70 likes | 245 Views
Rendezett cink-oxid nanorudak. KészÃtette: Harmat Zita, harmzita@gmail.com Kodály Zoltán Magyar Kórusiskola – Budapest Mentorok: Erdélyi Róbert és dr. Volk János. (c). Cink-oxid nanorudak alkalmazásai. UV nanolézer. Nanogenerátor. Cink-oxid legfontosabb tulajdonságai: Piezoelektromosság
E N D
Rendezett cink-oxid nanorudak Készítette: Harmat Zita, harmzita@gmail.com Kodály Zoltán Magyar Kórusiskola – Budapest Mentorok: Erdélyi Róbert és dr. Volk János
(c) Cink-oxid nanorudak alkalmazásai UV nanolézer Nanogenerátor • Cink-oxid legfontosabb tulajdonságai: • Piezoelektromosság • Félvezető • Biokompatibilitás Nanolencse
Technológia aceton, etanol, víz, oxigén plazma Ellenálló lakkréteg (PMMA) felvitele Litográfia: 46 pA 1,8-2,6 ms/pont Előhívás (CH2)6N4 (Hexametilén-tetramin) Zn(NO3)2*6H2O (cink-nitrát-hexahidrát) 0.2 liter desztillált vízben, 85 °C A maradék lakk leoldása acetonban Tisztítás Elektronsugaras litográfia PMMA Nedveskémiai növesztés PMMA eltávolítása
Eredmények Az AFM működése Előhívás után Marker előhívás után Rezisztréteg vastagsága: 370 nm
Eredmények Növesztés után – SEM-mel Előhívás után – optikai mikroszkóppal Előhívás után – AFM-mel
Átmérő eloszlás Átmérő eloszlásfüggvény Növesztés után - SEM
Köszönetnyilvánítás Ezúton szeretnék köszönetet mondani Mentoraimnak, Erdélyi Róbertnek és dr. Volk Jánosnak, a szakmai irányításért, dr. Lukács Istvánnak az elektronsugaras litográfiában nyújtott segítségéért és dr. Tóth Attilának a SEM képek elkészítéséért. Köszönet jár még magának az Intézetnek is a lehetőségért, hogy itt lehettem.