Download
1 / 16
190 likes | 378 Views
Tehnologia realizării circuitelor integrate. Litogra fia. Un circuit integrat este o colec ţie de dispozitive active şi componente pasive interconectate electric, realizate pe acelaşi substrat de siliciu.
E N D
Tehnologia realizării circuitelor integrate Tehnologie electronică - Curs 7
Litografia • Un circuit integrateste o colecţie de dispozitive active şi componente pasive interconectate electric, realizate pe acelaşi substrat de siliciu. • Componenta de bază a circuitelor integrate este tranzistorul. Iniţial BIPOLAR apoi MOS în final BiCMOS. • Indiferent de tipul de tranzistor, acesta se compune dintr-o succesiune de straturi diferit impurificate. • Procedeul tehnic folosit pentru realizarea acestor straturi succesive şi a legăturilor dintre ele este LITOGRAFIA mai precis FOTOLITOGRAFIA • Fotolitografia se bazează pe acoperirea siliciului cu o substanţă fotosensibilă şi expunerea selectivă la ultraviolete prin nişte măşti. Tehnologie electronică - Curs 7
Evoluţia dimensiunii detaliului minim dintr-o mască IC for pocket calculator 4 K memory 16 K memory Minimum pattern dimension (mm) 64 K memory 256 K memory 256 M memory 1 G memory Anul Tehnologie electronică - Curs 7
www.semiconductorfabtech.com/.../ lithography/7.147.f8c.jp Tehnologie electronică - Curs 7
Limita rezoluţiei • Limita rezoluţiei unui sistem de expunere optic este : unde: • k1este un parametru de proces (uzual 0.4~0.8); • NA este apertura numerică a sistemului de lentile (uzual între 0.16~0.6); • l este lungimea de undă a luminii utilizate. Tehnologie electronică - Curs 7
Extreme UV (13.5 nm) Deep UV light F2 (157 nm) Lungimea de undă a surselor de lumină folosite în litografie Tehnologie electronică - Curs 7
Structura unui tranzistor MOS cu poartă de polisiliciu Tehnologie electronică - Curs 7
Fotolitografia • Utilizează lumină pentru a expune un strat de fotorezist depus pe substrat prin intermediul unei măşti. • Masca este o placă de 2mm de sticlă, pe care sunt depuse regiuni opace de film de câţiva mm sau chiar mai puţin. • Fotorezistul este un polimer sensibil la lumina ultravioletă. Expunerea la lumină determină fie creşterea (rezist pozitiv) fie reducerea solubilităţii (rezist negativ) în anumiţi solvenţi. • Rezistul pozitiv asigură rezoluţie mai bună, cel negativ aderă mai bine la metal şi la SiO2. Tehnologie electronică - Curs 7
Fundamentals of Modern Manufacturing, by Mikell P. Groover Tehnologie electronică - Curs 7
Tehnici de expunere • Prin proiecţie (preferată) • Rezoluţia bună • Lipsa uzurii • Sistem optic sofisticat • Prin contact • Rezoluţie bună • Uzura măştii datorită contactului • Prin proximitate • Rezoluţie mai mică • Masca nu se uzează Tehnologie electronică - Curs 7 Fundamentals of Modern Manufacturing, by Mikell P. Groover
Secvenţa proceselor fotolitografice Tehnologie electronică - Curs 7
Tehnologiabipolarasi CMOS Tehnologie electronică - Curs 7
