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SOFTWARES DE CONTROLE PARA SISTEMA DE PROCESSAMENTO DE MATERIAIS E DISPOSITIVOS POR LASER ULTRAVIOLETA Aluna Patrícia Domingues Orientador Prof. Dr. Jacobus Swart Coorientador Dr. Ednan Joanni. Simplified drawing of the laser microfabrication system at CTI. Computer control:
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SOFTWARES DE CONTROLE PARA SISTEMA DE PROCESSAMENTO DE MATERIAIS E DISPOSITIVOS POR LASER ULTRAVIOLETAAluna Patrícia DominguesOrientador Prof. Dr. JacobusSwartCoorientadorDr. EdnanJoanni
Simplified drawing of the laser microfabrication system at CTI • Computer control: • sample movement (X,Y) • laser power and pulse frequency • beam focus (Z) focusing mirrors beam expansion wafer UV Laser collimation z y x translation stages optical table
Sistema: Componentes e Programação • Programação Aplicações do software: Peças manufaturadas
Variáveis independentes Metodologia e Aplicações • Área • Variáveis dependentes • Profundidade de ablação • Fenômeno causado no material • Características do substrato • Quantitativa • Experimental: • Testes com diversos tipos de substratos • Perfilometria • Microscopia • Ajuste focal das lentes • Velocidade dos posicionadores • Taxa de repetição • Resfriamento do substrato • Revistas especializadas • Estereolitografia* • Prototipagem rápida (3D) • Fotopolimerização • Modificação de superfícies • Metodologia • Aplicações já realizadas