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上海先进的汽车电子芯片制造平台

上海先进的汽车电子芯片制造平台. 王庆宇 博士 总 裁 2013 年 6 月 4 日. 大纲. 中国汽车销量情况 汽车电子应用 上海先进的汽车电子芯片制造平台介绍 上海先进的 MEMS 工艺及其在汽车电子的应用. High Value Foundry Service. High Volume Foundry Service. Co-develpment. ASMC. 汽车上的电子系统. 音频. 导航. 通讯. 蓝牙 多媒体 收音机. 娱乐、舒适. TPMS. 总线. 气囊. 行车系统. 车身.

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Presentation Transcript

  1. 上海先进的汽车电子芯片制造平台 王庆宇 博士 总 裁 2013年6月4日

  2. 大纲 • 中国汽车销量情况 • 汽车电子应用 • 上海先进的汽车电子芯片制造平台介绍 • 上海先进的MEMS工艺及其在汽车电子的应用 High Value Foundry Service High Volume Foundry Service Co-develpment 2

  3. ASMC 汽车上的电子系统 音频 导航 通讯 蓝牙 多媒体 收音机 娱乐、舒适 TPMS 总线 气囊 行车系统 车身 安全 车灯 ESP 动力 停车辅助 ABS 引擎控制 速度传感器 点火系统 转向机 定速巡航 雷达 空调控制

  4. 汽车电子开发 4

  5. 公司简介 Overview • 上海先进半导体制造股份有限公司成立于1988年（上海飞利浦半导体） • 是国内最早从事汽车电子芯片、 IGBT、 MEMS代工的半导体制造企业； • 是领先的专注于模拟器件、功率器件及传感器(MEMS)工艺的半导体代工厂 • 2006年在香港联交所主板上市(股票代码: 3355)； • 在上海拥有5”, 6” ,8”及MEMS的晶圆生产线各一条。 5 5 2014年11月29日10时42分

  6. 业务领域 Auto Electronics Power MEMS 6

  7. 2010 2011 Process available 1Q 2Q 3Q 4Q 1Q 2Q 3Q 4Q Complementary 18V Bipolar (4.0um) Bipolar 15V/18V/24V (2um) Bipolar 18V/40V/55V (4.0um) Bipolar 60V (2.0um) Bipolar 40V (2.0um) * * Bipolar HVMOS 3.3V/140V (0.35um) BiCMOS 5V/40V (1.2um) BiCMOS 5V/20V (0.8um) HVMOS 3.3V/15V (0.35um) BiCMOS BCD 5V/60V (0.35um) HVMOS 1.8V/20V (0.18um) BCD 1.8V/40V (0.18um) BCD 5V/15V (0.35um) BCD 5V/40V (0.35um) * * BCD/CD 700V BCD (0.35um) 700V BCD (1.2um) 700V BCD (4.0um) * VHV BCD OTP (0.35um) EEPROM (0.8um) Embedded Flash (0.18um) EEPROM (0.35um) (licensed) * Embedded NVM 5V CMOS 2P3M (0.5um) 3.3V CMOS 2P3M (0.35um) Mix-signal TPMS 3-axis GYRO TVS IPD MCM MEMS Specialty IGBT 33000V IGBT 1200V IGBT 6500V IGBT ASMC技术发展路线图 (* 汽车级工艺) 7

  8. Fabless Fabless IDM IDM 稳固而多元化的客户体系 客户高度定制化 客户高度定制化 注重高附加值 强大IP结盟及保护 注重高附加值 强大IP结盟及保护

  9. 上海先进的汽车电子平台 • 上海先进是国内最早从事汽车电子芯片生产的企业； • 有完善的汽车芯片制造质量保证体系和汽车芯片制造专业资质；在汽车电子芯片制造、管理方面积累了丰富经验； • 汽车电子芯片产能: 2011年达到10000片/月（6寸） 芯片销量超过6万片； • 2012年实现销售额1.23亿人民币。 • 国家科技重大专项02项目<<汽车电子控制芯片工艺研发>>项目的牵头单位.

  10. 上海先进的汽车电子平台 工艺：掌握丰富的汽车电子芯片生产工艺和制造技术经验 产品：1995年，开始生产用于汽车安全气囊的集成电路芯片； 现有39个汽车芯片产品通过认证并正在量产 应用：于引擎控制/车载娱乐/驱动/电压转换等领域 客户：主要客户有大陆、德尔福、英飞凌、丰田、恩智浦 … 质量 第一个通过QS9000(北美三大汽车公司质量标准)论证的中国内地公司； 已通过ISO9002/ISO14001/BS7799/ISO/TS16949等质量认证体系 2009年11月，通过世界第一大汽车零件供应商Continental(德国大陆公司)的VDA6.3体系审核，成为中国唯一汽车电子芯片“A”级供应商。 10 2014年11月29日10时42分

