1 / 138

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl). FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII. POMPY PRÓŻNIOWE BEZWYLOTOWE.

mayten
Download Presentation

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY PRÓŻNIOWE BEZWYLOTOWE

  2. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY PRÓŻNIOWE BEZWYLOTOWE WLOT WLOT WYLOT POMPA PRÓŻNIOWA POMPA PRÓŻNIOWA BEZWYLOTOWA

  3. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY PRÓŻNIOWE BEZWYLOTOWE 1. Pompy sorpcyjne zeolitowe 2. Pompy sublimacyjne 3. Pompy jonowo-sorpcyjne z gorącymi katodami 4. Pompy jonowo-sorpcyjne z zimnymi katodami 5. Pompy kriogeniczne

  4. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SORPCYJNE ZEOLITOWE

  5. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SORPCYJNE ZEOLITOWE Adsorption pump

  6. -6 1 -14 -13 3 -12 -8 -9 -11 2 -7 -5 -4 -3 -2 -1 0 -10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SORPCYJNE ZEOLITOWE ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA NISKA PRÓŻNIA p [mbar] Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

  7. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII ZEOLITY

  8. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SORPCYJNE ZEOLITOWE ZEOLITY Materiały charakteryzujące się bardzo dobrymi własnościami sorpcyjnymi zeolit

  9. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SORPCYJNE ZEOLITOWE ZEOLITY Zeolity – glinokrzemiany związki chemiczne na bazie Al i Si zawierające w swym składzie Ca, Na, K Materiały pochodzenia wulkanicznego lub materiały otrzymywane na drodze syntetycznej

  10. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SORPCYJNE ZEOLITOWE Model sieci krystalicznej zeolitu 5A Objętość komór -3 V1=775Å -3 V2=157Å

  11. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SORPCYJNE ZEOLITOWE Porowatość pierwotna Porowatość wtórna

  12. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SORPCYJNE ZEOLITOWE CZĄSTECZKI GAZU

  13. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SORPCYJNE ZEOLITOWE CZĄSTECZKI GAZU UWIĘZIONE W STRUKTURZE ZEOLITU

  14. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA -BUDOWA-

  15. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - BUDOWA POŁĄCZENIE POMPY Z ATMOSFERĄ WLOT GAZU „KOREK” KORPUS POMPY A A KANAŁ A - A ZEOLIT

  16. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA -PRACA-

  17. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA PRACA O Z ZBIORNIK OPRÓŻNIANY

  18. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA PRACA O Z ADSORPCJA CZĄSTEK GAZU PRZEZ ZEOLIT ZBIORNIK OPRÓŻNIANY

  19. -3 -4 3 0 -1 -7 -2 -5 -6 -3 -6 -4 -2 2 2 -5 3 1 0 -1 1 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 Ciśnienie p [mbar] Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA IZOTERMY ADSORPCJI ZEOLITU 13X DLA AZOTU (pV)/m [mbar·l/g] N2(-195)°C N2(20)°C Ilość (pV) adsorbowanego gazu przypadająca na jednostkę adsorbenta Informacje zaczerpnięte z LEYBOLD VACUUM, PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2003/2004, LEYBOLD VACUUM GMBH Cologne

  20. -3 -4 3 0 -1 -7 -2 -5 -6 -3 -6 -4 -2 2 2 -5 3 1 0 -1 1 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 Cisnienie p [mbar] Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA IZOTERMY ADSORPCJI ZEOLITU 13X DLA AZOTU, HELU I NEONU (pV)/m [mbar·l/g] N2(-195)°C N2(20)°C Ilość (pV) adsorbowanego gazu przypadająca na jednostkę adsorbenta

  21. -3 -4 3 0 -1 -7 -2 -5 -6 -3 -6 -4 -2 2 2 -5 3 1 0 -1 1 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 Cisnienie p [mbar] Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA IZOTERMY ADSORPCJI ZEOLITU 13X DLA AZOTU, HELU I NEONU (pV)/m [mbar·l/g] N2(-195)°C N2(20)°C Ilość (pV) adsorbowanego gazu przypadająca na jednostkę adsorbenta

  22. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA Ilość azotu zaadsorbowana przez zeolit

  23. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA Ilość azotu zaadsorbowana przez zeolit

  24. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA PRACA O CIEKŁY AZOT T=-195°C Z DEWAR ZBIORNIK OPRÓŻNIANY

  25. 3 -6 3 0 -1 -7 -2 -5 -3 -4 -6 -3 2 -5 1 1 2 -1 -4 -2 0 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 Cisnienie p [mbar] Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA IZOTERMY ADSORPCJI ZEOLITU 13X DLA AZOTU, HELU I NEONU (pV)/m [mbar·l/g] N2(-195)°C N2(20)°C Ilość (pV) adsorbowanego gazu przypadająca na jednostkę adsorbenta Ne(-195)°C He(-195)°C Informacje zaczerpnięte z LEYBOLD VACUUM, PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2003/2004, LEYBOLD VACUUM GMBH Cologne

