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TOHFLON 氟 樹脂配管 部件介紹

TOHFLON 氟 樹脂配管 部件介紹. (1) 配管 ( Tube ) NewPFA Tube(φ1/8” ～ φ2”) (2) 防止 帶電 ・ 加熱 機能 接管 Tohflon Panda Tube (3) 非金屬大口徑配管接頭　　　　　 Flarerib Joint(φ1” ～ φ2”) (4) 高純度薬液・ CMP Thriller 配管 閥 Pinch Valve(Prototype 開 發 中 ). (1) NewPFA Tube(φ1/8” ～ φ2”). 特徵 ◎乾淨的生產環境

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TOHFLON 氟 樹脂配管 部件介紹

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Presentation Transcript

  1. TOHFLON 氟樹脂配管部件介紹 (1) 配管(Tube) NewPFA Tube(φ1/8”～φ2”) (2) 防止帶電・加熱機能接管Tohflon Panda Tube (3) 非金屬大口徑配管接頭　　　　　 Flarerib Joint(φ1”～φ2”) (4) 高純度薬液・CMP Thriller配管閥 Pinch Valve(Prototype開發中)

  2. (1)NewPFATube(φ1/8”～φ2”) 特徵 ◎乾淨的生產環境 →隔離壓製室及收納・包裝室，以保持乾淨無菌的 作業環境各式各樣長度的接管樣式 →標準：3/5/10/20/30/50/100/150(m) →其餘任何長尺規格亦皆有對應 ◎低溶出金屬 →導入螺旋圓柱的模具，能有效抑制金屬離子溶出 的情形。 ◎NewPFA接管金屬溶出資料 在無菌室裡準備單邊末端密封的NewPFA接管，用超純水清洗十分鐘之後，在接管內加入33g的0.1N硝酸，放置七天，然後用精工(SEIKO)電子製的SPQ9000型ICP-MS測定。 ◎收納・包裝室：Clean class:1000以下 ◎壓製室：Clean class:1000以下 ●將壓製室及收納・包裝室隔絕 ●長尺梱包品 ＮＤ表示低於檢出界限。

  3. ＜FLARERIB JOINT的３大特徴＞ ○對應大容量配管 有1吋、1(1/2)吋、2吋不同的配管用大型配管接頭，能對應300 mm半導体製造系統、液晶製造系統、化學物製造等大容量的藥液供給。 ○實現無金屬配管 將管線的厚度規格化，作為高純度藥液的配管。藉由使用FLARERIB JOINT，不含金屬原料的氟樹脂製配管可以適用於各種藥液供給量。 ○大幅減輕施工及維護的作業 藉著本社獨特的產品構造，加固螺帽的作業可以大幅減少，也能增加作業的便利性。 量環(PE) 連接螺帽(NewPFA) 外環　(NewPFA) 接管 (NewPFA) 本體(NewPFA or PTFE) ●接管尺寸Tube size *幾乎不需再加強連接螺帽的固定 *構造簡單，方便緊固螺帽 *配管體積小重量輕 ●FLARERIB JOINT & NewPFA TUBE ●接管加熱加工機Hot flaring tools * 耐冷熱溫差 *防止連接螺帽和接管同時迴轉 *接管耐彎且不易變形 *液體換置方便迅速

  4. FLARERIB JOINT置換特性評估 微粒樣本液：Polystyrene dispersion 洗淨液：超純水(UPW) 實驗環境：無菌室(Class 100) 微粒記數器：LASAIR(PMS社製) 40mm 30mm 30mm 30mm 30mm 微粒溶出實驗 ＜實驗方法＞ （STEP 1）使用PFA管作為接頭。（製作樣品配管） （STEP 2）將500mL的樣本液填充至樣品配管。放置十分鐘後倒出。 （STEP 3）將500mL的UPW（超純水）填充至樣本配管後，搖晃約一分鐘，然後放置三分鐘。 （STEP 4）用UPW沖洗後倒出，計算溶出微粒的數量。 之後，反覆進行（STEP 3）&（STEP 4）四次。 清洗次數以及微粒溶出量 配管樣本 【 他社継手・チューブ配管 】 【 当社継手・チューブ配管 】 〇停留於接頭／接管間的微粒子 細微觀察(×1000)

  5. 具備帶電防止效果機能之氟樹脂接管(Tube) 特徵 ○帯電防止効果 ○加熱機能 ○耐薬品性・耐熱性 ○接管内部可視性 用　途 ○Si Ball搬送用接管 ○SiBall乾燥過程用接管 ○可燃性抗蝕劑搬送用接管 ○其他。加熱・帯電防止用途等 断面形状 【 摩擦帯電後の電位比較 】 (2) TOHFLON PANDA TUBE

  6. NewPFATube 規格(φ1/8”～φ2”)

  7. FLARERIB JOINTの長期耐久性(増し締め不要) ●重複拉力實驗 <實驗方法> 將接管兩端都接上接頭然後兩端都加以拉力，在測量接管的拔除力度以及接管標線間的延展率。此作業使用同一個接頭樣本，並重複７次。 ●長期冷熱循環CHAMPION TEST ＜實驗方法＞ 1999年9月在循環系統配管中，為配合接續進行本社開發的FLARERIB JOINT安裝，開始一日一循環之冷熱循環，金屬接頭裝置進行轉矩之後，不再栓緊，在接頭地方也不會有漏的現象產生。 30日的測試之後，在使用上完全沒有問題，客戶評價也很高。 ★装置全体 IWAKI社製 PUMP:ＦＷ-８０ TANPA:ＰＤ-８０Ｗ 流體：Silicon oil 液温:110℃⇔常温（冷熱ｻｲｸﾙ運転） 供給氣壓:0.35MPa 吐出壓 :0.15MPa Ｐ Speed:60spm 流量：max80L/min ★接頭 規格：φ1”､φ1(1/2)” ■引張試験前 重量=0.0kN(0.0kgf) 接管標線延展率=0% 接管尺寸：φ1"×φ7/8" ■引張試験中 重量=1.87kN(183kgf) 接管標線延展率=277% 接管尺寸：φ1"×φ7/8" ●經過重複拉力實驗後的樣本的耐壓測試（重複100,000次) 經過100,000次耐壓測試後，無法確認接管的脫落以及實驗 液體的滲漏。 ←在拉力實驗前 ，測試耐壓的 情形。 ←接管因為拉力 實驗而明顯變 細，但完全沒 有滲漏情形。

  8. Flarerib Joint的實際使用成效例子 ●NewPFA接管φ1(1/2)”×φ1(21/64)”：長尺系統　 ●NewPFA接管φ1(1/2)”×φ1(21/64)”：接管彎曲接續 ●NewPFA接管 φ2”×φ1(51/64)”：Lining tank的Outlet ●NewPFA接管φ1(1/2)”×φ1(21/64)”：雙重配管

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