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VI-2. La fabrication des masques photographiques. Photomask manufacturing. Phototraceur Vectoriel A balayage Films Constitution Développement Stabilité Environnement. Photoplotter Vectorial Raster scan Films Constitution Processing Stability Environment.
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VI-2 La fabrication des masques photographiques Photomask manufacturing VI-2 Photo-traçage
Phototraceur Vectoriel A balayage Films Constitution Développement Stabilité Environnement Photoplotter Vectorial Raster scan Films Constitution Processing Stability Environment La fabrication de masques photoPhotomask manufacturing VI-2 Photo-traçage
Lampe Lamp Roue d ’ouvertures Aperture wheel Obturateur Shutter Objectif Lens Table mobile Moving Table Film Film X Y Phototraceur vectorielVectorial photoplotter VI-2 Photo-traçage
Tracé vectorielVectorial drawing P3 Flash d ’une pastille Flashed pad Tracé d ’une piste Drawing of a trace P1 P2 VI-2 Photo-traçage
Phototraceur à balayage laserLaserraster scan photoplotter Tambour tournant Rotating drum Film Film Laser laser Commande électronique Electronic control Miroir pivotant Swivel miror VI-2 Photo-traçage
Tracé par balayageRaster scan drawing Pixel laser Laser pixel Image mode point Bitmap picture 2000 dpi = 12,7µm 4000 dpi = 6,35µm 8000 dpi = 3,17µm Résolution traceur Plotter resolution VI-2 Photo-traçage
Lumière 2 Ag + Br2 2 Ag Br Film photographiquePhotographic film Emulsion photosensible Photosensitive emulsion Support polyester 0,1-0,18 mm 0.1-0.18 mm Polyester base Couche anti-reflet Anti-reflection layer VI-2 Photo-traçage
Développement Development Fixage Fixing Lavage Washing Séchage Drying DéveloppementProcessing L ’image apparaît The picture appear Révélateur Developer Fixateur Fixer Le filmdevient transparent The film become transparent Eau water Nettoyage du film Cleaning of the film Air Air VI-2 Photo-traçage
Stabilité dimensionnelleDimensional stability En fonction de la température Versus temperature D (µm) = 22 x L (m) x T (°C) Exemple L = 600 mm, T = 5°c D = 22 x 0,6 x 5 = 66 µm VI-2 Photo-traçage
Stabilité dimensionnelleDimensional stability En fonction de l ’humidité relative Versus relative humidity Épaisseur du film 0,1mm D (µm) = 11 x L (m) x Hr (°C) Exemple L = 600 mm, Hr = 20% D = 11 x 0,6 x 20 = 132 µm VI-2 Photo-traçage
Stabilité dimensionnelleDimensional stability En fonction de l ’humidité relative Versus relative humidity Épaisseur du film 0,18 mm D (µm) = 9 x L (m) x Hr (°C) Exemple L = 600 mm, Hr = 20% D = 9 x 0,6 x 20 = 108 µm VI-2 Photo-traçage
Hygrométrie % Hr 100 90 80 70 60 50 40 30 20 10 0 -10 °C 30 °C 75% Hr Zone de déformation réversible 30% Hr Tempérarure °C -30 -20 -10 0 10 20 30 40 50 60 Stabilité dimensionnelleDimensional stability Réversibilité Reversibility VI-2 Photo-traçage
Délai (approximatif) nécessaire à l ’adaptation des dimensions d ’un film à un changement soudain de l ’humidité relative Epaisseur du film (mm) Adaptation dimensionnelle 40% 60% 80% 100% 0,100 0,180 5 mn 15 mn 60 mn 300 mn 20 mn 60 mn 180 mn 750 mn Stabilité dimensionnelleDimensional stability Acclimatation Acclimatization VI-2 Photo-traçage
EnvironnementEnvironment • Régulation de Température • Ex. 20 0,5 °C • Humidité relative • Ex. 50 5 % Hr • Salle blanche. • Ex. Classe 100 Norme US • ( Nombre de particules > 0,5 µm • par pied cube ) • Temperature régulation • Ex. 20 0,5 °C • Relative humidity • Ex. 50 5 % Hr • Clean room. • Ex. Class 100 US Standard • ( Number of particles > 0.5 µm • per square foot ) VI-2 Photo-traçage