Профориентационная работа кафедры МЭ в 2009-2010 уч. году

1. 1. Проведение занятий для учащихся 10-11 классов гимназии №1528по курсам: «Основы трехмерного проектирования» и «Роботизированные системы в МЭ» 2. Подготовка школьников к участию в конференции «Творчество юных» в секции «Техника и технология» 3. Проведение экскурсий для учащихся гимназии №1528 и №1353по направлению «Микросистемная техника. Оборудование. Робототехника» Профориентационная работа кафедры МЭ в 2009-2010 уч. году 5. На кафедре организован кружок для школьников «Робототехника» 4. Проведение экскурсий и лекций «Микросистемная техника. Оборудование. Робототехника» для школьников по графику управления образования.

2. были организованы кафедрой • школа № 1353 - 58 человек • гимназия №1528 - 34 человека • по направлению управления образования • школа № 1692 - 14 человек • школа № 1739 - 10 человек • школа №1149 - 7 человек • гимназия №1150 - 17 человек • школа № 718 - 12 человек • школа № 1923 - 13 человек • школа г. Торжок - 12 человек Экскурсии «Микросистемная техника. Оборудование. Робототехника» ИТОГО: 167 человек

3. Лекция «Микросистемная техника. Оборудование. Робототехника» • по направлению управления образования • школа № 617 - 14 человек • школа № 804 - 12 человек • школа №1149 - 19 человек • гимназия №1150 - 12 человек • школа № 638 - 16 человек ИТОГО: 73 человека

4. Кружок «Робототехника»

5. Каждую неделю по пятницам проводятся занятия со школьниками по направлению “Робототехника”.

6. Результатом занятий в кружке является участие школьников в ежегодной научно-практической конференции МИЭТ “Творчество юных”. Воронин Денис (механизированный робот ) – диплом 1 степени Столярчук Ксения (роботизированная рука) – диплом 2 степени Роботизированная рука Механизированный робот на гусеничной основе

7. Экскурсия

8. Микросистемнаятехника. Оборудование. Робототехника. Разработка Производство Испытание, контроль • Аналитическое математическое моделирование • Компьютерное моделирование с использованием программных продуктовпроизводства РТС, Mentor Graphics, ANSYS, Solid Works Кристальное производство элементов и схем микро- и наносистем-ной техники Сборка модулей систем Тестиро-вание испыта-ние Оборудование: Поворотные столы Оптические головки Термокамеры Технологическое и контрольно-измерительное оборудование для производства изделий НЭМС и МЭМС на основе обработки Si пластин Участок входного контроля Участок фотолитографии Участок жидкостной химической обработки и травления Участок сухого травления технологических слоев Участок формирования д/э слоёв Участок напыления металлов Участок термических процессов и осаждения технологических слоев Участок сборки

9. РАЗРАБОТКА 1. Аналитическое математическое моделирование • Компьютерное 3D-моделирование с использованием программных продуктовпроизводства РТС, Mentor Graphics, ANSYS,Solid Works

10. РАЗРАБОТКА Компьютерное 3D-моделирование с использованием ПО ANSYS

11. РАЗРАБОТКА Центр Mentor Graphics – МИЭТ РАЗРАБОТКА Аудитория 4308 Учебно-научный центр проектирования «Mentor Graphics — МИЭТ» занимается вопросами проектирования систем на печатных платах, интегрировано с маршрутом проектирования ПЛИС. Центр полностью укомплектован необходимым компьютерным и демонстрационным оборудованием, программное обеспечение установлено на рабочих местах, подготовлены базовые учебные пособия на русском языке.

12. РАЗРАБОТКА Центр проектирования Pro/Engineer Аудитория 4116 Инновационный центр, созданный совместно с фирмой Parametric Technology Corporation (PTC), обеспечивает подготовку специалистов, бакалавров и магистров по направлениям «Электронное машиностроение» , «Проектирование и технология электронных средств». Направлением подготовки является проектирование узлов и систем технологического оборудования для производства изделий микроэлектроники и микросистемной техники, а также блоков электронных средств, с помощью системы объемного параметрического моделирования Pro/Engineer.

