1 / 166

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl). FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII. PRÓŻNIOMIERZE.

melyssa-bryant
Download Presentation

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE

  2. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE Obecnie oferowane do sprzedaży próżniomierze umożliwiają pomiar próżni w zakresie: Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

  3. 1 -5 -12 0 2 -1 -13 -9 -14 -6 -11 -3 -10 -8 -4 -7 -2 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE – ZAKRESY PRACY ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA NISKA PRÓŻNIA PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE p [mbar] Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

  4. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE -TYPY • Próżniomierze mechaniczne. • Próżniomierze hydrostatyczne. • Próżniomierze cieplno-przewodnościowe. • Próżniomierze jonizacyjne.

  5. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZEMECHANICZNE

  6. SPIRALNE MEMBRANOWE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE MECHANICZNE

  7. SPIRALNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE MECHANICZNE

  8. ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA NISKA PRÓŻNIA PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE -13 -9 -11 -14 -10 -6 -8 -7 -12 -4 -3 -2 -1 0 1 2 -5 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 p [mbar] Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE MECHANICZNE SPIRALNE – ZAKRES PRACY Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

  9. 0 200 pATM 400 mbar 600 800 1000 px1 Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE SPIRALNE

  10. 0 200 400 600 800 1000 Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE SPIRALNE A-A pATM A A mbar px1

  11. 0 200 400 600 800 1000 Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE SPIRALNE pATM mbar px2< px1 px2

  12. 0 200 400 600 800 1000 Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE SPIRALNE pATM mbar px3<px2< px1 px3

  13. 0 200 400 600 800 1000 Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE SPIRALNE pATM Wskazania próżniomierza zależą od wartości ciśnienia otoczenia mbar Zakres mierzonych ciśnień: (1000÷10)mbar px1

  14. MEMBRANOWE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE MECHANICZNE

  15. -6 -9 -13 2 -12 -8 -11 -10 -14 -7 1 -5 -4 -3 -2 -1 0 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE MECHANICZNE – MEMBRANOWE - ZAKRES PRACY ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA NISKA PRÓŻNIA PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE p [mbar] Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

  16. 150 120 90 mbar px1 60 30 0 Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE

  17. 150 120 90 mbar px1 60 30 0 Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE MEMBRANA

  18. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE 150 120 90 mbar px2 60 px2< px1 30 0

  19. 150 120 90 mbar px1 60 30 0 Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE Wskazania próżniomierza zależą od wartości ciśnienia otoczenia Zakres mierzonych ciśnień: (134÷2)mbar

  20. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE PIEZO ELEKTRYCZNE

  21. -6 -9 -13 2 -12 -8 -11 -10 -14 -7 1 -5 -4 -3 -2 -1 0 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE PIEZOELEKTRYCZNE - ZAKRES PRACY ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA NISKA PRÓŻNIA PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE p [mbar] Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

  22. px p=0 Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE PIEZOELEKTRYCZNE - BUDOWA Wzorowano na: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

  23. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE PIEZOELEKTRYCZNE - BUDOWA PIEZO REZYSTORY px MEMBRANA KRZEMOWA p=0 SZKLANE PODŁOŻE GŁOWICA PRÓŻNIOMIERZA Wzorowano na: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

  24. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE PIEZOELEKTRYCZNE - BUDOWA PIEZO REZYSTORY CIŚNIENIE MIERZONE px MEMBRANA KRZEMOWA CIŚNIENIE ODNIESIENIA p=0 SZKLANE PODŁOŻE px GŁOWICA PRÓŻNIOMIERZA Wzorowano na: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

  25. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE PIEZOELEKTRYCZNE - DZIAŁANIE OBSZAR MEMBRANY PIEZOREZYSTORY PRÓŻNIA POMOCNICZA p0

  26. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE PIEZOELEKTRYCZNE - DZIAŁANIE OBSZAR MEMBRANY PIEZOREZYSTORY PRÓŻNIA MIERZONA px PRÓŻNIA POMOCNICZA p0

  27. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE PIEZOELEKTRYCZNE - DZIAŁANIE Naprężenia w piezorezystorach w obszarze membrany wywołują zmiany rezystancji rezystorów w układzie mostkowym

  28. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE POJEMNOŚCIOWE

  29. -6 -9 -13 2 -12 -8 -11 -10 -14 -7 1 -5 -4 -3 -2 -1 0 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE POJEMNOŚCIOWE - ZAKRES PRACY ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA NISKA PRÓŻNIA PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE p [mbar] Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

  30. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE POJEMNOŚCIOWE - BUDOWA p1 p2 GŁOWICA MEMBRANA C1 C2 ELEKTRODA Wzorowano na materiałach zawartych w: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

  31. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE POJEMNOŚCIOWE - BUDOWA p1 p2 d d C1 C2 A – pow. elekt. d – odległość

  32. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE POJEMNOŚCIOWE - DZIAŁANIE p1 p2 d1 d2 p2 > p1 C1 > C2 C2 C1

  33. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE POJEMNOŚCIOWE - DZIAŁANIE p1 p2 d1 d2 p1 > p2 C2 > C1 C1 C2

  34. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE

  35. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE typ1

  36. -6 -9 -13 2 -12 -8 -11 -10 -14 -7 1 -5 -4 -3 -2 -1 0 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE typ1 – ZAKRES PRACY ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA NISKA PRÓŻNIA PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE p [mbar] Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

  37. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE pATM pATM 50 Tr 200 Tr 500 Tr 760 Tr Rtęć

  38. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE pATM px1 50 Tr 200 Tr 500 Tr 760 Tr px1<pATM

  39. pATM px2 50 Tr 200 Tr 500 Tr 760 Tr Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE px2<px1

  40. pATM px2 50 Tr 200 Tr 500 Tr 760 Tr Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE h Czułość dla rtęci 0.5 Tr

  41. pATM px2 50 Tr 200 Tr 500 Tr 760 Tr Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE Zwiększenie czułości można osiągnąć poprzez zamianę rtęci na olej h

  42. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE Czułość dla oleju

  43. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE typ2

  44. ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA NISKA PRÓŻNIA PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE -13 -12 -14 -9 -11 -6 -8 -7 -10 -4 -3 -2 -1 0 1 2 -5 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 p [mbar] Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE typ2 – ZAKRES PRACY Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

  45. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE px1 Próżnia pomocnicza p0<<px 50 Tr 10 Tr 5 Tr 0 Tr px1<pATM

  46. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE px2 Próżnia pomocnicza p0<<px 50 Tr 10 Tr 5 Tr 0 Tr px2<px1

  47. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE px2 Próżnia pomocnicza p0<<px 50 Tr 10 Tr 5 Tr 0 Tr px2<px1

  48. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE px p0 50 Tr 10 Tr 5 Tr h 0 Tr

  49. Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA

  50. -6 -9 -13 2 -12 -8 -11 -10 -14 -7 1 -5 -4 -3 -2 -1 0 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl) FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – ZAKRES PRACY ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA WYSOKA PRÓŻNIA ŚREDNIA PRÓŻNIA NISKA PRÓŻNIA PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE p [mbar] Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne

More Related