1 / 39

שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD

שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD. שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה. פרופ ’ יוסי שחם המחלקה לאלקטרוניקה פיזיקלית , אונ ’ ת”א. מערכות לייצור פלזמה. מערכת פלזמה DC. Current to the anode. Where I c is the electron Cathodic current. a -Townsand coefficient.

chiko
Download Presentation

שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD • שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ’ יוסי שחם המחלקה לאלקטרוניקה פיזיקלית, אונ’ ת”א.

  2. מערכות לייצור פלזמה

  3. מערכת פלזמהDC

  4. Current to the anode Where Ic is the electron Cathodic current a-Townsand coefficient l is the collision mean free path, E the electric field, and Vi is the effective ionization potential Paschen’s law:

  5. מתח התפרקות באוויר

  6. RF פלזמה

  7. פילוג האנרגיות בפלזמה אנרגיה [KeV]

  8. תרומת ינון מישני לפלזמה

  9. הפעלת שדהAC ביצירת פלזמה

  10. טכנולוגית פלזמה (I)

  11. בניית פלזמה גזית בין לוחות

  12. Magnetic enhancement

  13. השפעת ממדי האלקטרודות

  14. פוטנציאל האלקטרודה בתא אסימטרי

  15. יחס המתחים הפוך ליחס שטחי האלקטרודות

  16. פלזמהבמגנטרון חלול ( HCM )

  17. האיכול יכול להיעשות ע”י יונים, רדיקליםנייטרלים ומולקולות נייטרליות

  18. אלקטרונים מוחזרים ממחסום הפוטנציאל

  19. מערכת פלזמה כנגדRIE

  20. מערכת עם שני תדרים

  21. ריאקציה בשיווי משקל

  22. ריאקציות יכולות לאכל ולשקע

  23. לחצים חלקים של גזים טיפוסיים

  24. תכנון שיקוע סלקטיבי

  25. שינוי באנרגיה החופשית

  26. שיקוע מפלזמה בריכוז גבוה (HDP)

  27. קצב השיקוע והאיכול יחסי לזווית הפגיעה של ה- PRECURSORS

  28. התקדמות פני השטח בתהליךHDP שיקוע מהיר איכול איטי איכול מהיר שיקוע איטי איכול ושיקוע איטיים

  29. ריאקטורHDP

  30. נזק ע”י פלזמה

  31. סיכום שיקוע ע”י פלזמה מהיר, איכות טובה כמוCVD ניצול תכונות הפלזמה לשיפורהפלנריזציהוכיסוי מדרגה

More Related