1 / 300

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl). FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII. POMPY PRÓŻNIOWE.

malachi-lindsey
Download Presentation

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY PRÓŻNIOWE

  2. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY PRÓŻNIOWE – SYMBOL OGÓLNY Vacuum pump

  3. -6 -13 -14 -12 2 1 -11 -10 -9 -7 -5 -4 -3 -2 -1 0 -8 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY PRÓŻNIOWE – ZAKRES PRACY ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA NISKA PRÓŻNIA p [mbar]

  4. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY PRÓŻNIOWE Mechaniczne pompy próżniowe Strumieniowe pompy próżniowe Bezwylotowe pompy próżniowe

  5. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY PRÓŻNIOWE Mechaniczne pompy próżniowe

  6. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY PRÓŻNIOWE Strumieniowe pompy próżniowe

  7. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY PRÓŻNIOWE Bezwylotowe pompy próżniowe

  8. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII MECHANICZNE POMPY PRÓŻNIOWE

  9. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY PRÓŻNIOWE OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA

  10. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII MECHANICZNA POMPA OLEJOWA Rotary vacuum pump

  11. -6 -13 -14 -12 2 1 -11 -10 -9 -7 -5 -4 -3 -2 -1 0 -8 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII MECHANICZNA POMPA OLEJOWA – ZAKRES PRACY ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA NISKA PRÓŻNIA p [mbar]

  12. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT PRZEWÓD WLOTOWY SZCZELINA <0.05 mm KANAŁ OLEJOWY SPRĘŻYNA WIRNIK ŁOPATKA STATOR

  13. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA BUDOWA

  14. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT PRZEWÓD WLOTOWY Pompa mocowana jest w zbiorniku z olejem, którego poziom powinien znajdować się powyżej wylotu pompy OLEJ STATOR

  15. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT PRZEWÓD WLOTOWY SZCZELINA <0.05 mm WIRNIK STATOR

  16. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT PRZEWÓD WLOTOWY SZCZELINA <0.05 mm SPRĘŻYNA WIRNIK ŁOPATKA STATOR

  17. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT PRZEWÓD WLOTOWY SZCZELINA <0.05 mm KANAŁ OLEJOWY SPRĘŻYNA WIRNIK ŁOPATKA STATOR

  18. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZASADA DZIAŁANIA

  19. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT Komora zasysania Zasysanie gazu

  20. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT Komora zasysania Zasysanie gazu

  21. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT Zasysanie gazu

  22. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT Komora przetaczania Przetaczanie gazu

  23. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT Sprężanie gazu Komora sprężania

  24. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT Sprężanie gazu

  25. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT Otwarcie zaworu wylotowego „wydech” gazu

  26. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA Ciśnienie gazu przy którym otwiera się zawór wylotowy: Ciśnienie końcowe na wlocie pompy:

  27. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA Stopień kompresji: Ciśnienie końcowe (na wlocie) jest teoretycznie ograniczone tylko stopniem kompresji

  28. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA Praktycznie – ciśnienie końcowe jest większe od teoretycznego. Przyczyną jest istnienie: przepływu wstecznego gazu

  29. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ZAWÓR WYLOTOWY WLOT WYLOT Strumień wsteczny gazu

  30. 1 3 4 1 3 2 4 Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA Przyczyny przepływu wstecznego: Istnienie objętości martwej Nieszczelność na styku wirnika ze statorem Nieszczelność na styku łopatki ze statorem Gaz rozpuszczony w oleju przedostaje się do wnętrza pompy 2

  31. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA ROZWAŻANIA TEORETYCZNE

  32. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Natężenie przepływu przez pompę I I – natężenie przepływu Sg – „geometryczna” szybkość pompowania p – chwilowe ciśnienie na wlocie pompy IW – natężenie przepływu wstecznego

  33. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Po „nieskończenie” długim czasie pompowania I=0 p=pn pn – ciśnienie na wlocie pompy po nieskończenie długim czasie pompowania

  34. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Wartość przepływu wstecznego I=0 p=pn pn – ciśnienie na wlocie pompy po nieskończenie długim czasie pompowania

  35. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Pojęcie „teoretycznej” szybkości pompowania St I Sg – „geometryczna” szybkość pompowania

  36. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY TEORETYCZNĄ A GEOMETRYCZNĄ SZYBKOŚCIĄ POMPOWANIA

  37. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Teoretyczna szybkość pompowania St

  38. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Teoretyczna szybkość pompowania St

  39. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Teoretyczna szybkość pompowania St

  40. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OBJĘTOŚCIOWA POMPA OLEJOWA - ROZWAŻANIA TEORETYCZNE Teoretyczna szybkość pompowania St

  41. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII SZYBKOŚĆ TEORETYCZNA SZYBKOŚĆ GEOMETRYCZNA

  42. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII SZYBKOŚĆ TEORETYCZNA, SZYBKOŚĆ GEOMETRYCZNA Maksymalna objętość pompy (maksymalna objętość gazu możliwa do odpompowania w czasie jednego cyklu pracy pompy)

  43. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII SZYBKOŚĆ TEORETYCZNA, SZYBKOŚĆ GEOMETRYCZNA Ilość gazu (pV) odpompowanego w czasie jednego, pełnego, obrotu wirnika

  44. VMAX całkowita, wolna objętość pompy dołączona do układu w czasie jednego pełnego obrotu wirnika VM objętość „martwa” pompy p0 ciśnienie, przy którym otwiera się zawór wylotowy a Współczynnik liczbowy uwzględniający zmniejszenie objętości martwej w wyniku obecności oleju Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII SZYBKOŚĆ TEORETYCZNA, SZYBKOŚĆ GEOMETRYCZNA

  45. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII SZYBKOŚĆ TEORETYCZNA, SZYBKOŚĆ GEOMETRYCZNA

  46. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII SZYBKOŚĆ TEORETYCZNA, SZYBKOŚĆ GEOMETRYCZNA

  47. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII SZYBKOŚĆ TEORETYCZNA, SZYBKOŚĆ GEOMETRYCZNA

  48. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII SZYBKOŚĆ TEORETYCZNA, SZYBKOŚĆ GEOMETRYCZNA

  49. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII OSZACOWANIE, MOŻLIWEGO DO UZYSKANIA, CIŚNIENIA KOŃCOWEGO pn

  50. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII CIŚNIENIE KOŃCOWE pn

More Related