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Chapter 14 CMOS 製程

Chapter 14 CMOS 製程. Hong Xiao, Ph. D. hxiao89@hotmail.com www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm. 目標. 列出 1980 至 1990 年代主要製程技術的改變 解釋銅金屬化以及傳統金屬化之間的差異. 1960 s PMOS 擴散 金屬匣極. 1970 s NMOS 離子佈植 多晶矽匣極. 從 1960 s 到 1970 s. 1980’ s 技術. LCD 取代 LED 作為電子錶和計算機的顯示燈

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Chapter 14 CMOS 製程

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  1. Chapter 14 CMOS 製程 Hong Xiao, Ph. D. hxiao89@hotmail.com www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  2. 目標 • 列出1980 至1990年代主要製程技術的改變 • 解釋銅金屬化以及傳統金屬化之間的差異 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  3. 1960s PMOS 擴散 金屬匣極 1970s NMOS 離子佈植 多晶矽匣極 從 1960s 到 1970s www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  4. 1980’s 技術 • LCD 取代 LED作為電子錶和計算機的顯示燈 • CMOS IC 因耗能較低取代 NMOS IC • 最小的圖形尺寸: 從 3 mm 縮小到 0.8 mm • 晶圓尺寸: 100 mm (4 in) 增加到 150 mm (6 in) www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  5. 1980’s CMOS技術 • LOCOS • PSG 和 再流動 • 蒸鍍機沉積金屬 • 正光阻 • 投影式對準及曝光機 • 電漿蝕刻和濕式蝕刻 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  6. 1980’s 技術, 晶圓清洗 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  7. 成長襯墊氧化層 襯墊氧化層 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  8. LPCVD沉積氮化矽 襯墊氧化層 氮化矽 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  9. 光阻塗佈 襯墊氧化層 光阻 氮化矽 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  10. 光罩 1,矽局部氧化(LOCOS) www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  11. 光罩 1, 矽局部氧化(LOCOS) 光阻 氮化矽 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  12. 對準和曝光 光阻 氮化矽 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  13. 顯影 光阻 氮化矽 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  14. 蝕刻氮化矽 光阻 氮化矽 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  15. 剝除光阻 氮化矽 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  16. 絕緣佈植 氮化矽 p+ p+ P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  17. 濕式氧化形成LOCOS 氮化矽 SiO2 p+ p+ P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  18. 剝除氮化矽及襯墊氧化層，清洗 SiO2 p+ p+ P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  19. 成長屛蔽氧化層 SiO2 p+ p+ p+ P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  20. 光阻塗佈 光阻 SiO2 p+ p+ p+ P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  21. 光罩 2, N型井區 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  22. 光罩 2, N型井區 光阻 SiO2 p+ p+ p+ P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  23. 曝光 光阻 SiO2 p+ p+ p+ P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  24. 顯影 光阻 SiO2 p+ p+ p+ P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  25. N型井區佈植 磷離子佈植 光阻 SiO2 N型井區 p+ p+ p+ P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  26. 剝除光阻 SiO2 N型井區 p+ p+ p+ P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  27. N型井區驅入 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  28. 剝除屏蔽氧化層 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  29. 成長犧牲氧化層 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  30. 剝除犧牲氧化層 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  31. 成長匣極氧化層 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  32. 沉積多晶矽 匣極氧化層 多晶矽 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  33. 光阻塗佈 多晶矽 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  34. 光罩 3, 匣極及連接導線 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  35. 光罩 3, 匣極及連接導線 多晶矽 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  36. 曝光 多晶矽 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  37. 顯影 多晶矽 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  38. 蝕刻多晶矽 多晶矽匣極 光阻 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  39. 剝除光阻 多晶矽匣極 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  40. 光阻塗佈 多晶矽匣極 光阻 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  41. 光罩 4, n型源極 / 汲極 光阻 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  42. 曝光 光阻 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  43. 顯影 光阻 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  44. n型源極 / 汲極 離子佈植 P+佈植 光阻 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  45. 剝除光阻 光阻 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  46. 光阻塗佈 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  47. 光罩 5, P型源極 / 汲極 曝光 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  48. 顯影 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  49. P型源極 / 汲極 離子佈植 B+佈植 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

  50. 剝除光阻 SiO2 p+ p+ N型井區 P型基片 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm

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