雷射位移計

雷射位移計

前言雷射有異於普通光的特色，其特性如下： • 指向性 • 單色性 • 相干性 • 反射定律與折射定律

雷射位移檢測系統

雷射位移檢測器 KEYENCE LC-2100雷射位移計

雷射位移檢測原理與特性 重要名詞定義：量測範圍(Measurement Range, MR) ：量測距離(Stand Off Distance；SO) ： SO處光點的尺寸 (Spot size at SO)： SO處角度(Triangulation Angle at SO)：

雷射位移檢測原理與特性 • 三角量測法 • 自動對焦 • 音叉結合振動

三角量測法 三角雷射探頭

三角量測法 差動信號

三角量測法 三角量測法

三角感測器的性能因素 • 幾何因素(Geometry Factor) • 三角量測角度(Triangulation Angle)： • 光源的型式(Light Source Types)： • 光點大小(Spot Size)： • 物體表面的影響(Surface Effects)： • 偵測器的種類(Detector Types)：

三角感測器的性能因素(續) • 幾何因素(Geometry Factor) 感測器遮蔽

三角感測器的性能因素(續) • 三角量測角度(Triangulation Angle)：裝置雙感應器

三角感測器的性能因素(續) • 光源的型式(Light Source Types)：裝置濾光片

三角感測器的性能因素(續) • 光點大小(Spot Size)：光點大小與工件之關係光點直徑

三角感測器的性能因素(續) • 光點大小(Spot Size)：光點垂直工件表面

三角感測器的性能因素(續) • 物體表面的影響(Surface Effects)：雷射色飽和度鏡面反射

三角感測器的性能因素(續) • 偵測器的種類(Detector Types)：位置感測偵測器(Position Sensing Detector; PSD)

三角感測器的性能因素(續) • 偵測器的種類(Detector Types)： CCD偵測器(CCD Detector)構造示意圖

三角感測器的性能因素(續) • 偵測器的種類(Detector Types)：依據門檻值過濾雜訊

三角感測器的性能因素(續) • 偵測器的種類(Detector Types)：位置感測檢測器基本原理

三角感測器的性能因素(續) • 偵測器的種類(Detector Types)： PSD與CCD型感測器的不同

三角感測器的性能因素(續) • 偵測器的種類(Detector Types)：線雷射感測器構造示意圖

三角感測器的性能因素(續) • 偵測器的種類(Detector Types)： PSD與CCD型感測器的不同

雷射奈米檢測器(Laser Nano Sensor; LSN) 雷射奈米檢測器屬高精密檢測設備雷射奈米檢測系統

雷射奈米檢測器(續) 自動對焦原理實物構造圖

雷射奈米檢測器(Laser Nano Sensor; LSN) 音叉/振動裝置構造圖原理

精密機械結構 • 花崗岩機台 • 氣體軸承 • 氣體潤滑導軌

精密機械結構(續) • 花崗岩機台

精密機械結構 • 氣體軸承

精密機械結構 • 氣體潤滑導軌

雷射位移檢測技術之應用 • 逆向工程

雷射位移檢測技術之應用(續) • 台灣模型

雷射位移檢測技術之應用(續) • 獎牌模型

雷射位移檢測技術之應用(續) • 產品形貌檢測

雷射位移檢測技術之應用(續) • 產品形貌檢測導線架腳位高低差

雷射位移檢測技術之應用(續) • 產品形貌檢測拉鍊沖頭

雷射位移檢測技術之應用(續) • 產品形貌檢測 DVD光學模具

雷射位移檢測技術之應用(續) • 產品形貌檢測背光版V溝模具

結論 • 雷射位移計是精密檢測經常使用的一種技術 • 影響量測精度因素 • 傳統三角量測法演進至音叉/振動裝置、自動對焦

雷射位移計

雷射位移計

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