Download
1 / 11
130 likes | 506 Views
MÀNG MỎNG TÍNH CHẤT ĐIỆN. HVTH: LÊ HOÀNG NAM. PHƯƠNG PHÁP ĐO. VẬT LÍ MÀNG MỎNG. PHƯƠNG PHÁP XÁC ĐỊNH CẤU TRÚC MÀNG. Phương pháp nhiễu xạ tia X Phương pháp Stylus Phép đo hiệu ứng Hall Phương pháp đo điện trở suất Phương pháp sử dụng phần mềm Scout. PHƯƠNG PHÁP NHIỄU XẠ TIA X.
E N D
MÀNG MỎNG TÍNH CHẤT ĐIỆN HVTH: LÊ HOÀNG NAM PHƯƠNG PHÁP ĐO VẬT LÍ MÀNG MỎNG
PHƯƠNG PHÁP XÁC ĐỊNH CẤU TRÚC MÀNG • Phương pháp nhiễu xạ tia X • Phương pháp Stylus • Phép đo hiệu ứng Hall • Phương pháp đo điện trở suất • Phương pháp sử dụng phần mềm Scout
PHƯƠNG PHÁP NHIỄU XẠ TIA X • Mục đích : Xác định cấu trúc và kích thước hạt • Cơ sở : Công thức Sherrer
PHƯƠNG PHÁP STYLUS • Mục đích : Xác định độ dày của màng • Sơ đồ khối của máy đo Stylus : LVTD Điều kiện tín hiệu Mẫu Chuyển đổi A/D Bộ nhớ máy tính Bàn soi
Hình 4: Nguyên tắc phép đo hiệu ứng Hall PHÉP ĐO HIỆU ỨNG HALL • Mục đích : Xác định nồng độ hạt tải và độ linh động • Cơ sở :
PHÉP ĐO HIỆU ỨNG HALL Ở trạng thái cân bằng Ta có :
XÁC ĐỊNH ĐIỆN TRỞ SUẤT Phương pháp đo điện trở vuông
XÁC ĐỊNH ĐIỆN TRỞ SUẤT Phương pháp đo bốn mũi dò Cách đo: Công thức tổng quát với G : Số hiệu chỉnh (tùy thuộc vào hình dạng và kích thước của mẫu)
Sử dụng phần mềm khớp phổ Scout • Mục đích :độ dày, chiết suất, độ rộng vùng cấm, điện trở suất, nồng độ hạt tải và độ linh động. • Nguyên tắc : • Khai báo các dữ liệu: vật liệu tạo màng, các thông số quang ban đầu của vật liệu • Xác định loại phổ cần làm khớp, vẽ phổ lý thuyết của nó dựa trên các thông số đã khai báo • Chọn các thông số muốn làm khớp sao cho phổ lí thuyết trùng khớp với phổ thực nghiệm nhất. • Thay đổi dần các thông số để kết quả làm khớp là tốt nhất. Từ đó ta xác định được các thông số của màng.
