100 likes | 223 Views
S ügavusprofiilid. O ptical E mission S pectrometer. Rakendus : plasmaekraan ( surface DBD). e = 15. 0,1 mm. d. V 0. Ne/Xe . V G. 25 m m. MgO. Ne: g > 0,1. p = 600 torr. Endotermiline :. Keemilised reaktsioonid:. Eksotermiline :.
E N D
Sügavusprofiilid Optical Emission Spectrometer
Rakendus: plasmaekraan(surface DBD) e = 15 0,1 mm d V0 Ne/Xe VG 25 mm MgO Ne: g > 0,1 p = 600 torr
Endotermiline: Keemilised reaktsioonid: Eksotermiline: Endotermilistereaktsioonide saagist võib oluliselt tõsta kasutades termodünaamiliselt mittetasakaalulist plasmat (Te >> Tg) Plasma ülesanne on elektronide vahendusel keemiliselt aktiivsete komponentide tekitamine ioonid, metastabiilsed aatomid ja molekulid (N, O, OH,…). Tekkinud komponendid moodustavad uusi ühendeid kas gaasikeskkonnas või tahkise pinnal Plasmafüüsika Plasmakeemia Aeg (s) 10-12 10-10 10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-1 10
K f diss T, K Osooni genereerimine 102 ... 103mikrolahendust: = 0.1 ... 1 mm; 10 ns ... 1 µs jahutusvesi
SOx, NOX, VOC eemaldamine striimerkoroonaga Striimerid: Suur ruumiline ulatus; Levikukiirus 107 cm/s Elektronide energia 10 eV Kanali temperatuur 800 K
Eksimerlambid ja -laserid Eksimermolekul Eksimerlambid Eksimerlaser Eelionisatsioon M1 A M2 K i 10 kA U dt 10 ns t
Pinnatöötlus Barjäärlahendusatmosfäärirõhul
Pinnatöötlus Atmosfäärirõhul kasutatakse barjäärlahenduse kolme moodi T – Townsend , 108 cm-3; F – filamentary (säde-), 1014 cm-3; G – glow (huum-) 1011 cm-3 G K A F K A T K G F
Õõnes mikrokatood Plasmajuga (hollowmicrocathodedischarge) (plasma jet) Atmosfäärirõhul: D 0,1 mm Argoon: (pD)max = 10 Torr cm -U D +U Märgavuse muutus Singletne hapnik : Pikk eluiga, keemiliselt aktiivne 1 eV
Barjäärlahendus Ülaltvaade Barjäärlahendus: miks tekib korrapära? Pindlaeng erinevatel poolperioodidel