13. Упрощённый технологический маршрут изготовления МЭМС Подготовка исходных пластин Изготовление элементов ИС Получение подвижных и неподвижных элементов МЭМС Совмещение элементов и структур МЭМС (установка SUSSMA6/BA6) Получение чувствитель-ных элементов и струк-тур МЭМС. Сращивание Si-Si; Si-SiO2-Si; Si-стекло (установка SUSS SB6e) • - фотолитография • - жидкостная хим. обработка и травление, плазмохимическая обработка • - формирование д/э слоёв • - напыление металлов • - термические процессы • осаждение технологических слоев • сборка и корпусирование

14. ПРОИЗВОДСТВО КРИСТАЛЬНОЕ ПРОИЗВОДСТВО ЭЛЕМЕНТОВ И СХЕМ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ. ГЛУБОКОЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ КРЕМНИЯ Аудитория 7217 Профили травления Кольцевой гироскоп Установка плазменного травления кремния AMS 200 SE “I-PRODUCTIVITY” (ALCATEL, Франция)

15. Высокоточная установка SussMA/BA 6 (Suss MicroTec, ФРГ) для фотолитографии, совмещения фотошаблонов и пластин для их последующего сращивания ПРОИЗВОДСТВО КРИСТАЛЬНОЕ ПРОИЗВОДСТВО ЭЛЕМЕНТОВ И СХЕМ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ. ФОТОЛИТОГРАФИЯ И СОВМЕЩЕНИЕ ПЛАСТИН Аудитория 7217

16. Полуавтоматическая высокоточная установка сращивания (склейка, бондинг) пластин SussSB6 (Suss MicroTec, ФРГ) ПРОИЗВОДСТВО КРИСТАЛЬНОЕ ПРОИЗВОДСТВО ЭЛЕМЕНТОВ И СХЕМ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ. СРАЩИВАНИЕ ПЛАСТИН (БОНДИНГ) Аудитория 7217 Сращивание Si и стеклянной пластин диаметром 100 мм на установке SB6.

17. ПРОИЗВОДСТВО СБОРКА, КОРПУСИРОВАНИЕ, КОНТРОЛЬ ПАРАМЕТРОВ Измерение и контроль ЧЭ МЭМС Сборка и контроль ЧЭ МЭМС Разварка выводов в корпусе ЧЭ МЭМС Контроль параметров корпусированных ЧЭ МЭМС Аудитория 1102

18. Изучение характеристик разрабатываемых микро- и наноакселерометров и других МЭМС-приборов и испытания и контроль серийных изделий при воздействии ускорений, повышенной и пониженной температуры. ИСПЫТАНИЯ и КОНТРОЛЬ Аудитория 4111 Одноосевой поворотный стенд AC1120S (Acutronic Schweiz AG, Швейцария) Ускорение (без нагрузки) 40000о/с2. Диапазон температуры: от -60оС до +125оС Камера тепла и холода МС-811T (Espec Corp, Япония) диапазон температуры: от -85 до +180°С Одноосная центрифуга AC1135 (Acutronic Schweiz AG, Швейцария) ускорение: 0,5-200 g

20. Области применения • 1. Датчики давления • абсолютного давления, относительного давления, дифференциального давления • измерение потоков газов, жидкостей • измерение плотности жидкости • измерение уровня жидкости 8. Микро- и наноакселерометры Автомобилестроение, транспорт (трубопроводный, ж/д) - измерение шумов двигателя - измерение вибрации - счётчики оборотов - удары - ускорение - угол наклона - стабилизация - навигация - позиционирование - сейсмодатчики - датчики изображения 9. Микро- и наногироскопы Измерение угловой скорости, наведение объекта на цель 10. Интегрированные системы 11. Микросопла, реактивные двигатели 2. Датчики излучения 3. Элементы ИС, компоненты, фильтры перестраиваемые 12. Преобразователи энергии и т.д. 4. Телефоны, микрофоны 5. Микрореле 7. Актюаторы 6. Микрозеркала СЭМ-изображение чувствительного элемента кольцевого микрогироскопа. МИЭТ

21. Школьники начинают сотрудничество с кафедрой с посещения занятий кружка «Робототехника» . Поэтому экскурсия заканчивается здесь же. Аудитория 4116

22. ВЫВОДЫ • Выявлена большая заинтересованность в проведении ознакомительных экскурсий и лекций. • Представители школ проявили заинтересованность в участии своих школьников в работе кружка и в организации дополнительных занятий по нашей тематике.

23. Спасибо за внимание