1 / 26

S P M (Scanning Probe Microscopy)

S P M (Scanning Probe Microscopy). Nanofelbontású méréstechnika. Dr. Pungor Andr á s. Miskolc, 2008 április 2. STM (Scanning Tunneling Microscope). 1983: G. Binnig H. Rohrer megalkotta az STM-et 1986: Megkapták a Nobel dijat. Mi tette technikailag lehetővé az STM megalkotását?

zach
Download Presentation

S P M (Scanning Probe Microscopy)

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. SPM (Scanning Probe Microscopy) Nanofelbontású méréstechnika Dr. PungorAndrás Miskolc, 2008 április 2

  2. STM(Scanning Tunneling Microscope) • 1983: G. Binnig H. Rohrer megalkotta az STM-et • 1986: Megkapták a Nobel dijat Mi tette technikailag lehetővé az STM megalkotását? Piezoelektromos vezérlés Mi is a piezoelektromos hatás? Elmozdulás Feszültség

  3. STM A mérés mechanizmusa

  4. STM A két fő méréstechnikai metódus a szabályozásra Constant height mode Constant current mode

  5. STM Képformálás STM képe az HOPG-nek Highly Oriented Pyrolytic Graphite 4 x 4 nm képméret Az atomok közötti távolság: 2.5 angstrom

  6. SPM Képformálás

  7. SPM Mi az STM hátránya? Csak vezető felületeket mér! Megoldás! AFM Atomic Force Microscope

  8. AFM Miért AFM? AFM SFM Scanning Force Microscopy

  9. SFM

  10. SFM Az érzékelés evolúciója

  11. SFM Mérési Módok Constant Height Constant Force

  12. SFM “műremekek”(artifacts) A rugólemez elhajlása

  13. SFM “műremekek”(artifacts) Tűhatások Mérés Mért felület

  14. SFM “műremekek”(artifacts) Tű-felszin kölcsönhatás 6 x 6 micrometeres U betű fehérjéből

  15. SFM “műremekek”(artifacts) Tű-felszin kölcsönhatás A mikroseprű működése

  16. SFM “műremekek”(artifacts) Tű-felszin kölcsönhatás Súrlódás Túlszabályozás

  17. AFM, atomic force microscopy • contact AFM • non-contact AFM • dynamic contact AFM • BEEM, ballistic electron emission microscopy • EFM, electrostatic force microscope • ESTM electrochemical scanning tunneling microscope • FMM, force modulation microscopy • KPFM, kelvin probe force microscopy • MFM, magnetic force microscopy • MRFM, magnetic resonance force microscopy • NSOM, near-field scanning optical microscopy (or SNOM, scanning near-field optical microscopy) • PSTM, photon scanning tunneling microscopy • PTMS, photothermal microspectroscopy/microscopy • SECM, scanning electrochemical microscopy • SCM, scanning capacitance microscopy • SGM, scanning gate microscopy • SICM, scanning ion-conductance microscopy • SPSM spin polarized scanning tunneling microscopy • SThM, scanning thermal microscopy[1] • STM, scanning tunneling microscopy • SVM, scanning voltage microscopy • SHPM, scanning Hall probe microscopy

  18. SFM mérések Erő-elmozdulás Felszin keménység

  19. CCFM Constant Compliance Force Modulation

  20. CCFM Constant Compliance Force Modulation

  21. CCFM Constant Compliance Force Modulation

  22. A CCFM mérés felépitése

  23. Más SFM méréstechnikák Semi Contact (Tapping Mode) Non Contact

  24. SPM méréstechnikák SCM (Scanning Capacitance Microscopy) SMFM (Scanning Magnetic Force Microscopy)

  25. Köszönöm a figyelmet

More Related