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S-4800 简 易 操 作 规 程. Techcomp Lab 电 镜 维 修 部. 开 机 步 骤. 1. 开墙上主机电源电源的开关;. 2. 将仪器后面板处的主电源开关( Main Power )打开,之后按下 Reset 键;. 3. 启动 Evac Power ,等待 TMP 指示正常后顺序打开 IP1 、 IP2 和 IP3 的电源开关,真空启动程序开机结束;. 4. 开启左侧面板 Stage Power ,启动右侧 Display 开关;.
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S-4800 简 易 操 作 规 程 Techcomp Lab 电 镜 维 修 部
开 机 步 骤 1. 开墙上主机电源电源的开关;
2. 将仪器后面板处的主电源开关(Main Power)打开,之后按下Reset键;
3. 启动Evac Power ,等待TMP指示正常后顺序打开IP1、IP2和IP3 的电源开关,真空启动程序开机结束;
5. PC机自动启动进入Windows 操作系统,并自动运行S-4800 操作程序,此时点击OK(没有密码)后自动进入S-4800操作软件。
更 换 样 品 步 骤 一:安装样品步骤: 1. 在实验台上事先粘好样品,并用高度规检测其高度;
点击样品交换室的Air键,当听到笛的一声后轻轻的拉开样品交换室;点击样品交换室的Air键,当听到笛的一声后轻轻的拉开样品交换室;
3. 将样品杆手柄处于Unlock位置,把样品机座装于样杆的香蕉头处并转动手柄到Lock位置;
4. 轻轻推注样品交换室,点击Evac 键,抽好真空后点击Open键,样品交换室与样品室间的闸门自动打开;
5. 轻轻的推动样品杆的手柄将样品至于样品台上,旋转手柄至Unlock,拉出样品杆,最后点击Close关闭阀门,安装样品结束;
二:取样品步骤: 1. 样品检测结束后,关闭高压,点击Stage菜单的Home 图标使样品归位;
2. 点击样品交换室处的Open键,推进样品杆将香蕉头插入至样品基座,旋转手柄至Lock位置;
轻轻的拉出样品杆,点击Close键,闸门关闭后点击Air键,待样品室放气后轻轻拉开样品交换室,旋转手柄至Unlock位置,取下样品基座,结束取样品工作。轻轻的拉出样品杆,点击Close键,闸门关闭后点击Air键,待样品室放气后轻轻拉开样品交换室,旋转手柄至Unlock位置,取下样品基座,结束取样品工作。
操 作 步 骤 1. 打开Flashing菜单并执行强度2,直到Ie=30~40uA;
2. 选择合适的加速电压,并点击HV ON,当操作过程中Ie≤60%设定值时,点击Set使其恢复至设定值;
电气合轴调整: 1)打开Alignment菜单,点击Beam Align 通过操作面板上的X、Y旋钮调整光斑到中心;
2)暂时选Off关闭Beam Align对话框,通过Focus大致调整图像,再选择Aperture Align通过操作面板上的X、Y旋钮调整图像至心脏式跳动而不是摇摆晃动;
3)再选择Stigma Align X通过操作面板上的X、Y旋钮调整图像至心脏式跳动而不是摇摆晃动,同样方法调整Stigma Align Y;
4. 选择L-Mag 模式,配合轨迹球大致找到要观察的样品;
5. 转换到H-Mag 模式,通过调整Mag增大倍数,并同时通过Focus调整图像达清晰;
6. 进一步增大Mag至超过自己想要的放大倍数,细聚焦调整并通过Stiga消除像散,使图像达至最清晰;
7. 将Mag调到实际放大倍数,点击M图标暂存图像,之后关闭高压结束此样品检测。
关 机 步 骤 1. 点击Stage Home样品归位后,取出样品;点软件右上角X ,退出软件,正常关机显示器出现黑屏后关闭Display开关。
烘 烤 步 骤 1. 关掉高压,取下电子枪上的两个固定螺丝;
2. 轻轻的取下高压电缆,将取下的枪头放于侧面的支架上;
3. 检查镜筒是否干净,安装内外烘烤的电源线;
5. 通过面板处选择Bake设定内外烘烤的时间,根据自己的时间情况设定如Ou12,In8;Ou 24 ,In12;等等(注意Ou≥In)之后点击Start 开始烘烤;
烘烤的冷却时间是结束后需要自然冷却6小时;烘烤的冷却时间是结束后需要自然冷却6小时; • 冷却后清洗电子枪和镜筒后再将电子枪装入镜筒; • 开机执行Flashing,先F1 0~10uA、F2 30 ~40uA、 F3 50~60uA最后再调回到F2。
取 样 品 步 骤 1. 关掉高压,并样品台归位;
3. 关闭Display 和 Stage 的开关,按住面板处Air键2~5秒钟;
4. 等待破真空后,取下固定样品室的4个内六角螺丝; I型:拆下相连接的信号线,小心的取下样品台;
戴上手套进入样品室取出样品; 6. 将样品台和线等复原,点击Evac抽真空,待真空抽好后将Aperture再开始加热;
日 常 维 护 保 养 1. 清洗冷却循环水过滤网;