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：消火栓. ：消化器. S. ：ＣＲ酸素濃度表示. ：自吸式呼吸器. S. S. S. ：緊急警報. B1F. 装置配置図. 昼夜連続運転機器. 警報ブザー. 自吸式呼吸器. 　　　ｺﾝﾌﾟﾚｯｻ ( 廃液回収用 ). ｴｱ ｼｬﾜｰ. プラズマリアクタ. 物品一時保管庫. 制御電源. UVO 3 クリーナー. プラズマ CVD. サーモバック. 用役室. 電子ビーム 蒸着. ﾏｽｸﾚｽﾅﾉ構造形成装置 ( ｴﾘｵﾆｸｽ ). RTO 酸化炉. 電気炉. 前室 更衣室. 搬入口. ダムウエーター. 5-001.

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Presentation Transcript

  1. ：消火栓 ：消化器 S ：ＣＲ酸素濃度表示 ：自吸式呼吸器 S S S ：緊急警報 B1F 装置配置図 昼夜連続運転機器 警報ブザー 自吸式呼吸器 　　　ｺﾝﾌﾟﾚｯｻ (廃液回収用) ｴｱ ｼｬﾜｰ プラズマリアクタ 物品一時保管庫 制御電源 UVO3クリーナー プラズマ CVD サーモバック 用役室 電子ビーム 蒸着 ﾏｽｸﾚｽﾅﾉ構造形成装置 (ｴﾘｵﾆｸｽ) RTO 酸化炉 電気炉 前室 更衣室 搬入口 ダムウエーター 5-001 光干渉式膜厚計 触針式 膜厚計 明暗視野 顕微鏡 MZ50 UV露光 装置 5-002 真空ポンプ レーザ顕微鏡 コンプレッサ (各種機器用) ドラフト ｴﾘﾌﾟｿﾒｰﾀ 電子ビーム 露光装置 (S-4300) スピンコーター (RC8) 作業台 有機 用役機械室 シングルイオン 注入装置 レジスト保管庫 ｱﾙｶﾘ 空調機械室 超純水 ドラフト DEEP ICP RIE CCP RIE 酸 有機 冷蔵庫 ｽﾋﾟﾝｺｰﾀ (ミカサ) 無機 保管棚 廃液保管庫 薬品庫 O2 N2 Ar 2m 2006.3.2現在

  2. ：消火栓 ：消化器 S S S S S ：ＣＲ酸素濃度表示 ：自吸式呼吸器 ：緊急警報 ﾃﾞｼﾞﾀﾙ ﾏｲｸﾛｽｺｰﾌﾟ 1F 装置配置図 昼夜連続運転機器 酸素濃度センサ 液化窒素供給設備 危険物一時保管庫 中和装置 屋外窒素発生器 警報ブザー ガス保管庫 COE/NFD事務室 O2ボンベ 消火栓 エキシマ 照射装置 ｴｱ ｼｬﾜｰ ICP-RIE Ｈ２ボンベ （警報） スパッタ装置 (SPF332H) Ar　ボンベ 電子ビームリソグラフィ （局所化学修飾装置） 前室 更衣室 ダムウエーター デシケータ N2 ボンベ 地震監視システム コンプレッサ 廃液保管棚 監視モニタ 超精密天秤 精密天秤 測長顕微鏡 Miniscope 及ｲｵﾝｺｰﾀ ﾌﾟﾗｽﾞﾏ表面処理 装置EVG810 スプレーコーター EVG101 監視モニター 酸欠警報BOX 遠方操作盤 連動操作盤 スパッタ装置 (SPC350) 薬品庫 定温 乾燥機 ホットエンボス EVG520 会議室 ＦＩＢ アニール炉 ボンド用アライナ (ﾅﾉｲﾝﾌﾟﾘﾝﾄ) EVG620 ﾌﾞﾗｼ付ﾒｶﾞｿﾆｯｸ洗浄装置 ＥＶＧ３０１ ドラフト ｱﾙｶﾘ ﾌｯ酸 酸 有機 2m 2006.3.2現在

  3. ：消火栓 ：消化器 S ：ＣＲ酸素濃度表示 ：自吸式呼吸器 ：緊急警報 ２F 装置配置図 緊急シャワー 警報ブザー 201 204 205 202 消耗品棚 共通薬品庫 203 超精密天秤 多目的 実験台 共通薬品、廃液一時保管庫 電気化学 プロセスルーム 薬品保管 冷蔵庫 走査プローブ 顕微鏡 電気化学 プロセスルーム ダイシングソー ナノ 計測ルーム 精密天秤 蛍光観察装置 DMFC関連装置 ダムウエーター 薬品庫 薬品庫 汎用ＳＥＭ 多目的実験 スペース CCD 顕微鏡 ナノメッキシステム ボンダ、ダイボンダー ﾃﾝｺｰﾙ A メッキ装置 有機 ﾌｯ酸 C B 人材育成電解ﾒｯｷ装置 冷蔵庫 ドラフト 電気特性計測 ＡＦＭ装置 ﾒｶﾞｿﾆｯｸ 洗浄槽 ドラフト 酸 ｱﾙｶﾘ 薄膜物性評価装置 ドラフト ＣＶメータ ＳＥＭ前処理装置 有機 分光光度計 グロー放電装置 ｱﾙｶﾘ ＷＹＣＯ ESCA ｱﾙｶﾘ ドラフト 半導体パラメータ アナライザー ＣＭＰ-２ 薬品庫 FE-SEM 磁気工学測定装置 プローバ CMP研磨システム 酸 イオンコータ 薬品庫 量子干渉型磁束計 超純水製造装置 純水生成 装置 給湯器 流し CMP-1 卓上用 恒温プローバ 微分干渉 顕微鏡 流し 流し 2m 2006.3.2現在

  4. 変更履歴 ０６．３．２の変更 1F-CR……エキシマ照射装置、卓上SEM(Miniscope)及びイオンコータを追加。プラズマICPをICP-RIEに名称改正。 2F-202……メッキ装置関連機器を電解メッキ装置（人材育成）に変更。CCD顕微鏡を表示。分光光度計を追加。 2006.3.2現在

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