  26. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA REGENERACJA

  27. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA REGENERACJA 230V O Z Ogrzewanie zeolitów do temperatury T=(300-350)°C ZBIORNIK OPRÓŻNIANY

  28. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA SORPCYJNA ZEOLITOWA - PRACA REGENERACJA 230V O Z USUNIĘCIE GAZÓW ZAADSORBOWANYCH PRZEZ ZEOLIT DO ATMOSFERY ZBIORNIK OPRÓŻNIANY

  29. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SUBLIMACYJNE

  30. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SUBLIMACYJNE Sublimation pump

  31. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SUBLIMACYJNE Pompy sublimacyjne są to pompy sorpcyjne, w których rolę sorbentu spełnia aktywna chemicznie warstwa metaliczna naniesiona przez naparowanie

  32. 1 -5 -12 0 2 -1 -13 -9 -14 -6 -11 -3 -10 -8 -4 -7 -2 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SUBLIMACYJNE – ZAKRES PRACY ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA NISKA PRÓŻNIA p [mbar] Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

  33. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SUBLIMACYJNE POMPY SUBLIMACYJNE BUDOWA

  34. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SUBLIMACYJNE - BUDOWA WLOT POMPY SUBLIMATOR GRZEJNIK POKRYTY MATERIAŁEM SORPCYJNYM „SORBENTEM” KORPUS POMPY STOSOWANE SORBENTY: TYTAN, MOLIBDEN, CYRKON, TANTAL 230V

  35. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SUBLIMACYJNE POMPY SUBLIMACYJNE PRACA

  36. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SUBLIMACYJNE - PRACA Rozgrzewanie sublimatora 230V

  37. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SUBLIMACYJNE - PRACA Rozgrzewanie sublimatora TEMPERATURA PRACY SUBLIMATORA T=(1400÷1800)°C 230V

  38. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SUBLIMACYJNE - PRACA Parowanie sorbentu CZĄSTECZKI TYTANU T=(1400÷1800)°C 230V

  39. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SUBLIMACYJNE - PRACA Formowanie lustra sorpcyjnego LUSTO SORPCYJNE Z TYTANU 230V

  40. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SUBLIMACYJNE - PRACA Adsorpcja cząsteczek gazu padających na powierzchnię lustra sorpcyjnego ZAADSORBOWANE NA LUSTRZE SORPCYJNYM CZĄSTECZKI GAZU 230V

  41. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SUBLIMACYJNE - PRACA „Przykrycie” zaadsorbowanych cząsteczek gazu warstwą tytanu KOLEJNA WARSTWA TYTANU „PRZYKRYWAJĄCA” ZAADSORBOWANE CZĄSTECZKI GAZU 230V

  42. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SUBLIMACYJNE - PRACA Proces adsorpcji cząsteczek gazu na lustrze sorpcyjnym może być wspomagany poprzez zastosowanie chłodzenia lustra sorpcyjnego LN2 CHŁODZENIE LUSTRA SORPCYJNEGO DO TEMPERATURY CIEKŁEGO AZOTU (LN2) LN2 230V

  43. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SUBLIMACYJNE - PRACA Zależność szybkości pompowania gazów od temperatury lustra sorpcyjnego -2

  44. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SUBLIMACYJNE - PRACA Zależność szybkości pompowania gazów od temperatury lustra sorpcyjnego -2

  45. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPY SUBLIMACYJNE - PRACA Zależność szybkości pompowania gazów od temperatury lustra sorpcyjnego -2

  46. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ

  47. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ Jest to w zasadzie pompa sublimacyjna w której pompowanie jest wspomagane przez proces jonizacji gazu. W tym celu pompa wyposażona jest w żarzoną katodę i spolaryzowaną siatkę

  48. 1 -5 -12 0 2 -1 -13 -9 -14 -6 -11 -3 -10 -8 -4 -7 -2 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ ZAKRES PRACY ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA NISKA PRÓŻNIA p [mbar] Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

  49. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ BUDOWA

  50. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII POMPA JONOWO SORPCYJNA Z GORĄCĄ KATODĄ KORPUS POMPY CHŁODNICA LUSTRO SORPCYJNE KATODA(+) SIATKA (++) 230V KOLEKTOR (0V) SUBLIMATOR

More Related