02)2737-6632 收費標準 : (1)校外研究單位每小時 2500 元。另加收基本費:6000元。 (2)校外營利單位每小時 4000 元,安排二星期內完成。另加收基本費6000元。 (3)急件者,每小時 6000 元,安排三天內完成。另加收基本費:6000元。
XPS儀器租借地點(3) 儀器室地點:國立中正大學 工學院二館 化工館R202室 儀器管理員:張皓普 先生 連絡電話: (05)2720411 轉23471 收費標準 : (1) XPS survey(XPS全能譜掃描)與XPS high resolution scan(XPS單元素能譜圖): 操作每一小時(未滿一小時以一小時計), dual anode收費2000元,monochromator收費2500元。(2) Angled-Resolved XPS:操作每一小時(未滿一小時以一小時計),dual anode收費2500元,monochromator收費3000元。
XPS儀器租借地點(4) 儀器室地點:國立成功大學儀設大樓2F—ESCA實驗室 儀器管理員:李瑞欽先生 連絡電話: :(06)2757575轉31411 收費標準 : 1.ESCA:3000元/小時。 2.Depth Profile 3500元/小時。
取樣應該注意的地方 由於XPS是對試樣表面非常靈敏的儀器,所以保持試片表面的原狀與潔淨,對分析結果的正確與否非常重要。例如手指接觸到試片表面,則可能會檢測出Cl、C、Na、O等外來的污染元素。 樣品規格:面積小於2cm*2cm,厚度小於5mm。 樣品不得具有磁性,毒性.輻射性。 Depth profile以不超過1um為原則