京都大学宇宙物理学教室／附属天文台 国立天文台岡山 天体 物理観測所 名古屋大学理学部 Z 研 （株）ナノオプトニクス研究所

1. ワーク支持冶具の開発 ワーク支持冶具の開発 ロードセル 支持パッド 基板 ピエゾ素子 145 mm 下方向リミットスイッチ DCモータ M12細目 上方向リミットスイッチ ストローク 駆動制度 荷重測定精度 低角荷重 始動荷重 ： ： ： ： ： 1 mm 0.1 mm 5 gf 5 kgf 10 kg 1 mV = 1 g ロードセル 5 g リファレンス 24時間 京都大学宇宙物理学教室／附属天文台 国立天文台岡山天体物理観測所 　　　　　　　名古屋大学理学部Z研 （株）ナノオプトニクス研究所 京大岡山新技術望遠鏡計画 　分割鏡は平面基板上に固定されて研削されますが、望遠鏡に搭載する際は27の支持点で支持されます。分割鏡は1mサイズの扇型ですが、厚さは40mm程度と非常に薄く、支持方法による変形が非常に大きくなると予想されます。そのため機上での形状測定では、望遠鏡搭載時と同じ支持位置で基板からわずかに持ち上げ、各支持点には望遠鏡搭載時と等しい荷重がかかるよう各支持点の高さを調整する必要があります。このような機能をもつ冶具がワーク支持冶具です。 ワーク支持冶具の模式図 アクチュエータの模式図 アクチュエータの仕様 　微動・始動にはPiezomechanik製ピエゾ素子HP St 150/14-10/12、粗動には日本サーボ製DCモータDME 44SA、荷重測定には昭和測器製ロードセルMR-50Nを使用します。現在、自作のロードセル読出し回路の安定性試験を行っており、長期間にわたって目標測定精度5gf以下の読出しができていることが実証されました。