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Sputter manual. Semiconductor devices and Sensors Lab. The schematic of sputter system. 제어판 용어 정리. Valve. Pump. VEVT LIFT ( 챔버 덮개 개폐 ) SP1 ( 셔터 작동 ) SP2 X C.ADJ ( 전류 콘트롤 ) Ar, O2, N2 Buzzer. T.V (Throttle Valve). R.P (Rotary pump). R.V (Rough Valve). D.P (Duffusion pump).
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Sputter manual Semiconductor devices and Sensors Lab.
제어판 용어 정리 Valve Pump VEVT LIFT (챔버 덮개 개폐) SP1 (셔터 작동) SP2 X C.ADJ (전류 콘트롤) Ar, O2, N2 Buzzer T.V (Throttle Valve) R.P (Rotary pump) R.V (Rough Valve) D.P (Duffusion pump) F.V (Foreline Valve) M.V (Main Valve)
기본 셋팅 • Water pump valve open (주황 & 파랑) water 램프 on -예열과정 1. 로타리 펌프 on 2. 포라인 밸브 on 3. 디퓨전 펌프 on *예열 시간 약 20~30분
Main Controller 가스 주입 (Ar,O2,N2) 밸브개폐, 펌프, 챔버 이상유무 경고 셔터
Main Flow Controller Power Supply On/Off switch
2 2 2 2 2 냉각수 밸브를 연다 1 로타리 펌프를 켜고, 포라인 밸브를 열고 디퓨젼 펌프를 켠다.(이 때 쓰로틀 밸브의 조정눈금을 9에 맞춘다. 2 3 2 벤트 스위치를 올린다. 3 벤트 스위치를 내리고 리프트 스위치를 올린다. 2 4
기판 홀더를 챔버로 부터 분리하여 증착될 기판을 올려놓는다. 2 5 * 실제 증착은 이 면이 아니라 뒷면으로 증착이 되므로 증착될 면을 아래로 향하게 한다.
Target과 전극 사이의 저항을 측정한다.(수백 kΩ~수MΩ=> 9번 절차 진행 가능) 2 2 6 기판 홀더를 챔버에 장착한다. 7 Target (Cr) “ㄱ”모양으로 된 홈에 맞추어 장착하면 장착이 용이하다. 전극 7 번 과정에서 측정된 저항값이 정상치보다 낮을 경우 챔버 내부를 진공청소기를 이용하여 청결하게 하고 다시 저항을 측정하여 수백 kΩ 에서 수MΩ의 저항값이 나올 경우 이후 절차를 진행한다. 2 8 전극과 타겟 사이에 끼인 불순물을 꼭 제거한다.
리프트 스위치를 내리고 챔버 덮개가 닫히면 포라인 밸브 스위치를 내리고 로타리밸브 스위치를 올린다. 2 9 게이지 B의 값이 5.0 - 3 아래로 측정되고 2 10 2번 과정이 끝난 후 20분이 경과했으면 러프 밸브를 스위치를 내리고 포라인 밸브스위치를 올리고 메인 밸브 스위치를 올린다. 그렇지 않다면, 9번 과정을 계속 진행한다. (=>디퓨전 펌프의 펌핑 효율을 높이기 위해서..)
게이지 B의 측정값이 5.0 -3 값 이하로 떨어지면 IG ON/OFF 스위치를 눌러 이온 게이지를 작동시키고 그 값이 5.0 -6 이하로 측정되면 다음 과정을 진행한다. 2 11 이온 게이지 측정값 2 12
Output 스위치를 켜고 전류 조정 돌리개(C.ADJ) 를 시계방향으로 돌려서 전류 출력을 0.5A 까지 올려준다. ( 이 조건에서 증착 속도는 240 Å/min 이다 (이 때 쓰로틀 밸브의 조정 눈금은 3으로 맞춘다.) 2 13 1~2 분 정도 기다린 후 셔터 스위치를 올린다. 증착은 이때 부터 시작되며 원하는 박막 두께에 따라 증착시간을 정하여 증착한 후 셔터 스위치를 내린다. 2 14
전류 조정 돌리개를 반시계 방향으로 끝까지 돌린후 Output 스위치를 꺼준다. 2 15 Ar 스위치를 내리고 MFC의 가스 주입 스위치를 내린다. 2 16 메인 벨브를 닫고 VENT 스위치를 올린다. 2 17 2 18 VENT 스위치를 올리고 램프가 꺼지면 리프트 스위치를 올린다. 2 18 2 17
2 샘플홀더를 챔버에서 분리한 후 증착된 기판을 꺼낸다. 19
추가적으로 기판에 박막을 증착하려면 5번 과정부터 반복하고 증착이 끝나면 이후의 과정을 시행한다. 2 20 샘플 홀더를 챔버에 장착하고 lift 스위치를 내린 후 포라인 밸브 스위치를 내리고 러핑 밸브 스위치를 올린다. 3~5분 후에 22번 과정으로 넘어간다. 2 21 러핑 밸브 스위치를 내리고 포라인 밸브 스위치를 올린다. 디퓨전 펌프 스위치를 내린후 1시간 후에 포라인 밸브 스위치를 내리고 로터리 펌프 스위치를 내린다. 2 22 냉각수 밸브를 잠근다. 2 23