1 / 23

Vakuum i pridružena instrumentacija

Vakuum i pridružena instrumentacija. Uvod. Tlak – kvantitativni pokazatelj vakuuma Klasifikacija Pred vakuumski sustavi (niski vakuum) je reda veličine 1 Pa Od 1 Pa do 10 -2 P a - srednji vakuum Od 10 -2 do 10 -5 Pa - visoki vakum Od 10 -6 Pa i manje - područje ultravisokog vakuuma.

raven-larsen
Download Presentation

Vakuum i pridružena instrumentacija

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Vakuum i pridružena instrumentacija

  2. Uvod • Tlak – kvantitativni pokazatelj vakuuma • Klasifikacija • Pred vakuumski sustavi (niski vakuum) je reda veličine 1Pa • Od 1 Pa do 10-2Pa - srednji vakuum • Od 10-2 do 10-5Pa - visoki vakum • Od 10-6Pa i manje - područje ultravisokog vakuuma

  3. Opće karakteristike • Različite kvalitete vakuuma postižemo različitim uređajima ustrojenim prema različitim fizikalnim principima • Postizanje vrlo visokih vakuuma -- u koracima, primjenom različitih fizikalnih principa i uređaja

  4. Postizanje vakuuma – uređaji • Mehanička rotacijska pumpa • Difuzijska pumpa • Turbomolekularne pumpe • Ionska pumpa • Kriogenske pumpe • Sublimacijske pumpe

  5. Mehanička rotacijska pumpa

  6. Difuzijska pumpa

  7. Turbomolekularne pumpe

  8. Ionska pumpa • Molekule plina se ioniziraju elektronima • Ioni se transportiraju električnim poljem • Pomoću magnetskog polja može se povećati putanja molekula • Ukapljivanje

  9. Kriogenske pumpe • Pothlađivanjem materijala do niskih temperatura smanjuje se tlak zasićenih para. • Za nekondenzirane plinove smanjuju se njihovi parcijalni tlakovi • Efekt pumpanja

  10. Sublimacijske pumpe • Proces u kojem aktivne površine povlače molekule iz prostora vakuuma • Korisno za dobivanje ultravisokog vakuuma • Npr. titanski izvor zagrijan do temperature sublimacije deponira aktivni film na okolne površine koji veže molekule plina. • Uporabom sublimacijskih pumpi tlak se može smanjiti i za nekoliko radova veličina

  11. Mjerenje vakuuma • Bourdonova cijev • Triodna cijev • Bayard-Alpertov vakuummetar

  12. Bourdonova cijev

  13. Triodna cijev Važi proporcionalnost sve do 10-6Pa Struja mekog x-zračenja maskira efekt

  14. Bayard-Alpertov vakuummetar Važi linearna proporcionalnost sve do 10-10Pa

  15. Vakuumski materijali • Površine u vakuumu isplinjavaju • Dinamički tlak je ovisam o brzinama isplinjavanja (v´) i isisavanja (v ) Pdin = konst. v´/ v • v´ pak ovisi o: • Tlaku para materijala • Oslobađanju plinova adsorbiranih na površini • Difuziji plina kroz materijal (naročito aktivni vodik i helij)

  16. Materijali usklađeni s kvalitetom vakuuma

  17. Brtvljenje

  18. Brtvljenje metalom

  19. Gibanje nabijene čestice u elektromagnetskom polju Problem korekcije zbog disipacije snopa uvjetovane nejednolikom raspodjele po impulsu (brzini) čestica Maseni spektrometar (upotreba u dijagnostici)

  20. Parcijalne disperzije

  21. Totalna disperzija • Zgodnim odabirom električnog i magnetskog polja disperzija (ionskog) snopa po brzini može se anulirati

  22. “Leak detection” • Sprega spektrometra i vakuumskog sustava • Detekcija helija u ispumpnom kanalu

More Related