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第二章 透射电子显微镜

金属材料电子显微分析. 第二章 透射电子显微镜. 燕山大学材料科学与工程学院 材料现代分析测试方法课程教学团队 张静武教授 / 博导. §2-1 透射电子显微镜的一般结构. 一、照明系统 1. 电子枪. 2. 聚光镜. 二、成像系统 1. 物镜. f. L 1. L 2. 阿贝成像原理. ( 1) 从物体发出的光发生夫琅和费衍射 (Fralmhofer diffration) ，在透镜的像方焦平面上形成其傅里叶频谱图； (2) 像方焦平面上频谱图各发光点发出的球面次级波在像平面上相干叠加形成物体的像。. 高倍放大和低倍放大.

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Presentation Transcript

  1. 金属材料电子显微分析 第二章 透射电子显微镜 燕山大学材料科学与工程学院 材料现代分析测试方法课程教学团队 张静武教授/博导

  2. §2-1 透射电子显微镜的一般结构

  3. 一、照明系统1.电子枪

  4. 2. 聚光镜

  5. 二、成像系统1.物镜

  6. f L1 L2

  7. 阿贝成像原理 (1)从物体发出的光发生夫琅和费衍射(Fralmhofer diffration)，在透镜的像方焦平面上形成其傅里叶频谱图； (2)像方焦平面上频谱图各发光点发出的球面次级波在像平面上相干叠加形成物体的像。

  8. 高倍放大和低倍放大

  9. ΔLI 1 L´I 1 LI 1 LI 2 LP 图像观察和电子衍射

  10. 选区电子衍射

  11. 投影镜

  12. 观察、记录系统

  13. 荧光板－衬度 质厚衬度 衍射衬度 相位衬度

  14. 质厚衬度

  15. 衍射衬度

  16. Ф Ф 相位衬度

  17. 主要部件 1.样品架（台）

  18. 2.光阑 固定光阑：各透镜 可动光阑：C2光阑 物镜光阑 选区光阑

  19. 3.束倾斜（平移装置） 4.消像散器

  20. 006 102 分辨率（放大倍数）测定

  21. 点分辨率

  22. 第二章 小结

  23. 照明系统 成像系统 观察记录系统 第二章 小结 电子枪：加速－聚焦 聚光镜：C1 C2 物 镜：强磁 成像 中间镜：变倍 观察/衍射 投影镜： 荧光板－相盒： 质厚－衍射－相位 部 件：样品台 光阑 性 能：分辨率 点/晶格 电子光学部分

  24. 基础－扩展 电子枪和电场聚焦 俄歇谱仪 XPS双通道电子能量分析器 EELS

  25. 场发射电子枪

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