日 時：平成２２年３月４日（木） 13:00 ～ 17:00 平成２２年３月５日（金） 9:30 ～ 17:00 場 所：熊本大学工学部機会システム工学科研究棟 Ⅰ

1. Kumamoto University 平成２１年度熊本大学イノベーション推進機構 　　地域共同ラボラトリー高度技術研修 ～ナノメートル平滑面の最新加工・計測技術～ 日　　時：平成２２年３月４日（木）13:00～17:00 　　　　　平成２２年３月５日（金） 9:30～17:00 場　　所：熊本大学工学部機会システム工学科研究棟Ⅰ 502会議室・104実験室 講 習 料：９，０００円 募集定員：１０名（定員に達し次第締め切らさせていただきます。） 募集対象：民間機関を含む学外の技術者・研究者・教育者 研修内容 第１日目　平成22年3月4日（木）13:00～17:00 ＜講義＞ 「紫外光支援加工による高硬度ダイヤモンド系材料の超精密研磨技術」 （熊本大学大学院自然科学研究科・教授・峠　　睦　　他）　 ＜研磨実習＞　高硬度ダイヤモンド系材料の紫外光支援加工 ＜討論会＞　　紫外光支援加工に関する総合討論 第２日目午前　平成22年3月5日（金）　9:30～17:00 ＜計測実習＞ ・走査型レーザー顕微鏡／走査型プローブ顕微鏡複合装置の技術と応用（座学）　　 ・走査型プローブ顕微鏡の最新計測技術（座学） ・走査型プローブ顕微鏡SPM-9600を用いた超精密研磨面の計測 ・光学干渉式粗さ計の最新計測技術（座学） ・光学干渉式粗さ計NT-9100を用いた超精密研磨面の計測実習 趣旨・目的 次世代パワー半導体材料として注目されている単結晶ダイヤモンドや単結晶SICは硬度がきわめて高く，これまでの研磨技術では半導体基板として求められる加工変質層のない平滑面を得ることはできない。また，高硬度ダイヤモンド系材料であるCVDダイヤモンド膜や焼結ダイヤモンドは工具等への応用が広がっているが，同様に加工が困難である．本研究室で開発された紫外光支援加工はこれらの材料を加工変質層や加工ひずみなしにナノメートル平滑面とすることができる。本高度技術研修はこの新しい研磨技術の講義・研磨実習を行い，原子間力顕微鏡および光干渉式粗さ計の最新計測原理を講義し，これらの計測装置を用いて紫外光支援加工した研磨面を観察することにより，最新計測技術の理解を深めることを目的としている。 地図 お申し込みは裏面の申込書をご利用下さい。 お申込み・お問い合せ 熊本大学研究・国際部　社会連携課　　守田 電話：096-342-2048 メール：kesha-chizai@jimu.kumamoto-u.ac.jp 主催： 熊本大学イノベーション推進機構

2. 参加申込書（ＦＡＸ用） ＦＡＸ：０９６－３４２－３２３９ （熊本大学研究・国際部　社会連携課） 平成２１年度熊本大学イノベーション推進機構地域共同ラボラトリー高度技術研修 ~ナノメートル平滑面の最新加工・計測技術~ ※ご記入いただいた個人情報は、本研修のみに利用し、第三者への開示は行いません。 ※メールにてお申込みの場合は、ＦＡＸ申込と同様に、貴社名・団体名,連絡先、参加者氏名をご記入の上、熊本大学社会連携課　kesha-chizai@jimu.kumamoto-u.ac.jpまでお申込み下さい。 ※講習料は前納とさせて頂きます。申込受付後３日以内に社会連携課より上記連絡先へ請求書を送付させて頂きます。ご請求先が上記と異なります場合はお手数おかけしますがご連絡下さい。