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H-7650 透過型電子顕微鏡 使用方法

H-7650 透過型電子顕微鏡 使用方法. 精密分析室. 2013/9/18. 目次. 始 動. GUN の真空を確認. LaB6 フィラメントのガス出し. 電圧を印可し、ビームを出す. 電圧を印可し、ビームを出す２. 電子線のセンタリング. コンデンサー絞りの調整. 電子銃の調整. 試料交換　取り出し方. 試料交換　入れかた. 試料のＺ位置の調整. 試料ホルダー位置あわせ. 電圧中心のあわせ方. 焦点あわせ. ワブラによる焦点あわせ. 対物レンズの非点補正. 回折スポットを中心にする方法. 写真撮影. 保守作業. 観察終了 ( 試料交換時）.

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H-7650 透過型電子顕微鏡 使用方法

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Presentation Transcript

  1. H-7650透過型電子顕微鏡使用方法 精密分析室 2013/9/18

  2. 目次 始動 GUNの真空を確認 LaB6フィラメントのガス出し 電圧を印可し、ビームを出す 電圧を印可し、ビームを出す２ 電子線のセンタリング コンデンサー絞りの調整 電子銃の調整 試料交換　取り出し方 試料交換　入れかた 試料のＺ位置の調整 試料ホルダー位置あわせ 電圧中心のあわせ方 焦点あわせ ワブラによる焦点あわせ 対物レンズの非点補正 回折スポットを中心にする方法 写真撮影 保守作業 観察終了(試料交換時） 使用終了　全停止 青字は通常は必要ない 終了

  3. アイコンの説明 Modulation　モジュレーションの設定 Image viewerEM viewerの表示 Wobbler　ワブラの設定 Transmission image　ＳＳＣＣＤ画像の表示 PDS　パーソナルデータセット Stage　　ステージコントロール EVAC　排気系状態表示 View　Ｅａｓｙ　operationの切替 LENS CONTROL　ＬＥＮＳ電流の表示・制御 HV control　加速電圧の設定 BD CONTROL　ＢＤ電流の表示・制御 Filament / Bias　フィラメント/バイアスの設定 OBJ stigma preset　対物スティグマの記憶・読み出し Lens　観察モードの設定/変更 Specimen search Magnification　倍率/カメラ長の拡大表示 Digital AMF 　連続画像記録機能 Focus step　フォーカスステップの設定 Digital low dose　ダメージ低減機能 Auto focus　自動焦点あわせ機能 API　試料予備照射機能

  4. 始動 １．冷却水を２系統（真空排気系・レンズ冷却用） 　　を流す ２．ＰＯＷＥＲキーをＥＶＡＣ　ＯＮまで回す ３．約２０～３０分で高真空状態になり COLUMN EVAC,GUN EVAC,CAMERA EVACのスイッチがグリーンに点灯する ここまでの操作は通常は連続運転しているので不要 ４．電源スイッチキー　ＣＯＬ　ＯＮにする　 　　　システムが自動で起動します 目次に戻る

  5. GUNの真空を確認 1.EVACウィンドウ　　　　をクリック 3.0E-03Pa以下を確認 目次に戻る

  6. LaB6フィラメントのガス出し しばらくビームを出さない状態が続いたときは、ＬａＢ６フィラメントのガス出しを 行ってください。（通常は必要ありません） 1.Function Maintenance のLaB6 out gusを呼び出す 時間を設定　フィラメント交換後は最低２時間 通常は３０分以上に設定 フィラメント固有値 2.必要に応じてコールドトラップに液体窒素を入れてください 目次に戻る

  7. 電圧を印加しビームを出す 1.Acc Voltage control　　　を表示 2.Preset値を確認して、 ＨＶ　ＯＮボタンをクリックまたは、パネルスイッチのＨＶボタンを押す 通常は自動的にビームがでる 　ＬａＢ６フィラメントのため５分かかります 目次に戻る

  8. PDS (Personal data set)から起動する方法 （レンズ系、ＢＤ系の記憶されているモード） 通常はあまり使いません 1.PDS(Personal data set)　　ウィンドウを表示 2.記憶しておいた条件を選択し、Ｌｏａｄしビームを出す 目次に戻る

  9. 電子線のセンタリング ２．LENSRESETを押す １．左操作パネルのZOOM1を押す ５．BHを押してマルチノブで電子 　　線を中心にもってくる ３．MAGで倍率をｘ５０００程度にする ４．BRIGHTで電子線をスポット状に 　　する 目次に戻る

  10. コンデンサー絞りの機械的調整と非点補正 BRIGHTを変えると中心がずれたり、ゆがんだりするときのみ １．コンデンサー絞りを入れ、ＢＲＩＧＨＴで 変化しても中心が変わらないよう絞りの Ｘ，Ｙノブで調整する ２．ＣＳボタンを押し、ＢＲＩＧＨＴの変化で中心 から均等に変化するようＸ，Ｙノブで調整 ３．終わったらＣＳボタンを解除 目次に戻る

  11. 電子銃の調整　ビームが暗くなった場合 １．ＢＲＩＧＨＴノブで電子線をスポット状にする ２．Filament/Bias　　　ウインドウを開き、矢印ボタンでフィラメントの２Ｖほど電圧を下げる ３．BD control　　　ウインドウでＧＴをチェックしてマルチノブでフィラメント像が均等になる 　　よう調整する ４．ビームが逃げたらＧＨをチェックしてマルチノブでビームを中心にする ５．終わったらＧＴ、ＧＨを解除してウインドウを閉じる ６．Filament/Biasウインドウの矢印ボタンで元の電圧に戻す 目次に戻る

