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表面における 分子散乱 適応係数 付着確率と凝縮係数 理想表面と実用表面 吸着平衡 昇温脱離スペクトル. 1.固体表面と気体分子. ( Lahaye, Thesis). 散乱のダイナミクス. flat panel. Hard cube model. hard sphere. Classical ball-spring model Quantum mechanical calc. combination. ( Lahaye, Thesis ). 表面における分子散乱. マクロな量. 方向分布 エネルギー分布 付着確率. 温度 T.
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表面における分子散乱 適応係数 付着確率と凝縮係数 理想表面と実用表面 吸着平衡 昇温脱離スペクトル 1.固体表面と気体分子 (Lahaye, Thesis)
散乱のダイナミクス flat panel Hard cube model hard sphere Classical ball-spring model Quantum mechanical calc. combination (Lahaye,Thesis)
表面における分子散乱 マクロな量 方向分布 エネルギー分布 付着確率 温度T
分子散乱の方向分布測定 Ag(111)
先駆的な分子ー表面相互作用の理論Lenard-Jones、Proc.Roy.Soc.先駆的な分子ー表面相互作用の理論Lenard-Jones、Proc.Roy.Soc. • A150(1935)442. The activation of adsorbed atom to higher vibrational levels. • A150(1935)456. The evaporation of adsorbed atoms. • A156(1936)6, 29. The condensation and evaporation of atoms and molecules. • A156(1936)37. The diffraction and reflection of molecular rays. • A158(1937)242. The behavior of adsorbed He at low temperatures. • A158(1937)253. The diffraction of atoms by a surface • A158(1937)269. The exchange of energy between a gas and a solid.
表面分子散乱の方向分布 余弦則(拡散)反射
実用表面での室温の気体分子の散乱方向分布 鋼 研磨 アルミ 研磨 ガラス (Hurlbut, 1957)
dS 表面に入射する分子束は 入射角 の余弦に比例する、 表面に全て吸着した場合の 脱離する分子の方向分布? 吸着確率と脱離確率の方向分布? Steinrueck:Surface Sci.154(1985)99.
吸着確率と脱離確率の方向分布が一致しない場合、何が起きるか?吸着確率と脱離確率の方向分布が一致しない場合、何が起きるか? 反射分子による力積 ランダム入射→圧力の1/2 脱離分子が表面垂直方向に鋭い方向分布のある場合
Pd(111)表面でのCOの散乱 清浄で平坦な表面では 鏡面散乱に近づく傾向がある。 下地の原子の熱運動との エネルギー交換が、葉形パター ンを決定する。 古典的モデルが有効。 軽い分子(H2,He,Ne)では、 量子効果が現れる。
de Broglie 波長 モル分子質量
Hard cube model 古典的散乱 定速 lobular pattern Ar/Pt T=1173K qi=40° Ts:表面温度 Tg:分子温度 Logan:J.Chem.Phys. 44,195(1966)
Hard Cube Model 入射分子の表面垂直方向の速度分布 表面原子の表面垂直方向の速度分布 上方移動との衝突確率 下方移動との衝突確率
m<1/3 Hard Cube Ar分子線による測定値
Slab modelとの比較(Lahaye) Ar/Pt(111)
Lahaye atop without attractive interaction center bridge atop implantation trapping
Potential Energy Surface(PES)を用いた分子動力学シミュレーション (Lahaye) 表面と気体分子:PES 基盤原子間:調和近似 距離:Å エネルギー:eV
Ar/Ag(111) qi=40° 実験>計算
付着確率と凝縮係数 付着確率:sticking probability 表面の吸着位置(化学吸着)に 捕捉される確率 凝縮係数:condensation coefficient 表面で物理吸着する確率 多層膜に吸着する過程を含む
凝縮係数 (超高真空の物理)
Kisliukモデル n=1 n=2 Pre-cursor mediated adsorption 化学吸着サイト非占有に入射 化学吸着サイト占有に入射 真空 化学吸着 n=1:非解離 n=2:解離 物理吸着 Pa Pb Pc n=1について 物理吸着 1回目 物理吸着 物理吸着 無限回 θ:化学吸着サイト被覆率 The sticking probability of gases chemisorbed on the surfaces of solids 2, P.Kisliuk: J.Chem.Solids 5(1958)78.
