140 likes | 276 Views
טרנזיסטורים מולקולאריים וגלאים ( sensors ) - מחקר טכנולוגי. S. Moshe, S. Toledano, K. Finkelstein, R. Sarfaty, S. Richter, S. Stolyarova, and Y. Nemirovsky. מוטיבציה מבנה תהליכי עבוד מדידות מסקנות. תשתיות יקרות!. לגעת בגבולות הטכנולוגיות בנקודת המפגש עם הכימיה והביולוגיה.
E N D
טרנזיסטורים מולקולאריים וגלאים (sensors) - מחקר טכנולוגי S. Moshe, S. Toledano, K. Finkelstein, R. Sarfaty, S. Richter, S. Stolyarova, and Y. Nemirovsky • מוטיבציה • מבנה • תהליכי עבוד • מדידות • מסקנות
לגעת בגבולות הטכנולוגיות בנקודת המפגש עם הכימיה והביולוגיה.
Development of nano-transistor based on Self Assembly deposition of Biological Molecules Department of Electronics and Electrical engineering, Ort Braude College, Karmiel & Nano-science and nano-technology institute, Tel Aviv University by Shai-li Moshe advisors: Dr. Shachar Richter Dr. Rona Sarfaty
טרנזיסטור ייחודי (אקלקטי) : שפך ומקור טכנולוגית Si תעלה ביו-מולקולרית החלפת הליטוגרפיה הטכנולוגית בתהליך כימי של Self Assembly שער פוטוני. האתגר – שילוב טכנולוגי, כימי וביולוגי.אלקטרוניקה מולקולרית Why Molecules ?
The device 1um Optical Microscope AFM – 3D of a cavity Indium-Tin-Oxide (ITO) Si3N4 Au SiO2 Si Ti Photo-System-I • Si/SiO2 (575um/200nm) substrate • Photo lithography • Ti/Au (10nm/140nm) • Lift off • 50nm Silicon Nitride PECVD • 7. Photo lithography to define: • I. cavities for SAM • II. vias to bottom electrodes • 8. Nitride RIE
PS-I moleculeקומפלקס חלבוני המעורב בתהליך פוטוסינתזה חמצנית
Top electrode Bottom electrode SAM Top View light ITO Si3N4 SiO2 SAM (PS-I) inside a cavity Si Au 3D illustration
Electrical measurements 2. Photo-current effect A KEITHLEY236 Olympus lamp Hal-L12V 100W
conclusions • Conductance is through the molecules • Gating by light – 8nm channel • Full encapsulation - no performance reduction • Total VLSI compatibility
Prof. Yosi Shacham Image of the 100 nL volume electrochemical chip. (a) Silicon chip contains an array of eight miniaturized electrochemical cells with external pads. Novel Integrated Electrochemical Nano-Biochip for Toxicity Detection in Water
Uncooled IR sensors: the Honeywell VOx bolometer 2% Array: 320 * 240 Pixel: (30-50 )* 50 micron NETD ~ 30 mK (Optics) Cost < $ 2 K