  12. 試料のＺ位置の調整 １．LENS RESETを押しレンズデータをリセットする １．は電子線のセンタリング調整ですんでいればしなくて良い ２．倍率を20000倍程度にしてＺコントロールノブでピントを合わせる 　　これで機械的Ｚ位置があいます この操作は必ずＦＯＣＵＳをあわせる前に行なってください 目次に戻る

  13. 試料交換（取り出し方） １．Stage から試料位置を X=0,Y=0位置に戻すSTARTを押す ２．Filament-Bias control から Beam をＯＦＦにする ３．試料ホルダーを止まるまで引き抜き、時計方向に 　　時計方向に１５°止まるまで回す ４．止まったら、反時計方向に４５°止まるまで回す ５．試料予備排気室をＡＩＲにすると赤ランプが点灯 　　する ６．試料ホルダーを引き抜く 注：赤ランプが点灯している間にホルダーを引き抜く、消えてしまったらもう１回ＥＶＡＣにしてからＡＩＲにする 目次に戻る

  14. 試料交換（入れ方） １．試料ホルダーのガイドピンの位置をあわせとまるまで挿入 　　するとＡＩＲの赤ランプが点灯する ２．排気スイッチをＥＶＡＣにする ３．排気が完了すると赤ランプが消え、緑ランプが点灯して試料 　　ホルダーロック機構が解除されるので、次に進む 注：緑ランプが消えると（１５秒経過すると）次に進めません、 　　　その際は一度ＡＩＲにしてから再度ＥＶＡＣにしてください ４．ホルダーを時計方向に４５°止まるまで回す、この時試料 　　ホルダーが鏡体に引き込まれるので、ゆっくり止まる位置 まで挿入する ５．止まった位置で反時計方向に１５°回して、止まる位置まで 　　挿入する 使用状態ではランプは消えています 目次に戻る

  15. 試料ホルダー位置あわせ 　　　をクリックしStageパネルを表示 標準ホルダーの場合は7501SSを選択 マルチホルダーは7502MSを選択する マルチホルダーのときは１，２，３ いずれかを選択する 目次に戻る

  16. 電圧中心のあわせ方 ２．右パネルのMODUを押す １．倍率を5000～10000倍にする ３．BTが点灯していなかったら BTを押す ４．像全体が中心で動くよう 　　にマルチノブで調整する ５．終わったらBHを押し、ビーム 　　を中心にもってくる ６．MODUを押して電圧中心あわせをおわる 目次に戻る

  17. 焦点あわせ １．DIFFを押し、電子回折像を出し、対物絞りを入れる 　　（ダイレクトスポットを中心として同心円状になるように） ２．焦点あわせはFOCUSノブで 　　行う　ｘ１，ｘ１０，ｘ２０， ｘ２００が選択できる ３．ルーペで観察するときは SPOTボタンを押し小蛍光板 　　で行う 目次に戻る

  18. ワブラによる焦点あわせ １．Wobbler condition 　　ウインドウを表示 ２．Wobblerのラジオボタンをクリックする ３．右操作パネルのWOBをクリックする ４．Focusノブを回して像が静止 　　したところを見つける 目次に戻る

  19. 対物レンズの非点収差補正 １．右操作パネルのOSスイッチを押す ２．FOCUSをあわせる ３．マルチノブでフリンジ幅が 等しくなるように調整する ４．この状態でBDPSスイッチを 押すとメモリされます ５．メモリ値を読み出すにはBD RESETを押す 目次に戻る

  20. 回折スポットを中心にする方法 １．制限視野絞りを入れ、ＤＩＦＦを押して回折像をだす ２．BD control　　　ウインドウでＰＡをチェックしてＰＬ（プロジェクションレンズ）アライメント 　　調整モードにする ３．ダイレクトスポットをマルチノブで中心にする ５．終わったらＰＡを解除してウインドウを閉じる 目次に戻る

  21. 写真撮影 保存は適当なディレクトリを作成し保存してください。 なお、データはパソコンに残さないでください。 １．カメラに切り換えるときはWHOLEを 　　押して蛍光板をあげる ３．保存後カメラ 　に切り換え ２．画像取込は 　　　ポーズで 　画像保存は File/Save asから 目次に戻る

  22. 観察終了（試料交換するとき） １．Stage から試料位置を X=0,Y=0位置に戻す STARTを押す ２．Filament-Bias control から Beam をＯＦＦにする ３．試料交換がないときは AccVotagecontrol から電圧を下げる 目次に戻る

  23. 使用終了 キースイッチを　ＥＶＡＣ　ＯＮまで戻す 　　　ＰＣのスイッチをON/OFFは不要です ソフトウエアの以下のメッセージがでたら Cancelをクリックしてください。 COL.OFFは制御ソフトが立ち上がっている状態で 電源のキースイッチで操作してください System message Exit H-7650 system. Are you sure? Please turn off Col-sw after completely finishing PC OKボタンを押してしまったら、電源のキースイッチ 操作をせず、COL ONのまま制御ソフトを立ち上げ 直してから、COL.OFF操作を実施してください 通常はここまでです 装置全停止 POWERをOFFにする 目次に戻る

  24. 電源スイッチをEVAC OFFの位置まで回してしまった場合 COL.ONの位置まで戻し制御ソフトを立ち上げ直してからCOL.OFF操作をしてください。 EVAC ONの位置のままだと、タイマーが動作し、約２分後にCOL電源をOFFにします。 タイマーが終了するまでにWindowsのシャットダウン操作をしてください。

  25. 保守作業 ＣＣＤカメラにゴミが付着した場合 １．試料がないところにもって行く ２．赤い波形をBRIIGHTつまみで中央 　　にもっていく ３．Executeを押しAcquireを押すと 　　電気的に取り除いてくれる

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