  11. “先进” 芯片制造工艺 Analog（模拟工艺、器件技术） 在汽车电子产品中模拟IC市场份额最大； 主要应用于电源管理IC、放大器、比较器、AD/DA转换器、RF IC、显示驱动IC、各种开关电路、模拟接口IC等； 主要工艺技术：Bipolar，BiCMOS，HVCMOS，Mixed-signal，BCD Power（功率工艺、器件技术） 主要应用于驱动IC； 主要工艺技术：高压MOSFET，IGBT，HVCMOS，TVS等； Sensor（传感器产品、工艺技术） 普通家用轿车上大约安装几十到近百只传感器，豪华轿车上的传感器数量可多达二百余只 ； 主要应用于安全气囊，胎压监测，冷却液、进气/排气、燃油等温度传感器等； 主要工艺技术：表面微机械，体硅微机械 。 11 2014年11月29日10时42分

  12. ASMC是国内唯一家通过VDA6.3 A级标准的代工厂 汽车电子VDA6.3质量控制，目标:0 PPM 12 2014年11月29日10时42分

  13. 广泛而开放的产业合作联盟 产业联盟:完整的产业链架构和“产学研用”联盟 汽车电子芯片设计 • 中科院上海微系统与信息技术研究所 • 北大微电子上海研究院 • 复旦微电子股份有限公司… 工艺研发及生产制造 • 上海先进半导体制造股份有限公司 • 中科院上海微系统与信息技术研究所 芯片应用/系统模块 • 航盛集团/上海航盛 • 同济大学汽车学院… 整车应用 • 上海汽车工业（集团）总公司

  14. 产品技术/知识产权 产品设计 芯片工艺与 生产技术 产品概念 芯片制造 芯片封装 测试 系统、模块 整车厂商 广泛而开放的产业合作联盟 • 为实现上述的项目总体目标和产业化目标采用下面的技术方案路线(产业化联盟) IDM

  15. 上海先进 MEMS代工 • 2009年，公司扩展代工范围，进入MEMS 制造领域，提供MEMS器件代工服务； • MEMS是一种具有独立的设计规则、工艺、制造设备及材料的专用器件； • 已建立了一个新的MEMS Fab并继续战略性地提升MEMS产品的制造能力；

  16. MEMS 无处不在 MEMS

  17. 全球汽车电子MEMS 销售预测 17

  18. 上海先进的MEMS制造平台 • MEMS Cleaning Room • ASMC MEMS 工艺包含前道和后道 • 前道工艺净化车间4300m2 • 后道工艺净化车间300m2 • MEMS Fab 目前产能为3000片/月 • MEMs工艺的制程能力 • 前道工艺能力：双面光刻，DRIE，湿法（TMAH），HT炉管 和 IC foundry 标准制程能力 • 后道工艺能力：双面光刻，DRIE，湿法，金属溅射，Bonding，Grinder • MEMs 的产品 Gyroscope，MEMS oscillator，Accelerometer，Pressure sensor，Bio-MEMS，Micro-fluidic-controller，Optical MEMS

  19. ASMC 使用MEMS工艺代工喷墨头已有超过10年的历史； ASMC 目前已具备生产3D gyro, accelerometer, flow sensor, optical MEMS等器件的技术. 现有产能: 3000片/月(Calculate base on 20 masks production with 6 DRIE step and 2 bonding step) 与中科院上海微系统所签订战略合作协议，MEMS是合作的重点 上海先进的MEMS制造平台 19

  20. 上海先进MEMS目前主要应用 2013 Global MEMS Status ASMC’s current focus 20

  21. 车用MEMS 传感器 • 汽车电子主要用到的 MEMS传感器： • Top 4 MEMS in Auto (99%): Pressure, Accelerometer, Gyro, FS . Growth rate in past 5 years:3-12%. Micro bolometer the 5th largest amount in Auto MEMS field，the importance would be shown by quick jump of bight vision system from 2016. • By sales volume: ESC，AIR BAG，MAP, TPMS, ROLLING DETECT. 21

  22. ASMC胎压监测（TPMS）基本结构 • TPMS Schematic Drawing 22

  23. ASMC研发的几款产品 • 车载音频功放芯片 • TPMS演示系统（SIP封装） • 低功耗8位MCU芯片 • MEMS压力&加速度传感器 • RF射频发射芯片

  24. ASMC汽车电子产品及技术方案 • 车载娱乐芯片：以前期发改委项目为契机，配合合作伙伴的产品开发, 形成完备的车载娱乐芯片工艺门类, 支持从电源管理、调谐接收、 CD/DVD读写头驱动、音/视频解码和信号处理、功率放大、显示驱动和数据通讯等各种车载娱乐芯片对制造工艺的需求； • 车用8位MCU: 以经信委TPMS项目为契机，进入车载MCU代工领域，重点放在高可靠性8位MCU工艺和相关设计支持IP库的完善上，除满足国内车厂对车用低端8位MCU需要外，还将努力实现带CAN/LIN controller的高端MCU和相关总线收发器的片上集成； • 车用传感器: ASMC目前已建成国内第一条专用MEMS 工艺线, 主要产品包括微陀螺、加速度传感器和压力传感器等； • 新能源汽车电控芯片：形成15V/30V/40V/50V/60V/120V/400V/650V的全电压系列车用BCD工艺，并建成400V/600V/900V/1200V/1700V/3500V的全电压系列大功率器件工艺平台，为客户在动力电池组管理芯片和电机驱动控制芯片领域的开发和生产提供工艺制造服务；

  25. 谢 谢！

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