250 likes | 389 Views
Auger és fotoelektron spektrumok –az inelasztikus háttér modellezése. Egri Sándor Debreceni Egyetem, Kísérleti Fizika Tanszék ATOMKI. Az inelasztikus háttér. Detektálás. detektor. A közeghatár átlépése: Felületi veszteség. felület. Tömbi veszteség:
E N D
Auger és fotoelektron spektrumok –az inelasztikus háttér modellezése Egri Sándor Debreceni Egyetem, Kísérleti Fizika Tanszék ATOMKI
Az inelasztikusháttér Detektálás detektor A közeghatár átlépése: Felületi veszteség felület Tömbi veszteség: energiát ad át a delokalizált (közel szabad) és valencia elektronoknak tömb foton Intrinsic veszteség: A hirtelen megjelenő lyuk hatása elektron
A háttérkorrekció szükségessége • A minta összetétele, az összetevők kémiai állapota • Auger és fotoelektron-spektrumok analízise: - átmeneti energiák meghatározása - intenzitásarányok meghatározása - csúcsalak Szükséges: - a veszteségi spektrum eltávolítása- a veszteségi spektrum értelmezése: az összetevők mélységi koncentráció-eloszlása
Modellek:Toguaard: QUASES www.quases.comW. S. M. Werner: Parciális Intenzitások Analízise (PIA)Electron Transport in Solids for Quantitative Surface Analysis: a Tutorial Review W.S.M.Werner Surf. Interf. Analysis 31(2001)141 • A modellek leírják: • többszörös rugalmas (PIA) és rugalmatlan szórás • félvégtelen minta, vékony rétegek • térfogati, felületi(QUASES-REELS, PIA), intrinsic veszteségek • Programok: QUASES (Quantitative Analysis of Surfaces by Electron Spectroscopy) SESSA (Simulation of Electron Spectra for Surface Analysis)
A veszteségi függvény definíciója W(T) W T A veszteségi függvény az egy ”ütközés” során az elektron által elvesztett kinetikus energia valószínüségi sűrűség-függvénye
A veszteségi függvény meghatározása optikai adatokból: A dielektromos állandó n – törésmutató k - kioltási tényező
Az elektron veszteségi függvényének származtatása a dielektromos függvényből A dielektromos függvény: a0 – a Bohr sugár E – az elektron energiája az ütközés előtt Az elektron által a közegnek átadott impulzus nagysága: Az elektron által a közegnek átadott energia:
A germánium veszteségi függvénye W q=0 E=8000eV T
A réz veszteségi függvénye W q=0 E=730 eV,
Különböző eljárással meghatározott veszteségi függvények REELS: Visszaszórt Elektron Energiaveszteségi Spektroszkópia
A Parciális Intenzitások Analízise -félempirikus modell -közepes energiájú elektronok: 100eV-500keV -MC szimuláció: rugalmas, rugalmatlan ütközések Rugalmas ütközés: Irányváltoztatás, de nincs energiaveszteség. Rugalmatlan ütközés: Az elektron energiát veszít,de haladási iránya nem változik. A rugalmas szóródás differenciális hatáskeresztmettszete Rugalmas közepes szabad úthossz Veszteségi függvény: optikai adatokból Rugalmatlan közepes szabad úthossz
Parciális intenzitások Parciális intenzitások, Ci jelentése: Ci megadja, hogy hány elektron ütközött rugalmatlanul i-szer, amíg áthaladva a mintán a detektorba jutott. C0 – rugalmas csúcs meghatározása: Az elektronok pályájának egyenkénti szimulálása A rugalmatlan ütközések megszámolása Félvégtelen germánium minta, 8000 eV-os elektronok, merőleges detektálás A szimuláció eredménye
A többszörös veszteségek figyelembe vétele T- a kinetikus energia veszteség W1(E) – a veszteségi függvény Wn – a tekintett veszteségi folyamatban n-szer résztvett elektronok energia-veszteségi eloszlása: parciális veszteségi eloszlás W1 W2 W3
A spektrum szimulálása F – parciális energia eloszlások, többféle veszteségi folyamat lehetséges W – parciális veszteségi eloszlások fo– forrásfüggvény, az atomot elhagyó elektronok energia-eloszlása • lineáris kombináció • az összes lehetséges veszteségi folyamat figyelembe vétele
A veszteségek levonása a mért spektrumból A veszteségi folyamatok függetlenek Az iteráció kiinduló pontja a mért spektrum (Yk ,k=1) Wk(T) – parciális veszteségi eloszlás A q-k a parciális intenzitások polinomjai A különböző eredetű veszteségekre egymás után
Alkalmazási példa: Germánium KLL Auger spektrum kiértékelési eljárásGermánium félvégtelen minta
A PIA háttérkorrigált spektrum illesztése Intrinsic veszteség
Szimuláció: forrásfüggvényből spektrum: SESSA Háttérkorrekció: spektrumból forrásfüggvény
Veszteségi függvények meghatározása optikai adatokból • MC szimuláció, a parciális intenzitások meghatározása, spektrumok szimulálása (A szimulációt gyorsító FFT modul fejlesztése a SESSA-hoz) • A háttérkorrekció elvégzése a PIA alapján (saját fejlesztésű program) • A PIA alkalmazásával a háttérkorrekció pontosítása révén az Aguer és XPS programokban megjelenő kémiai és szilárdtest effektusok pontosabban vizsgálhatóak • A spektrumok kiértékelésében az alkalmazott háttérkorrekciós modell okozta szisztematikus hiba megbecsülhető a PIA és a QUASES összevetésével.
Köszönet: ATOMKI Elektronspektroszkópiai Osztály: Ge KLL mérések http://www.iap.tuwien.ac.at/~WERNER/SESSA.htmlx