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真空技術 - 管件與轉接頭

真空技術 - 管件與轉接頭. 指導教授 : 吳文端 老師 學生 : 向勁齊 黃鈺婷. 2011/11/23. Outline. 管件分類 管件介紹 轉接頭分類 轉接頭介紹 參考文獻. 管件介紹. 彎管系列 T 型管系列 管接頭系列 四通管系列. 彎管系列 : 90 Elbows. 彎管系列之 90° 彎頭可適用真空系統中，材質為不銹鋼 304 。 適用於半導體製程設備管線配線、大型管路以及 PUMP 排氣線路之管線。 材質： SS304 不銹鋼 真空度 : > 10 -13 Torr 溫度 : -200 °C to 450 °C

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真空技術 - 管件與轉接頭

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  1. 真空技術-管件與轉接頭 指導教授:吳文端 老師 學生: 向勁齊 黃鈺婷 2011/11/23

  2. Outline 管件分類 管件介紹 轉接頭分類 轉接頭介紹 參考文獻

  3. 管件介紹 • 彎管系列 • T型管系列 • 管接頭系列 • 四通管系列

  4. 彎管系列: 90 Elbows 彎管系列之90°彎頭可適用真空系統中，材質為不銹鋼304。適用於半導體製程設備管線配線、大型管路以及PUMP排氣線路之管線。 材質：SS304不銹鋼 真空度 : > 10-13Torr 溫度: -200 °C to 450 °C *半徑或斜面設計

  5. 彎管系列: 45 Elbows 彎管系列之45°彎頭可適用真空系統中，材質為不銹鋼304。適用於半導體製程設備管線配線、大型管路以及PUMP排氣線路之管線。 材質：SS304不銹鋼 真空度 : > 10-13Torr 溫度: -200 °C to 450 °C *半徑或斜面設計

  6. 彎管系列: KF 90 Elbows 彎管系列之KF90°彎頭可適用真空系統中，材質為不銹鋼304。這種90°彎頭於管端焊有KF法蘭,故可提供快速與KF系列配管之銜接。KF 90°彎頭適用於半導體製程設備管線配線、大型管路以及PUMP排氣線路之管線。 材質：SS304不銹鋼 真空度 : > 10-8Torr 溫度: -20 °C to 150 °C *半徑或斜面設計

  7. 彎管系列: KF 90 Elbows 彎管系列之ISO90°彎頭可適用真空系統中，材質為不銹鋼304。這種90°彎頭於管端焊有ISO法蘭,故可提供快速與ISO系列配管之銜接。ISO 90°彎頭適用於半導體製程設備管線配線、大型管路以及PUMP排氣線路之管線。 材質：SS304不銹鋼 真空度 : > 10-8Torr 溫度: -20 °C to 150 °C *半徑或斜面設計

  8. 彎管系列: CF 90 Elbows Fixed 彎管系列之CF 90°彎頭-固定式可適用真空系統中，材質為不銹鋼304。這種90°彎頭於管端焊有CF法蘭,故可提供快速與CF系列配管之銜接。CF 90°彎頭適用於半導體製程設備管線配線、大型管路以及PUMP排氣線路之管線。 材質：SS304不銹鋼 真空度 : > 10-8Torr 溫度: -20 °C to 150 °C 尺寸:CF16~ CF150

  9. 彎管系列: CF 90 Elbows Rotatable 彎管系列之CF 90°彎頭-旋轉式適用真空系統中，材質為不銹鋼304。這種90°彎頭於管端焊有CF法蘭,故可提供快速與CF系列配管之銜接。CF 90°彎頭適用於半導體製程設備管線配線、大型管路以及PUMP排氣線路之管線。 材質：SS304不銹鋼 真空度 : > 10-8Torr 溫度: -20 °C to 150 °C 尺寸:CF16~ CF150

