1 / 9

Sputter deposition

Sputter deposition. Arnfríður Hermannsdóttir Baldur Brynjarsson Gabríel Daði Gunnarsson Ragnheiður Guðbrandsdóttir. Hugmyndin. Að mynda örþunnt lag af einstöku efni á yfirborð Aðferðin þróaðist yfir langt tímabil Mikilvægi aðferðarinnar jókst með tilkomu hálfleiðarans

lida
Download Presentation

Sputter deposition

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Sputter deposition Arnfríður Hermannsdóttir Baldur Brynjarsson GabríelDaðiGunnarsson RagnheiðurGuðbrandsdóttir

  2. Hugmyndin • Að mynda örþunnt lag af einstöku efni á yfirborð • Aðferðin þróaðist yfir langt tímabil • Mikilvægi aðferðarinnar jókst með tilkomu hálfleiðarans • Gegnir í dag margvíslegum tilgangi Michael Faraday

  3. Hvað er sputtering? • Aðferð til að mynda þunn lög • Hægt að húða með mismunandi efnum, til skiptis eða samtímis • Hægt að stýra hlutföllum

  4. Tæki • http://www.heraeus-targets.com/en/technology/_sputteringbasics/sputtering.aspx

  5. Stutt hreyfimynd af tækinu í VR3: • http://www.ajaint.com/Images/PHOTOGRAPHS/Other/WhatIs_Anim_Confocal.gif

  6. Notagildi sputtering tækni • Álagþunnrahúða (Thin film deposition) • - Örtækniíhlutir • - Skrauthúð • - Verndarhúð • Útskurður target efnis • - Sniðörtækniíhluta • - Dýptargreining • Yfirborðsmeðferð • - Styrking • - Tæring

  7. Kostir sputtering tækni • Einsleitþykkt • Stýringþykktar • Óbreyttstoichiometría • Efnimeðháttbræðslumark • - T.d. Ti (1668 ºC) • Sami hraðihúðunar • Top - down ræktun • Fjölnota target efni

  8. Algeng target efni • Málmar • Al, Cu, Zn, Au, Ni, Cr, W, Mo, Ti • Málmblöndur • Ag-Cu, Pb-Sn, Al-Zn, Ni-Cr • Oxíð • Al2O3, Cr2O3, SiO2 • Karbíð • TiC, ZrC, HfC, NbC • Nítríð • TiN, Ti2N, ZrN, HfN

  9. Takkfyrir

More Related