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台北科技大學冷凍空調系 胡石政 Tel:09@8300329 Email:f10870@ntut.tw

專題演講. 半導體廠廠房整體節能規劃之方法與理念. 台北科技大學冷凍空調系 胡石政 Tel:09@8300329 Email:f10870@ntut.edu.tw. Average Total Electricity Consumption Allocation for Fabs Studied. Average Fab Electric Load=346,019kWh/Day. 半導體空調冰水機廠之電力消耗分佈 -- 應選用高效率主機. (Semitech International). 送風系統之電力消耗分佈. 最佳送風量與送風節能之重要性.

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Presentation Transcript

  1. 專題演講 半導體廠廠房整體節能規劃之方法與理念 台北科技大學冷凍空調系 胡石政 Tel:09@8300329 Email:f10870@ntut.edu.tw

  2. Average Total Electricity Consumption Allocation for Fabs Studied • Average Fab Electric Load=346,019kWh/Day

  3. 半導體空調冰水機廠之電力消耗分佈--應選用高效率主機半導體空調冰水機廠之電力消耗分佈--應選用高效率主機 (Semitech International)

  4. 送風系統之電力消耗分佈 最佳送風量與送風節能之重要性

  5. 排氣系統之電力消耗分佈 補充1.0kg外氣約需10kcal之空調冷卻量

  6. 調查案例節能技術之應用 節能設計 空調熱回收節能 節能控制與管理

  7. A：省能設計 B：排熱排水再利用 C：利用天然資源 D：操作控制最佳化 1 冰水泵浦順序控制 1 廢熱水再循環 1 冷卻水塔的外氣利用 1 冷卻水塔節省能源控制 2 冰水主機節能運轉 2 鍋爐廢熱利用 2 外氣冷卻系統(冬季) 2 鍋爐系統自動控制 3 提高冰水主機運轉效率 3 高溫排氣再利用 3 冷卻水塔機扇起停設定 4 儲冰系統設計 4 回收鍋爐設備冷凝水 4 電熱鍋爐運轉策略調整 5 設計條件的選定 5 外氣空調箱冷凝水的回收 5 製程排氣控制 6 清淨面積最小化 6 風扇最高效率運轉點選定 7 照明系統之節省能源 7 外氣引進控制 8 節能FFU系統 8 空氣壓縮設備控制 9 低溫送風之採用 9 冷媒蒸發溫度控制 10低壓損濾網之選用 10 調整冰水主機之設定溫度 節約能源改善措施整理表

  8. Axial fan for ball room type CR Silencer required at fan outlet

  9. Less dynamic losses due to field flow in supply plenum FFU for energy saving

  10. Axial fan—more dynamic losses

  11. FFU—more even flow and less dynamic losses

  12. 空調系統耗能

  13. 廢氣減量—減少外氣耗能

  14. c.針對排氣節能的要因分析魚骨圖如下，以供參考c.針對排氣節能的要因分析魚骨圖如下，以供參考 Exhaust Construction 門縫洩漏 樓板管線開孔洩漏 Over requirement 各門扇開啟洩漏 Pre-filter 設計不良 Clean-room consumption sensor 精確度 reduction 季節性大氣壓力變化 PM 執行確實性 Environment MAN

  15. 將節能技術發揮得淋灕盡致 合理之耗能帶來合理回報與節能效益 結語

  16. 分析重點耗能機台的能量收支平衡圖，意示圖如下：分析重點耗能機台的能量收支平衡圖，意示圖如下： 經由對機台各種能量的收支平衡，可以決定機台的耗能及可能的節能方法

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