  10. 管件介紹 • 彎管系列 • T型管系列 • 管接頭系列 • 四通管系列

  11. T型管系列:Tees T型管件可適用真空系統中，材質為不銹鋼304。適用於半導體製程設備管線配線、大型管路以及PUMP排氣線路之管線。 材質：SS304不銹鋼 真空度:> 10-13Torr 溫度:-200 °C~450 °C 

  12. T型管系列:Unequal Tees T型管系列之不對稱T型管件可適用真空系統中，材質為不銹鋼304。不對稱T型管件可適用於兩端為不同尺寸的半導體製程設備管線配線、大型管路以及PUMP排氣線路之管線。 材質：SS304不銹鋼 真空度:> 10-13Torr 溫度:-200 °C~450 °

  13. T型管系列:KF Tees T型管系列之KF法蘭 接頭T型管件可適用真空系統中。KF法蘭接頭T型管件適用於各種真空製程設備管線配線與真空腔体管線配線。 材質：SS304不銹鋼 真空度:> 10-8Torr 溫度:-20 °C~150 °C  尺寸:KF16~KF50

  14. 管件介紹 • 彎管系列 • T型管系列 • 管接頭系列 • 四通管系列

  15. 管接頭系列:ISO FULL NIPPLES Nipple Series之ISO full nipple管件適用真空系統中。其末端的接頭焊有ISO真空法蘭可利用ISO系列之夾鉗固定與銜接於各種真空製程設備管線配線與真空腔体管線配線。ISO真空法蘭系列管配件亦適合用於各種ISO法蘭末端之腔體管線搭配。 材質：SS304不銹鋼 真空度:> 10-8Torr 溫度:-20 °C~150 °C  尺寸:CF16~CF200

  16. 管接頭系列:CF NIPPLES FIXED Nipple Series之CF nipple-固定式法蘭可適用真空系統中。CF nipple-固定式管件適用於各種真空製程設備管線配線與真空腔体管線配線。此種型式的管件其兩端焊有固定式的CF法蘭。 材質：SS304不銹鋼 真空度:> 10-8Torr 溫度:-20 °C~150 °C  尺寸:CF16~CF200

  17. 管件介紹 • 彎管系列 • T型管系列 • 管接頭系列 • 四通管系列

  18. 四通管系列:4 WAY CROSSES 4通管件可適用真空系統中，材質為不銹鋼304。適用於半導體製程設備管線配線、大型管路以及PUMP排氣線路之管線。 材質：SS304不銹鋼 真空度:> 10-13Torr 溫度:-200°C~450 °C 

  19. 四通管系列:4 WAY CROSSES 四通管系列之KF 4通管件可適用真空系統中。KF4通管件適用於各種真空製程設備管線配線與真空腔体管線配線。 材質：SS304不銹鋼 真空度:> 10-8Torr 溫度:-20°C~150 °C  尺寸:KF16~KF50

  20. 四通管系列:CF 4 WAY CROSSES FIXED 四通管系列之CF 4通管件-固定式適用真空系統中，材質為不銹鋼304。這種4通管件於管端焊有CF法蘭,故可提供快速與CF系列配管之銜接。CF4通管件適用於半導體製程設備管線配線、大型管路以及PUMP排氣線路之管線。 材質：SS304不銹鋼 真空度:> 10-8Torr 溫度:-20°C~150 °C  尺寸:CF16~CF150

  21. 轉接頭分類 • TUBULATED ADAPTOR • REDUCING ADAPTOR • ADAPTOR系列

  22. 轉接頭分類 • TUBULATED ADAPTOR • REDUCING ADAPTOR • ADAPTOR系列

  23. TUBULATED ADAPTOR:ISO KF TUBULATED ADAPTOR ISO轉接KF法蘭轉接頭用來提供管件的密封過渡轉接。其特色是轉接頭的兩端可接續各種不同尺寸的管線配管。這種轉接頭適用於轉介不同形式的法蘭兩端之管件。 材質：不銹鋼304 S.S. 真空度: 1×10-8Torr 溫度: -20 °C~150 °C

