120 likes | 286 Views
«Исследование дефектности тонких пленок алюминия». Руководитель: Миронов Ю.М. Группа: ИУ4-112 Студент: Сухов П.Е. 1. Цель работы.
E N D
«Исследование дефектности тонких пленок алюминия» Руководитель: Миронов Ю.М. Группа: ИУ4-112 Студент: Сухов П.Е. 1
Цель работы Изучение теоретических основ высоковакуумной сканирующей туннельной микроскопии высокого разрешения. Освоение работы сверхвысоковакуумного сканирующего зондового микроскопа JSPM4610A. Получение топографии поверхности исследуемого образца в режиме постоянного туннельного тока. 6
Теоретические основы сканирующей туннельной микроскопии 7
Теория туннелирования электронов 9
Подход Бардина – Терсоффа – Хамана к описанию туннельного тока 10
Камера обмена образцов в открытом виде 12
Необходимо После нажатия кнопки «Stop» давление в камере сохраняется в течении 5 секунд, после чего автоматически открывается напускной клапан - и давление в камере повышается до атмосферного. При этом необходимо отследить повышение давления по стрелке датчика и открыть камеру ТОЛЬКО после того как в ней установится атмосферное давление (через 3-5 сек после открытия напускного клапана). 12
Результат Изображение поверхности образца в режиме СТМ 12
Выводы 12