1 / 6

Е.Н.Пятышев

Лаборатория. Санкт. -. Петербургский Государственный . Политехнический Университет. Нано- и Микросистемной техники. Микросистемная техника « Введение в MЭMС ». Е.Н.Пятышев. М.С.Лурье. Ю.Д.Акульшин. Санкт-Петербург СПбГПУ. www.mems.ru. Объект управления. Микроэлектроника.

lin
Download Presentation

Е.Н.Пятышев

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Лаборатория Санкт - Петербургский Государственный Политехнический Университет Нано- и Микросистемной техники Микросистемная техника « Введение в MЭMС». Е.Н.Пятышев М.С.Лурье Ю.Д.Акульшин Санкт-Петербург СПбГПУ www.mems.ru

  2. Объект управления Микроэлектроника Активаторы Исполнительные устройства Решающее устройство ЭВМ Контролер Датчики Сенсоры Микротехнологии

  3. Микротехнологии Микросистемная техника Параллельное (“групповое”) изготовление большего количества одинаковых устройств Совместное изготовление механических, электрических и др. элементов Однотипное и одновременное создание сложных комплексных структур Усложнение геометрической конфигурации не является ограничением и не ведет к удорожанию устройства

  4. Микроэлектроника Микротехнологии Микросистемная техника Низкая стоимость единичного изделия Снижение сроков разработки и стоимости производства Групповые технологии: Параллельное изготовление множества однотипных изделий Повышение качества при снижении цены

  5. Микроэлектромеханические системы Микромашины Терминология MST Микросистемная техника ЕВРОПА MEMS США Micromachines Япония Микротехнологии Нанотехнологии

  6. Волос Атом Человек Вирус Бактерия МЭМС Мезо Нанотехнологии Микросистемы Макросистемы Масштабы и шкалы

More Related