  24. TUBULATED ADAPTOR:CF KF TUBULATED ADAPTOR CF轉接KF法蘭轉接頭用來提供管件的密封過渡轉接。其特色是轉接頭的兩端可接續各種不同尺寸的管線配管。這種轉接頭適用於轉介不同形式的法蘭兩端之管件。 材質：不銹鋼304 S.S. 真空度: 1×10-8Torr 溫度: -20 °C~150 °C

  25. TUBULATED ADAPTOR:CF ISO TUBULATED ADAPTOR CF轉接ISO法蘭轉接頭用來提供管件的密封過渡轉接。其特色是轉接頭的兩端可接續各種不同尺寸的管線配管。這種轉接頭適用於轉介不同形式的法蘭兩端之管件。 材質：不銹鋼304 S.S. 真空度: 1×10-8Torr 溫度: -20 °C~150 °C

  26. 轉接頭分類 • TUBULATED ADAPTOR • REDUCING ADAPTOR • ADAPTOR系列

  27. REDUCING ADAPTOR:ISO CONICAL REDUCING ADAPTOR ISO轉ISO轉接頭用來提供管件的密封過渡轉接。其特色是轉接頭的兩端可接續各種不同尺寸的管線配管。這種圓錐轉接頭適用於轉介相同形式法蘭或不同形式法蘭的兩端但不同管徑之管件。 材質：不銹鋼304 S.S. 真空度: 1×10-8Torr 溫度: -20 °C~150 °C

  28. REDUCING ADAPTOR:ISO-KF CONICAL REDUCING ADAPTOR ISO轉KF轉接頭用來提供管件的密封過渡轉接。其特色是轉接頭的兩端可接續各種不同尺寸的管線配管。這種圓錐轉接頭適用於轉介相同形式法蘭或不同形式法蘭的兩端但不同管徑之管件。 材質：不銹鋼304 S.S. 真空度: 1×10-8Torr 溫度: -20 °C~150 °C

  29. REDUCING ADAPTOR:KF-KF CONICAL REDUCING ADAPTOR KF轉KF轉接頭用來提供管件的密封過渡轉接。其特色是轉接頭的兩端可接續各種不同尺寸的管線配管。這種圓錐轉接頭適用於轉介相同形式法蘭或不同形式法蘭的兩端但不同管徑之管件。 材質：不銹鋼304 S.S. 真空度: 1×10-8Torr 溫度: -20 °C~150 °C

  30. 轉接頭分類 • TUBULATED ADAPTOR • REDUCING ADAPTOR • ADAPTOR系列

  31. ADAPTOR系列:KF QUICK DISCONNECT ADAPTOR 轉接頭用來提供管件的密封過渡轉接。其特色是轉接頭的兩端可接續各種不同尺寸的管線配管。此種形式之轉接頭適用於結合標準配件法蘭。 材質：不銹鋼304 S.S. 真空度: 1×10-8Torr 溫度: -20 °C~150 °C

  32. ADAPTOR系列:KF FEMALE PIPE ADAPTOR 轉接頭用來提供管件的密封過渡轉接。其特色是轉接頭的兩端可接續各種不同尺寸的管線配管。此種形式之轉接頭適用於結合標準配件法蘭。 材質：不銹鋼304 S.S. 真空度: 1×10-8Torr 溫度: -20 °C~150 °C

  33. ADAPTOR系列:KF MALE PIPE ADAPTOR 轉接頭用來提供管件的密封過渡轉接。其特色是轉接頭的兩端可接續各種不同尺寸的管線配管。此種形式之轉接頭適用於結合標準配件法蘭。 材質：不銹鋼304 S.S. 真空度: 1×10-8Torr 溫度: -20 °C~150 °C

  34. KF10 1/2英吋 美規管外徑12.7KF16 3/4英吋 美規管外徑19.05KF25 1英吋 美規管外徑25.4KF40 1.5英吋 美規管外徑38.1 KF50 2英吋 美規管外徑50.8KF63 2.5英吋 美規管外徑63.5KF80 3英吋 美規管外徑76.2KF100 4英吋 美規管外徑101.6

  35. 參考文獻 • 日揚科技　http://www.high-light.com.tw/cht/index.php

  36. Thankyoufor your listening

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