PVD COATING PROCESS

1. PVD COATING PROCESS 东宇热处理工业（株）

2. N2 BIAS Voltage Reactive gas Ti++ TiN Workpiece Cathode Target Ti+ 0 ~ -1000V BIAS Voltage 东宇热处理工业（株） Arc PVD Coating概要 利用PLASMA在TARGET表面使用ARC，E-Beam，Direct heating 等蒸发金属物质后增加加速Bias电压在产品表面蒸着的真空法。 Vaporization, ionization Heated ion cloud = Plasma Ti+ Ti++ Arc E-beam Direct heat Ti+ Ti++ 0 ~ ㎛ Solid Target( Ti ) Titanium(Ti) is vaporized, ionized and accelerated in one step by the arc, e-beam, direct heat. Reactive gas is added to the metal ions and ionized. All ions are accelerated towards the workpiece by the BIAS voltage

3. 东宇热处理工业（株） PVD Coating 特征 ●高硬度 （High Hardness） ● 高密度的组织 （Dense Structure） ●平滑表面 （Smooth Surface） ●低磨擦率 （Low Friction Coefficient） ●化学 稳定性及无反应性 ●低热传导 （Low thermal comductivity) ●密着特性 （Excellent adhesion) Coating 膜 种类及特性比较

4. 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-TiN 离合器 PUNCH 材质: SKD11 膜厚度: 3 ~4㎛ 涂层膜种类: TiN 用途: 汽车离合器 立端刀, 滚刀等 材质: SKD11 膜厚度: 3 ㎛ 涂层膜种类: TiN 用途:立端刀等 切割工具 化妆品MIX 膜厚度 : 3 ㎛ 涂层膜种类: TiN 备注 : 应用现有Cr涂金⇒因磨损 Cr成分对人体有影响

5. 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-TiN 电子配件制陶术粉末ＰＵＮＣＨ 材质: ＨＳＳ 膜厚度: 3 ㎛ 涂层膜种类: TiN 备　注 : 未涂层时划痕涂层后提高１０倍以上的寿命效果。 ＰＵＮＣＨ类 材质: ＨＳＳ 膜厚度: 3 ~4㎛ 涂层膜种类: TiN 备　注 : 涂层后提高寿命效果。

6. 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-TiAIN 工具类(钻孔机) Circular Saw Blade 材 质: HSS 膜厚度：3~4㎛ 涂层膜种类：TiAIN 备 注：可以处理直径 550mm为止 材 质: HSS 膜厚度：3~4㎛ 涂层膜种类：TiAIN 指甲修整用,砂纸切断用金属 材 质: HSS 膜厚度：3㎛ 涂层膜种类：TiAIN

7. 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-CrN 普通钢板弯曲用Die(1.3t) 材 质: SKD11 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN 备 注：应用T.D处理时因变形问题应用CrN涂层 普通钢板弯曲用Die(1.3t) 材 质: SKD11 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN 备 注：未涂层时100个左右,涂层时可以加工数万个

8. 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-CrN CROSS MBR STEELS (LH, 1.4t) 材 质: HK700 (SKD11 类似钢种– 铸钢) 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating,ION氮化+涂层） 备 注：应用T.D处理时因变形问题应用CrN涂层 CROSS MBR STEELS (RH, 1.4t) 材 质: SKD11 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating,ION氮化+涂层） 备 注：完全解除Steels变形及提高形形成(磨擦系数低)

9. 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-CrN FR SIDE MBR STEELS 材 质: SKD11 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating,ION氮化+涂层） 备 注：应用T.D处理时因变形问题应用CrN涂层 FR SIDE MBR STEELS 材 质: SKD11 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating,ION氮化+涂层） 备 注：完全解除Steels变形及提高形形成(磨擦系数低)

10. 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-CrN BUMPER STEELS(1.6t) 材 质: SKD11 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating,ION氮化+涂层） 备 注：应用03.08.05 FUEL TANK STEELS(0.8t) 材 质: SKD11 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating,ION氮化+涂层） 备 注：应用03.11.30现在量产操作中

11. 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-CrN RR X MBR UPPER STEELS(2.0t) 材 质: SKD11 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating,ION氮化+涂层） 备 注：应用03.10.10 MBR STEELS (2.0t) 材 质: SKD11 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating,ION氮化+涂层） 备 注：应用03.09.15现在量产处理中

12. 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-CrN RR FLR /SIDE STEELS(1.4t) 材 质: SKD11 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating,ION氮化+涂层） 备 注：应用02.09.30 燃料槽支架STEELS(0.8t) 材 质: SKD11 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating,ION氮化+涂层） 备 注：应用02.09.3003.12现在量产操作中

13. 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-CrN HINGE DIES STEELS(4.8t) 材 质: SKD11 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating,ION氮化+涂层） 备 注：应用03.10 FR SIDE MBR STEELS (1.6t) 材 质: SKD11 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating,ION氮化+涂层） 备 注：应用03.10

14. 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-CrN CROSS MBR STEELS (LH, 2.3t) 材 质: SKD11 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating） 备 注：应用T.D处理时因变形问题应用CrN涂层 SIZING DIE 材 质: SKD11 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating） 备 注：应用T.D处理时因变形问题应用CrN涂层

15. 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-CrN 汽车STEELS (2.0t) 材 质: SKD11 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating） 备 注：应用T.D处理时因焊接及变形 问题应用CrN涂层

16. 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-CrN 汽车STEELS (2.0t) 材 质: SKD11 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating） 备 注：应用T.D处理时因焊接及变形 问题应用CrN涂层

17. 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-CrN 汽车STEELS (1.8t) 材 质: SKD11 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating） 备 注：应用T.D处理时因焊接及变形 问题应用CrN涂层

18. 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-CrN 汽车STEELS (1.6t) 材 质: SKD11 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating） 备 注：应用T.D处理时因焊接及变形 问题应用CrN涂层

19. 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-CrN 汽车STEELS (1.6t) 材 质: SKD11 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating） 备 注：应用T.D处理时因焊接及变形 问题应用CrN涂层

20. 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-CrN 汽车STEELS (3.0t) 材 质: S45C 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating） 备 注：形成AI板材应用CrN涂层

21. 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-CrN STEELS (1.6t) 材 质: HK600铸钢 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating） 备 注：应用T.D处理时因焊接及变形 问题应用CrN涂层

22. 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例-CrN DIE STEEL (1.6t ) 材 质: SKD11 膜厚度：5㎛ 涂层膜种类：CrN（DuplexCoating）