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Matriz de Microlentes Poliméricas Fabricadas por Micro-usinagem de Silício

Matriz de Microlentes Poliméricas Fabricadas por Micro-usinagem de Silício. A.C.S. Arruda ; G.A. Cirino ; R.D. Mansano P. Verdonck ; R. Ruas LSI - EPUSP - Universidade de São Paulo São Paulo - SP, Brasil Luiz G. Neto EESC – Universidade de São Paulo São Carlos - SP, Brasil. Sumario.

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  1. Matriz de Microlentes Poliméricas Fabricadas por Micro-usinagem de Silício A.C.S. Arruda ; G.A. Cirino ; R.D. Mansano P. Verdonck ; R. Ruas LSI - EPUSP - Universidade de São Paulo São Paulo - SP, Brasil Luiz G. Neto EESC – Universidade de São Paulo São Carlos - SP, Brasil

  2. Sumario 1. Introdução e Objetivos 2. Fabricação das Microlentes- Molde a partir de Silício - Replicagem em PMMA 3. Resultados 4. Conclusão 5. Agradecimentos

  3. Introdução > O emprego de elementos difrativos é cada vez mais frequente em sistemas ópticos > A fabricação destes elementos utiliza etapas de processo de CI, como litografia e corrosão por plasma > Para obter dispositivos à baixo custo, empregam-se processos de replicagem em polímeros , a partir de uma matriz de alta qualidade

  4. Objetivo > Fabricar matrizes de microlentes cilíndricas de baixo custo utilizando PMMA 2 Etapas: > Inicialmente, fabrica-se um molde em silício > Em seguida, replica-se a estrutura em PMMA

  5. Fabricação da Matriz deMicrolentes Poliméricas > Processamento do Molde em Silício

  6. Fabricação da Matriz deMicrolentes Poliméricas > Replicagem em PMMA

  7. Resultados (Caract. Física) > Qualidade do Molde (Si) Micrografias do Molde

  8. Resultados (Caract. Física) > Qualidade da Réplica (PMMA) Molde Réplica

  9. Resultados (Caract. Óptica) > Arranjo Experimental & Imagem Obtida Variação de 30%na intensidadeao longo da linha

  10. Conclusão > Foi demonstrada a viabilidade da fabricação de uma matriz de microlentes cilíndricas de baixo custo em PMMA > Caracterização óptica mostra abertura de um feixe laser em alto ângulo, com variação de 30% na intensidade das ordens de difração

  11. Agradecimentos > F. Araes pelas micrografias SEM > CenPRA pela fabricação da máscara litográfica > FAPESP e CNPq pelo suporte financeiro

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