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SEM Scanning Electron Microscope

SEM Scanning Electron Microscope. 1 mm. 500 µm. 1 µm. 100 nm. 10 Å. cristallo. plancton. virus. atomi. batterio. AFM. TEM. SEM. microscopio ottico. Microscopio elettronico in scansione. FEG (Field Emission Gun). 100 V - 30 kV Risoluzione: 1.5 nm a 20 kV

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SEM Scanning Electron Microscope

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Presentation Transcript

  1. SEM Scanning Electron Microscope

  2. 1 mm 500 µm 1 µm 100 nm 10 Å cristallo plancton virus atomi batterio AFM TEM SEM microscopio ottico

  3. Microscopio elettronico in scansione

  4. FEG (Field Emission Gun) 100 V - 30 kVRisoluzione: 1.5 nm a 20 kV Ingrandimenti fino a 500000

  5. Filamento di tungsteno Filamento di LaB6 FEG

  6. SEM Cathode Comparison Tungsten filament LaB6 Field Emission Apparent Source Size 100 micrometers 5 micrometers <100 Angstroms Brightness 1 A/cm2 steradian 20-50 A/cm2 steradian 100-1000 A/cm2 steradian Vacuum Required 10-5 Torr 10-6 Torr 10-9 Torr

  7. Microscopi elettronici Utilizzano un fascio incidente di elettroni che interagisce con il campione SEM TEM

  8. Segnali ottenuti • Elettroni secondari: urti anelastici • Elettroni retrodiffusi: urti elastici

  9. Elettroni retrodiffusi Gli elettroni retrodiffusi danno informazioni soprattutto sulla COMPOSIZIONE del campione e, in minor misura, sulla morfologia del campione elastici Subiscono urti elastici e anelastici Il coefficiente di retrodiffusione cambia in funzione del numero atomico (Z) e dell’energia del fascio incidente (Ei)

  10. Elettroni secondari • generati da elettroni primari e retrodiffusi • prodotti in seguito a urti anelastici • emergono da profondità inferiori a 10 nm Gli elettroni secondari danno informazioni soprattutto sulla MORFOLOGIA del campione e, in minor misura, sulla composizione del campione

  11. Confronto fra il coefficiente di retrodiffusione (η) e il coefficiente di emissione degli elettroni secondari (δ)

  12. elettroni secondari informazioni sulla morfologia del campione elettroni retrodiffusi informazioni sulla composizione del campione

  13. Distribuzione spaziale degli elettroni nel campione

  14. Elettroni retrodiffusi Al 0.7 µm Au 0.07 µm Elettroni secondari Al 50 nm Au 5 nm RaggiX Al 2 µm Au 0.2 µm Profondità di penetrazione Fascio incidente = 20 kV

  15. ESEM (Environmental SEM)SEM VP (SEM Variable Pressure) BEATLE

  16. elettroni secondari 20 µm

  17. elettroni secondari

  18. elettroni secondari

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