2回目 付着確率:S 初期付着確率
Kisliuk2 S/S0 q K=0.3 S0=0.84 S exp Kisliuk q: CO/Pt(111)
熱的適応係数:thermal accommodation coefficient 気体分子 散乱角 表面原子 ψ 古典的な二体間衝突では、 ms mg 静止 散乱角について積分 (Bauleの式) 表面の場合には、周りの原子の影響を考慮し、 G.Comsa & R.David: Dynamical parameters of desorbing molecules, Surface Science Reports 5(1985)145.
熱的適応係数(thermal accommodation coefficient)の格子理論 F.O.Goodman:Surface Science 3(1965)386. • 古典的バネー格子モデル(半無限格子) • 二体間Morseポテンシャル • 断熱近似(表面温度0K) 原子Mが、時刻0に単位速度で運動し始めたとき、τ時間後の原子Nの変位 1D 3D
補足 熱的適応係数の格子理論 F.O.Goodman: Progress in Surface Science 5, 261(1974). : J. Phys. Chem.Solids 23, 1269(1962). 1.無限格子から、半無限格子をつくる -5 -4 -3 -2 -1 0 1 2 3 4 5 表面 t=0に原子Mが変位→ 時刻tの原子Nの変位 自由表面: 無限格子では、 2つの格子原子の変位の和
自由表面! 表面原子:M=0 表面原子変位の応答関数
表面への原子衝突 原子間相互作用:剛体球ポテンシャル :衝突
熱的適応係数 トラップ状態 Baule の式 minimum 入射エネルギー 適応係数の経験式 Goodman &Wachman: J.Chem.Phys. 46(1967)2376.
He/H/W 排気後 水素導入(ステップ状) 清浄化後 Wachman:PhD thesis (Univ.Missouri, 1957)
分子の2体間相互作用 r valence 2.分子と固体表面の相互作用 electrostatic dispersion induced アルゴン原子間相互作用 水素原子間相互作用
z r +q + d 双極子モーメント 分子の電気双極子・四極子モーメント ー -q D:デバイ d=0.1nm q=1.6 x 10-19 c (4.8x10-10 esu) 4.8D 四極子モーメントの例 N2分子 表面における理論Ⅱ(丸善、1995)、p4.
分子の双極子・四極子モーメント Kr/Cu(111)
分散力木原太郎、分子間力(岩波全書) レナード・ジョーンズ ポテンシャル (Lennard-Jones) 斥力項 0 引力項
分子と表面の相互作用 固体全体との二体間相互作用 表面1層のみとの二体間相互作用
物理吸着と化学吸着 物理吸着(Physical adsorption): physisorption 化学吸着(Chemical adsorption): chemisorption
物理吸着の吸着ポテンシャル He Zaremba-Kohn: Phys.Rev. B15, 1769(1977).
希ガス分子の吸着位置 fccサイト オントップサイト Da Silva: Phys.Rev.B72(2005)075424.
切断 結合 解離エネルギー 化学吸着(酸素分子の解離吸着の模式図) 吸着の活性化エネルギー 吸着エネルギー(物理吸着) 物理吸着状態 吸着エネルギー(化学吸着) 化学吸着状態 脱離の活性化エネルギー Surfaces (Oxford Chemistry Primers, 1998)
フェルミレベル近傍の d電子状態密度 化学吸着特性 back donation
シリコン表面での酸素の解離(JRCAT、寺倉清之)シリコン表面での酸素の解離(JRCAT、寺倉清之)
Temperature Pressure Adsorption Desorption Coverage Desorption Rate Impingement Rate: 吸着平衡のkinetics s:coverage t:mean sojourn time