1 / 21

Termomechanikus aktu átorok

Termomechanikus aktu átorok. Székely Vladimír. BME Elektronikus Eszk özök Tanszéke. Budapest, 2 007. Bent-beam electrothermal actuator. L. Que et.al.:Bent -beam electrothermal actuators - Part I , Journal of Microelectromechanical systems, V.10,pp.247-254, 2001.

marci
Download Presentation

Termomechanikus aktu átorok

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Termomechanikus aktuátorok Székely Vladimír BME Elektronikus Eszközök Tanszéke Budapest, 2007

  2. Bent-beam electrothermal actuator L. Que et.al.:Bent-beam electrothermal actuators - Part I, Journal of Microelectromechanical systems, V.10,pp.247-254, 2001

  3. Bent-beam electrothermal actuator Si beam, méretei 800x13,9x3,7  m, 5 m elmozdulás 180 mW teljesítmény mellett, 1-10 mN erő, 700 Hz sávszélesség

  4. Bent-beam electrothermal actuator

  5. Motor kétfokozatú megtört rúddal

  6. Hőmérséklet eloszlás egy rúd mentén

  7. Az élettartam vizsgálat eredményei Mind poli, mind egykristály Si 400 fok alatt dc üzem >1400 perc impulzus üzem >30 milllió ciklus A feltapadás elleni bütyök hatása

  8. Egy nagy kitérésű megtört rudas meghajtó W=8 um D=34 um L=1000 um Anyag: Ni

  9. Egy nagy kitérésű megtört rudas meghajtó

  10. Egy nagy kitérésű megtört rudas meghajtó P = 495 N Tmax 400 oC 3 V  670 mW

  11. Egy nagy kitérésű megtört rudas meghajtó

  12. Kétrudas meghajtó Hot arm width, WHOT (nm) 350 Hot arm length, LHOT (m) 38 Cold arm width, WCOLD ( m) 1.5 Cold arm length, LCOLD ( m) 28.5 Flexure width, WFLEX (nm) 350 Flexure width, WFLEX ( m) 9.5 Sub-micron metallic electrothermal actuators Jeong-Soo Lee, Daniel Sang-Won Park, Arun Kumar Nallani,Gil-Sik Lee and Jeong-Bong Lee JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING

  13. Kétrudas meghajtó Nickel Young’s modulus 200 GPa Poisson’s ratio 0.31 Thermal expansion coefficient, 17 ppm/K Thermal conductivity 91 W/(mK) Resistivity 15 µcm

  14. MEMS integrált izzólámpa Electrical and Optical Characteristics of Vacuum-sealed Polysilicon Microlamps, C.H.Mastrangelo et. al. IEEE Trans. on El. Dev. V.39, No.6

  15. MEMS integrált izzólámpa Az izzószál 510x5x1m Fűtés 5 mW  1400K Thomson effektus! Optikai teljesítmény 0.25mW Spektrum maximum 2,5 m

  16. Pirani elvű vákuummérő Fabrication and performance of a fully integrated -Pirani pressure gauge with digital readout C.H.Mastrangelo, R.S.Muller

  17. Pirani elvű vákuummérő

  18. Pirani elvű vákuummérő adalékolt poli-Si, vastagság 1 um, alatta 1,5 um gap, 0,02 ohmcm adalékolás. ON-CHIP HERMETIC PACKAGING ENABLED BY POST-DEPOSITION ELECTROCHEMICAL ETCHING OF POLYSILICON Rihui He and Chang-Jin “CJ” Kim

  19. Megtört rudas nyúlásmérő

  20. Megtört rudas nyúlásmérő

  21. Megtört rudas nyúlásmérő

More Related