20 likes | 195 Views
Образец до травления. Образец после травления. РГУ им. Иммануила Канта Инновационный парк Центр ионно-плазменных и нанотехнологий. ОЖЕ МИКРОАНАЛИЗАТОР JAMP – 9500 F. Результат профилирования многослойной структуры. Технические характеристики. Электронно-оптическая система:. Ионная пушка:.
E N D
Образец до травления Образец после травления РГУ им. Иммануила КантаИнновационный паркЦентр ионно-плазменных и нанотехнологий ОЖЕ МИКРОАНАЛИЗАТОР JAMP – 9500 F Результат профилирования многослойной структуры
Технические характеристики Электронно-оптическая система: Ионная пушка: Установка предназначена для изучения и анализа поверхности образцов различного происхождения, устойчивых в условиях сверхвысокого вакуума, получения информации о химическом составе, концентрации и химическом состоянии исследуемого соединения в сверхмалой области образца, как на поверхности, так и в малой приповерхностной области. Вакуумная система: